一种晶圆探针台的制作方法

文档序号:23144703发布日期:2020-12-01 13:24阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆探针台,其特征在于,包括一结构主体,所述结构主体包括测试箱及设于所述测试箱内的晶圆检测装置;

所述晶圆检测装置包括检测台,所述检测台上设有滑轨组,所述滑轨组上设有晶圆承载台,所述晶圆承载台一侧设有探针卡影像装置,所述检测台上还设有探针卡承载台,所述探针卡承载台位于所述晶圆承载台上方,所述探针卡承载台前方设有晶圆影像装置;

所述滑轨组包括固定设置于所述检测台上的y轴轴向滑轨,所述y轴轴向滑轨上设有与之垂直连接的x轴轴向滑轨,所述x轴轴向滑轨上设有与之滑动连接的晶圆承载移动座,所述晶圆承载移动座上设有升降台,所述晶圆承载台位于所述升降台上;

所述晶圆承载台包括晶圆承载盘下设有实现旋转的旋转组件及实现升降的升降组件,所述旋转组件包括第二闭环进步电机及第二高精度丝杆,所述第二闭环进步电机与所述第二高精度丝杆驱动连接,所述第二高精度丝杆与所述晶圆承载盘紧密连接,所述升降组件包括与所述旋转组件固定连接的高精度花键轴,所述高精度花键轴底部中心设有z轴轴向高精度丝杆,所述z轴轴向高精度丝杆末端设有与之驱动连接的z轴轴向闭环进步电机;

所述探针卡承载台包括探针卡承载台支撑架,所述探针卡承载台支撑架上设有探针卡承载面板,所述探针卡承载面板中心设有探针卡夹持机构,所述探针卡夹持机构上夹持有探针卡;

所述探针卡影像装置包括固定连接板,所述固定连接板上设有实现探针卡特征点寻找的探针卡低倍ccd及实现探针卡特征点精准定位的高倍ccd;

所述晶圆影像装置包括纵向支撑件及设于所述纵向支撑件上的横梁,所述横梁内设有实现晶圆特征点寻找的晶圆低倍ccd及实现晶圆特征点精准定位的晶圆高倍ccd,并且所述横梁靠近所述探针卡承载台一侧设有实现晶圆厚度测量的高精度位移传感器。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述检测台与所述测试箱底部固定连接,并且所述检测台为矩形结构的大理石检测台。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述y轴轴向滑轨上设有与之驱动连接的y轴轴向直线驱动电机,所述x轴轴向滑轨上设有与之驱动连接的x轴轴向直线驱动电机。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述探针卡承载台支撑架包括四组支撑腿及两组倾斜设置的升降杆,且四组所述支撑腿上设有实现所述探针卡水平度调节的升降调节机构。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述探针卡承载面板中心设有环形结构的探针卡固定盘,所述探针卡固定盘中心设有矩形槽,所述探针卡夹持机构位于所述矩形槽两侧实现所述探针卡的固定夹持。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述固定连接板上设有与之第一高精度丝杆,所述第一高精度丝杆底端设有与之驱动连接的第一闭环进步电机,并且所述固定连接板垂直设置于所述晶圆承载台一侧并通过螺丝与所述晶圆承载移动台固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述纵向支撑件包括两组,其中一组所述纵向支撑件上设有与之垂直固定连接的锁紧件。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述横梁内设有矩形安装腔,所述晶圆低倍ccd与所述晶圆高倍ccd位于所述矩形安装腔,并且所述矩形安装腔内设有多组实现所述晶圆低倍ccd与所述晶圆高倍ccd固定安装的限位组件。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述纵向支撑件与所述探针卡承载台支撑架分别通过螺丝与所述检测台实现固定连接。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆探针台,其特征在于:所述测试箱前板上设有电控箱及控制按钮,所述测试箱顶部设有三色灯,所述测试箱底部设有脚轮,所述脚轮由四组地脚杯与四组滑轮组成。


技术总结
本发明公开了一种晶圆探针台,包括一结构主体,所述结构主体包括测试箱及设于所述测试箱内的晶圆检测装置;所述晶圆检测装置包括检测台,所述检测台上设有滑轨组,所述滑轨组上设有晶圆承载台,所述晶圆承载台一侧设有探针卡影像装置,所述检测台上还设有探针卡承载台,所述探针卡承载台位于所述晶圆承载台上方,所述探针卡承载台前方设有晶圆影像装置;通过晶圆影像装置、探针影像装置及滑轨组的组合作用,实现晶圆承载台及探卡承载台的精准移动,使得探针卡上的探针能够与每颗晶圆对准接触,实现对每颗晶圆的精准测试,有利于精装区分符合参数的晶圆与不符合参数的晶圆。

技术研发人员:江永
受保护的技术使用者:东莞市凯迪微清洗技术有限公司
技术研发日:2020.09.22
技术公布日:2020.12.01
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