1.对工件(24)的表面(22)进行测量的表面测量仪(2)，所述表面测量仪具有：
用于对所述工件(24)的表面(22)进行探测的探头(3)；
进给装置(6)，所述进给装置用于使所述探头(3)相对于所述工件(24)的表面(22)沿着进给轴线运动以便对所述工件(24)的表面(22)进行扫描，其中，所述探头(3)在所述工件(24)的扫描期间输出探头输出信号；以及
评价装置(18)，所述评价装置与所述探头(3)处于数据传输连接，并且被设计和编程为用于根据所述探头输出信号对所述工件(24)的表面(22)的轮廓进行重构，
其特征在于，所述评价装置(18)被设计和编程为用于确定体现所述表面测量仪(2)的独特的固有频率的仪器频率特征；以及
用于对所述仪器频率特征随时间的变化过程进行检测和分析的分析部件(20)，从而根据所述仪器频率特征随时间的变化过程对所述表面测量仪(2)的功能状态进行判断或者能够进行判断。
2.如权利要求1所述的表面测量仪，其特征在于，所述评价装置(18)被设计并编程为用于基于所述探头(3)的探头输出信号对所述仪器频率特征进行确定。
3.如权利要求1或2所述的表面测量仪，其特征在于，用于确定所述仪器频率特征的所述评价装置(18)被设计并编程为，使得为了确定所述仪器频率特征，从通过测量所述工件(24)的表面(22)获得的探头输出信号分离出体现被测的工件表面(22)的信号分量。
4.如前述权利要求中任一项所述的表面测量仪，其特征在于，根据所述仪器频率特征随时间的变化过程，所述表面测量仪(2)的功能状态被分类为“好”或者“不好”。
5.如前述权利要求中任一项所述的表面测量仪，其特征在于，所述分析部件被设计并编程为，使得在利用基于人工神经元网络应用的算法的条件下对所述仪器频率特征进行分析。
6.如前述权利要求中任一项所述的表面测量仪，其特征在于，所述探头(3)是接触式探头。
7.如前述权利要求中任一项所述的表面测量仪，其特征在于，所述表面测量仪(2)被设计成触针装置。
8.一种用于对工件表面进行测量的表面测量仪的工作方法，所述表面测量仪具有：
-用于对工件表面进行探测的探头；
-进给装置，所述进给装置用于通过使所述探头相对于所述工件的表面沿着进给轴线运动来对所述工件的表面进行扫描，其中，所述探头在所述工件的扫描期间输出探头输出信号；以及
-评价装置，所述评价装置与所述探头处于数据传输连接，并且被设计和编程为用于根据所述探头输出信号对所述工件的表面进行重构，
其特征在于，通过所述评价装置对体现所述表面测量仪的独特的固有频率的仪器频率特征进行确定以及
通过分析部件对所述仪器频率特征随时间的变化过程进行检测和分析，从而根据所述仪器频率特征随时间的变化过程对所述表面测量仪的功能状态进行判断。
9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，通过所述评价装置，基于所述探头的探头输出信号对所述仪器频率特征进行确定。
10.如权利要求8或9所述的方法，其特征在于，为了对所述仪器频率特征进行确定，所述评价装置从通过测量工件表面获得的探头输出信号分离出体现被测的工件表面的信号分量。
11.如权利要求8至10中任一项所述的方法，其特征在于，根据所述仪器频率特征随时间的变化过程，将所述表面测量仪的功能状态分类为“好”或者“不好”。
12.如权利要求8至11中任一项所述的方法，其特征在于，通过所述分析部件，在使用基于人工神经元网络应用的算法的条件下对所述仪器频率特征进行分析。
13.如权利要求8至12中任一项所述的方法，其特征在于，使用接触式探头作为探头。
14.如权利要求8至13中任一项所述的方法，其特征在于，使用触针装置作为表面测量仪。