技术总结
一种湿度传感器系统(10)，该系统包括单片集成半导体设备(12)。单片集成半导体设备(12)包括光学波导(14)、热电冷却设备(16)、温度测量探头(18)和控制电路(26)，该控制电路可操作以使热电冷却设备(16)调节单片集成半导体设备(12)的温度。光学波导可操作以接收来自光源(20)的输入光学信号，并提供输出光学信号以供光检测器(22)感测。湿度传感器系统(10)还包括处理电路，该处理电路可操作以接收来自光检测器(22)和来自温度测量探头(18)的输出信号，并可操作以基于来自光检测器(22)和温度测量探头(18)的输出信号确定相对湿度。
技术研发人员：S.杰西尼格;V.西德罗夫;
受保护的技术使用者：ams有限公司;
技术研发日：2019.10.30
技术公布日：2021.06.04