1.一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,包括:
外壳(6);
安装在外壳(6)侧面的机盖(1);
固定在外壳(6)内部的光学平台(2);
依次安装在光学平台(2)上的衰减片组件(3)、第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)、第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)和qbh激光器(5);
所述衰减片组件(3)与第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)同轴线安装,所述qbh激光器(5)与第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)同轴线安装,所述衰减片组件(3)与qbh激光器(5)不在同一个轴线上,所述第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)与第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)相对安装;
所述qbh激光器(5)发射的激光沿输入激光光轴方向入射至第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)中,回返光偏离输入激光光轴方向反射至第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)中,反射光沿着输出激光光轴方向反射至衰减片组件(3)中,所述输出激光光轴方向与输入激光光轴方向平行。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述衰减片组件(3)包括:与光学平台(2)相连的衰减片基座(3.1),与衰减片基座(3.1)上端通过定位销(3.5)相连的第一衰减片(3.2)、第二衰减片(3.3)、第三衰减片(3.4);所述第一衰减片(3.2)、第二衰减片(3.3)、第三衰减片(3.4)均能够沿定位销(3.5)轴线转动。
3.根据权利要求2所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第一衰减片(3.2)为nd0.5,所述第二衰减片(3.3)为nd1.0,所述第三衰减片(3.4)为nd2.0,所述定位销(3.5)采用φ5定位销。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)与第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)结构相同。
5.根据权利要求4所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第一楔镜夹及水冷吸光组件(4)包括:与光学平台(2)相连的第一光学支架(4.1)、与第一光学支架(4.1)上端相连的第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)、与第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)螺纹连接的两个第一g1/4快拧(4.2)、安装在第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)最前端的第一光学楔镜(4.4),所述第一光学楔镜(4.4)的斜面朝外;
所述第二楔镜夹及水冷吸光组件(7)包括:与光学平台(2)相连的第二光学支架(7.1)、与第二光学支架(7.1)上端相连的第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)、与第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)螺纹连接的两个第二g1/4快拧(7.2)、安装在第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)最前端的第二光学楔镜(7.4),所述第二光学楔镜(7.4)的斜面朝外;
所述第一光学楔镜(4.4)与第二光学楔镜(7.4)相对安装;
激光沿输入激光光轴方向以楔角入射至第二光学楔镜(7.4)斜面,回返光偏离输入激光光轴方向两倍楔角反射至第一光学楔镜(4.4)斜面,回返光到达第一光学楔镜(4.4)后偏离输入激光光轴方向两倍楔角反射至后续光路中的衰减片组件(3)中,此时,输入激光与反射光平行。
6.根据权利要求5所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第二楔镜固定及激光水冷吸收机构(7.3)与第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)结构相同;所述第一楔镜固定及激光水冷吸收机构(4.3)前端内部安装有积分球和水冷装置,所述积分球位于第一光学楔镜(4.4)后面且靠近第一光学楔镜(4.4),所述水冷装置位于积分球后面。
7.根据权利要求5所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第二光学楔镜(7.4)与第一光学楔镜(4.4)结构相同。
8.根据权利要求5所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述第一光学楔镜(4.4)各项参数为:φ=25mm,楔角=11.22°,最小厚度为3mm,双面镀800~1200nm增透膜,99%≥透过率t≥97%@±30°。
9.根据权利要求1所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述qbh激光器(5)包括:与光学平台(2)相连的三维调整夹(5.1)、与三维调整夹(5.1)上端相连的qbh头夹具(5.2)、与qbh头夹具(5.2)相连的qbh头锁紧夹具(5.3)、固定在qbh头锁紧夹具(5.3)中的qbh激光准直器(5.4)。
10.根据权利要求9所述的一种用于测量大功率激光光束质量的衰减装置,其特征在于,所述qbh头锁紧夹具(5.3)采用硬塑材质制成,中间为u形,u形两端设置有连接法兰,两个连接法兰均与qbh头夹具(5.2)的长端外壁相连,所述qbh激光准直器(5.4)安装在qbh头锁紧夹具(5.3)中间的u形结构中。