一种测试装置及测试系统的制作方法

本实用新型涉及半导体器件测试技术领域，特别地涉及一种测试装置及测试系统。

背景技术：

随着半导体器件技术的发展，半导体器件一直在往高性能、高可靠性和小型化的方向发展。为了确保器件能够满足性能需求、市场需求等，器件从研发到上市，需要比较长的研发周期，这一过程中需要经过很多次的测试，以确保器件能够达到研发要求。测试在整个占据着非常重要的地位，目前的测试装置在实际测试过程中使用非常不方便，每次测试都需要焊接跳线再进行测试，这一过程不仅耗时耗力，而且还可能会将元器件引脚焊接坏，影响实验结果。甚至可能损伤器件，拖延实验周期。

技术实现要素：

本实用新型提供一种测试装置，所述测试装置的所述测试插孔件可活动地连接于所述测试基板，可有效地解决上述技术问题。

本实用新型的测试装置，包括测试基板以及至少两个用于连接待测器件的测试插孔件；其中，所述测试插孔件可活动地连接于所述测试基板，以使相邻所述测试插孔件之间相互靠近或远离。

在一个实施方式中，所述测试装置还包括至少两个测试组，所述测试组可活动地连接于所述测试基板，以使相邻所述测试组之间相互靠近或远离；所述测试插孔件设置于所述测试组内，并可随着所述测试组移动。

在一个实施方式中，所述测试插孔件间隔连接于所述测试组，并沿着第一预设方向可选择地滑动；所述测试组间隔连接于所述测试基板，并沿着第二预设方向可选择地滑动；其中，所述第一预设方向与所述第二预设方向成夹角设置。

在一个实施方式中，所述第一预设方向与所述第二预设方向之间的夹角设置为90°。

在一个实施方式中，所述测试插孔件包括插孔，所述插孔的内侧设置有用于夹持待测器件的管脚的夹持弹片。

在一个实施方式中，所述夹持弹片包括至少一部分相互抵接的第一弹片以及第二弹片，所述第一弹片与所述第二弹片在待测器件管脚的压力作用下相互远离并积蓄弹性势能从而抵接于待测器件的管脚。

在一个实施方式中，所述第一弹片与所述第二弹片关于两者的连接点对称且倾斜地设置，沿着向所述测试插孔件的插孔的延伸方向所述第一弹片与所述第二弹片之间的距离逐渐减小。

在一个实施方式中，所述第一弹片设置为弯折状，所述第一弹片具备有相连的第一弯折部以及第二弯折部；所述第二弹片设置为弯折状，所述第二弹片具备有相连的第三弯折部以及第四弯折部；所述第一弯折部与所述第三弯折部相对设置，沿着所述测试插孔件的插孔的延伸方向，所述第一弯折部与所述第三弯折部之间的距离逐渐减小；所述第二弯折部与所述第四弯折部相对设置，沿着所述测试插孔件的插孔的延伸方向，所述第二弯折部与所述第四弯折部之间的距离逐渐减小。

在一个实施方式中，所述第一弯折部与所述第三弯折部关于所述插孔的轴线对称设置；所述第二弯折部与所述第四弯折部关于所述插孔的轴线对称设置。

在一个实施方式中，所述夹持弹片上上设置有测试导线，所述测试导线沿着所述插孔的延伸方向设置。

在一个实施方式中，所述插孔的边缘处设置有绝缘胶。

本实用新型还提供了一种测试系统，所述测试系统包括上述的测试装置。

本实用新型提供的一种测试装置，与现有技术相比，至少具备有以下有益效果：

本实用新型的测试装置将所述测试插孔件可活动地连接于所述测试基板，使得相邻所述测试插孔件之间相互靠近或远离，进而可灵活地改变测试插孔件的排序，可灵活地根据用户需要进行测试的半导体器件的管脚的排列方式，进而调整测试插孔件的排序使之与半导体器件的管脚的排列方式相对应，可灵活地测试多种管脚排序不同的半导体器件。本实用新型提供的测试装置可灵活地测试多种管脚排序不同的半导体器件，节约成本，提高工作效率。

本实用新型提供的测试系统，由于包括上述的测试装置，因此也具备有上述的有益效果。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本实用新型进行更详细的描述。

图1是本实用新型实施例的测试装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例的测试装置的剖面示意图；

图3是本实用新型实施例的测试装置以及待测器件的连接结构示意图；

图4是本实用新型实施例在第一视角下的测试装置以及待测器件的连接剖面示意图；

图5是本实用新型实施例在第二视角下的测试装置以及待测器件的连接剖面示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例绘制。

附图标记：

10-测试装置；11-测试基板；13-测试组；131-测试插孔件；133-测试导线；135-绝缘胶；15-夹持弹片；151-第一弹片；151a-第一弯折部；151b-第二弯折部；153-第二弹片；153a-第三弯折部；153b-第四弯折部。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

请参照图1至图5，本实用新型的测试装置10，包括测试基板11以及至少两个用于连接待测器件的测试插孔件131；其中，所述测试插孔件131可活动地连接于所述测试基板11，以使相邻所述测试插孔件131之间相互靠近或远离。

本实用新型的测试装置10将所述测试插孔件131可活动地连接于所述测试基板11，使得相邻所述测试插孔件131之间相互靠近或远离，进而可灵活地改变测试插孔件131的排序，可灵活地根据用户需要进行测试的半导体器件的管脚的排列方式，进而调整测试插孔件131的排序使之与半导体器件的管脚的排列方式相对应，可灵活地测试多种管脚排序不同的半导体器件。本实用新型提供的测试装置10可灵活地测试多种管脚排序不同的半导体器件，节约成本，提高工作效率。

在一个例子中，所述测试装置10还包括至少两个测试组13，所述测试组13可活动地连接于所述测试基板11，以使相邻所述测试组13之间相互靠近或远离；所述测试插孔件131设置于所述测试组13内，并可随着所述测试组13移动。。设置至少两个测试组13，所述测试组13可活动地连接于所述测试基板11，可使得相邻所述测试组13之间相互靠近或远离，也即可根据待测半导体器件多组管脚之间的间距调整测试组13与之相对应，便于实现灵活切换测试，增强测试装置10的测试匹配性。

在一个例子中，所述测试插孔件131间隔连接于所述测试组13，并沿着第一预设方向可选择地滑动，所述测试组13间隔连接于所述测试基板11，并沿着第二预设方向可选择地滑动；其中，所述第一预设方向与所述第二预设方向呈夹角设置。将所述测试插孔件131构造为沿着第一预设方向可选择地滑动，将所述测试组13构造为沿着第二预设方向可选择地滑动；将所述第一预设方向与所述第二预设方向呈夹角设置，也即可实现测试组13与测试插孔件131沿着不同的方向滑动。

具体地，在本实施例中，所述第一预设方向与所述第二预设方向之间的夹角设置为90°。也就是使得测试插孔件131沿着上下方向滑动，使得所述测试组13沿着左右的方向滑动(测试组13实现左右滑动也即设置于测试组13内的测试插孔件131也可实现左右运动)，即可使得测试插孔件131实现上下左右滑动，进而可根据用户的需求，灵活地重组测试插孔件131的排序，进而可实现测试多种半导体器件。需要说明的，这里并不对第一预设方向与第二预设方向之间的夹角进行限定，可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将第一预设方向与第二预设方向之间的夹角设置为其他数值，例如30°，45°或者75°等。

具体地，在本实施例中，所述测试基板11具备有沿着第一预设方向设置的第一滑槽(图中未示出)，所述测试组13可滑动地连接于所述第一滑槽，并可在第一滑槽内沿着第一预设方向往复运行；所述测试组13具备有沿着第二预设方向设置的第二滑槽，所述测试插孔件131可滑动地连接于所述第二滑槽(图中未示出)，并可在第二滑槽内沿着第二预设方向往复运行。还需要说明的，在本实施例中，相邻所述测试组13之间设置有预设的间隙，具体的间隙大小可根据用户的需求，在实际的设计应用中，进行可选择地设计，在此并不对具体间隙的大小尺寸进行限定，不做过多的限定阐述。同理，在本实施例中，相邻所述测试插孔件131之间也设置有预设的间隙，具体的间隙大小可根据用户的需求，在实际的设计应用中，进行可选择地设计，在此并不对具体间隙的大小尺寸进行限定，不做过多的限定阐述。

具体地，在本实施例中，所述测试装置10包括四组测试组13，四组测试组13平行间隔连接于所述测试基板11。需要说明的，这里并不对测试组13的具体数量进行限定，可以理解的，在其他具体实施例中，也可以根据用户的需求，将测试组13的数量设置为两组或者六组等。

在一个例子中，所述测试插孔件131包括插孔，所述插孔的内侧设置有用于夹持待测器件的管脚的夹持弹片15。设置夹持弹片15，可用于待测器件管脚，在测试过程中，待测器件的管脚插入相应的测试插孔件131的插孔内进行测试过程中，所述夹持弹片15可牢固地夹持住待测器件的管脚避免其滑落进而影响测试的结果，同时设置夹持弹片15可增强测试过程的稳定性。

在一个例子中，所述夹持弹片15包括至少一部分相互抵接的第一弹片151以及第二弹片153，所述第一弹片151与所述第二弹片153在待测器件管脚的压力作用下相互远离并积蓄弹性势能从而抵接于待测器件的管脚。在测试过程中，将待测器件管脚插入相应的测试插孔件131的插孔内进行测试过程中，所述第一弹片151以及所述第二弹片153在待测器件管脚的压力作用下相互远离并积蓄弹性势能抵接于待测器件管脚，可通过具备有弹性的第一弹片151以及第二弹片153的弹性力进而牢固夹持待测器件管脚。

在一个例子中，所述第一弹片151与所述第二弹片153关于两者的连接点对称且倾斜地设置，沿着向所述测试插孔件131的插孔的延伸方向所述第一弹片151与所述第二弹片153之间的距离逐渐减小。将所述第一弹片151与所述第二弹片153关于两者的连接点对称且倾斜地设置，可使得夹持弹片15夹持不同尺寸的测器件的管脚，在测试过程中，由于沿着向所述测试插孔件131的插孔的延伸方向所述第一弹片151与所述第二弹片153之间的距离逐渐减小，也即第一弹片151与第二弹片153的截面形成锥形，可实现当测器件管脚在一个较大范围内均可通过第一弹片151以及第二弹片153对其进行夹持。同时，当测试完毕，将待测器件管脚脱离相应的测试插孔件131的插孔后，所述第一弹片151以及所述第二弹片153在弹性力的作用下相互抵接，进而遮挡测试插孔件131的插孔，可有效地避免灰尘或者其他杂物落入插孔内进而影响后续的测试。

在一个例子中，所述第一弹片151设置为弯折状，所述第一弹片151具备有相连的第一弯折部151a以及第二弯折部151b；所述第二弹片153设置为弯折状，所述第二弹片153具备有相连的第三弯折部153a以及第四弯折部153b；所述第一弯折部151a与所述第三弯折部153a相对设置，沿着所述测试插孔件131的插孔的延伸方向，所述第一弯折部151a与所述第三弯折部153a之间的距离逐渐减小；所述第二弯折部151b与所述第四弯折部153b相对设置，沿着所述测试插孔件131的插孔的延伸方向，所述第二弯折部151b与所述第四弯折部153b之间的距离逐渐减小。将第一弹片151以及第二弹片153均采用弯折设置，可进一步加强第一弹片151以及第二弹片153的弹性，在连接待测试器件管脚时，测试器件管脚端部可在压力作用下沿着所述第一弯折部151a与所述第三弯折部153a的倾斜面滑动，进而滑入所述第二弯折部151b与所述第四弯折部153b形成的倾斜面，继续伸入使其完全进入测试位，在第一弯折部151a与第三弯折部153a的作用下使得第二弯折部151b与第四弯折部153b获取来自结构的倾斜压力，进而使得第二弯折部151b与第四弯折部153b在夹持过程中，夹持更加牢固。

在一个例子中，所述第一弯折部151a与所述第三弯折部153a关于所述插孔的轴线对称设置；所述第二弯折部151b与所述第四弯折部153b关于所述插孔的轴线对称设置。将第一弯折部151a与所述第三弯折部153a关于所述插孔的轴线对称设置，所述第二弯折部151b与所述第四弯折部153b关于所述插孔的轴线对称设置，在保证夹持稳定的同时，还可有效地避免测试器件的管脚在测试过程中发生倾斜。

在一个例子中，所述夹持弹片15上设置有测试导线133，所述测试导线133沿着所述插孔的延伸方向设置。将测试导线133直接引出，这样避免了引脚焊线损伤引脚甚至破坏到器件本身的麻烦。在进行测试时，可以直接将元器件插在本发明专利的插孔中，直接进行测试。

在一个例子中，所述插孔的边缘处设置有绝缘胶135。在所述插孔的边缘处设置绝缘胶135，可有效地避免管脚相近而引起相邻的两个管脚之间误触引起的短路问题。

本实用新型还提供了一种测试系统，所述测试系统包括上述的测试装置10。

本实用新型提供的测试系统由于包括上述的测试装置10，因此也具备有上述的有益效果。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。