一种功率器件抗闩锁测试电路和测试装置的制作方法

文档序号:23603419发布日期:2021-01-12 07:38阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种功率器件抗闩锁测试电路,其特征在于,包括第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线;

所述同轴开关的一端连接所述第一同轴连接器的内导体,所述同轴开关的相对的另一端连接所述第一电极;所述第一同轴连接器的内导体还分别连接所述至少两根储能传输线;

所述第二同轴连接器的内导体连接所述第一电极;

所述第三同轴连接器的内导体连接所述同轴开关的控制端;

所述第二电极、所述第一同轴连接器的屏蔽层、所述第二同轴连接器的屏蔽层和所述第三同轴连接器的屏蔽层均接地;

所述第四同轴连接器的内导体连接所述第三电极。

2.根据权利要求1所述的功率器件抗闩锁测试电路,其特征在于,所述同轴开关为同轴水银开关。

3.一种功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,包括顶部屏蔽体、底部屏蔽体、被测器件放置区以及权利要求1或2所述的功率器件抗闩锁测试电路;

所述顶部屏蔽体与所述底部屏蔽体配合形成活动屏蔽体;

所述第一同轴连接器、所述第二同轴连接器、所述第三同轴连接器和所述第四同轴连接器均贯穿设置在所述底部屏蔽体上;

所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极均设置在所述被测器件放置区中;

所述同轴开关和所述被测器件放置区均设置在所述活动屏蔽体中。

4.根据权利要求3所述的功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,还包括顶部电路板和底部电路板;

所述底部电路板通过金属柱体架设在所述底部屏蔽体的底部;

所述顶部电路板通过电路板连接器与所述底部电路板连接;

所述同轴开关的控制端设置在所述底部电路板上;

所述被测器件放置区设置在所述顶部电路板上;

所述第三同轴连接器的内导体通过所述底部电路板上的pcb射频连接器连接所述同轴开关的控制端。

5.根据权利要求3所述的功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,所述同轴开关通过贝塞尔滤波器连接所述第一电极。

6.根据权利要求3所述的功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,所述第四同轴连接器的内导体通过lc滤波电路连接所述第三电极。

7.根据权利要求3所述的功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,所述第一同轴连接器为耐压值为5000v的shv型同轴连接器。

8.根据权利要求4所述的功率器件抗闩锁测试装置,其特征在于,所述pcb射频连接器为直头四脚sma插座。


技术总结
本实用新型涉及功率器件测试技术领域,具体涉及一种功率器件抗闩锁测试装置。包括:第一同轴连接器、第二同轴连接器、第三同轴连接器、第四同轴连接器、同轴开关、第一电极、第二电极、第三电极和至少两根储能传输线;同轴开关的一端连接第一同轴连接器的内导体,同轴开关的相对的另一端连接第一电极;第一同轴连接器的内导体连接至少两根储能传输线;第三同轴连接器的内导体依次连接控制端和地;第二电极接地;第四同轴连接器的内导体连接第三电极。本实用新型能够控制同轴开关闭合,闭合瞬间将储能传输线的能量转换为百纳秒的高压脉冲并施加至被测功率器件,以触发该功率器件发生电学闩锁效应。

技术研发人员:孙佳星;倪涛;曾传滨;王娟娟;王玉娟;张煦;罗家俊
受保护的技术使用者:中国科学院微电子研究所
技术研发日:2020.04.24
技术公布日:2021.01.12
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