视觉检测设备的制作方法

[0001]
本实用新型属于晶圆检测设备的技术领域，更具体地说，是涉及一种视觉检测设备。


背景技术：

[0002]
在现代电子产品中，半导体应用广泛，生产半导体器件中经常需要将晶棒(晶棒：比如单晶硅制成的圆柱体)切割成晶圆，晶圆切割后需要进行厚度检测或检查晶圆边缘的形状，检测非常困难，也很容易刮伤晶圆。


技术实现要素：

[0003]
本实用新型的目的在于提供一种视觉检测设备，以解决现有技术中存在的晶圆厚度检测或检查晶圆边缘的形状非常困难的技术问题。
[0004]
为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种视觉检测设备包括：工作平台、设置在所述工作平台上并用于铺放晶圆的载物平台、光源，朝向所述载物平台的摄像头、第一升降器，以及第二升降器；所述摄像头通过第一升降器设置在所述工作平台上，所述光源通过第二升降器设置在所述工作平台上；所述载物平台位于所述摄像头与所述光源之间。
[0005]
进一步地，所述摄像头的光轴与所述载物平台上用于铺放晶圆的载物平面平行。
[0006]
进一步地，所述光源位于所述摄像头的光轴上。
[0007]
进一步地，所述载物平台上设置有定位销。
[0008]
进一步地，所述定位销的数量为两个，两个所述定位销间隔设置。
[0009]
进一步地，所述工作平台上还设置有水平移动台，所述载物平台设置在所述水平移动台上。
[0010]
进一步地，其特征在于，所述第二升降器包括第一座体和第二座体；所述第一座体固定在所述工作平台上，所述光源固定在所述第二座体上，所述第二座体上开设有在竖向方向上延伸的条形孔，所述条形孔内穿设有锁紧所述第一座体和所述第二座体的螺钉，所述螺钉与所述第一座体螺纹连接。
[0011]
进一步地，所述条形孔的数量为多个，所述螺钉的数量为多个，多个所述条形孔与多个所述螺钉一一对应。
[0012]
进一步地，所述载物平台外侧罩设有挡光罩体，所述挡光罩体上开设有用于观察所述载物平台的观察孔。
[0013]
进一步地，还包括设置在所述载物平台上的显示器，所述显示器与所述摄像头电性连接。
[0014]
本实用新型提供的视觉检测设备的有益效果在于：与现有技术相比，本实用新型提供的视觉检测设备，晶圆平铺在载物平台上，光源照射载物平台上的晶圆，摄像头朝向载物平台并对载物平台上的晶圆进行拍照；光源通过第二升降器进行升降以调节光源与晶圆
之间的相对高度，提升摄像头的拍照效果；摄像头通过第一升降器进行升降以调节摄像头与晶圆之间的相对高低位置关系并拍摄晶圆的边缘，用户通过摄像头拍摄的晶圆边缘的图片来获取晶圆边缘形状和判断晶圆的厚度，非常方便，不会刮伤晶圆。
附图说明
[0015]
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]
图1为本实用新型实施例提供的视觉检测设备的立体示意图；
[0017]
图2为本实用新型实施例提供的视觉检测设备去掉挡光罩体的立体示意图；
[0018]
图3为本实用新型实施例提供的光源、摄像头和载物平台的立体安装示意图；
[0019]
图4为本实用新型实施例提供的光源、摄像头和载物平台的俯视安装示意图。
[0020]
其中，图中各附图标记：
[0021]
1-工作平台；2-载物平台；21-定位销；3-光源；4-摄像头；51-第一升降器；52-第二升降器；521-第一座体；522-第二座体；53-水平移动台；6-挡光罩体；61-观察孔；7-显示器；8-晶圆。
具体实施方式
[0022]
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0023]
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[0024]
需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[0025]
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0026]
请一并参阅图1至图4，现对本实用新型提供的视觉检测设备进行说明。视觉检测设备包括：工作平台1、设置在工作平台1上并用于铺放晶圆8的载物平台2、光源3，朝向载物平台2的摄像头4、第一升降器51，以及第二升降器52；摄像头4通过第一升降器51设置在工作平台1上，光源3通过第二升降器52设置在工作平台1上；载物平台2位于摄像头4与光源3之间。
[0027]
如此，晶圆8平铺在载物平台2上，光源3照射载物平台2上的晶圆8，摄像头4朝向载
物平台2并对载物平台2上的晶圆8进行拍照；光源3通过第二升降器52进行升降以调节光源3与晶圆8之间的相对高度(在一个实施例中，光源3与晶圆8位于同一高度)，提升摄像头4的拍照效果；摄像头4通过第一升降器51进行升降以调节摄像头4与晶圆8之间的相对高低位置关系并拍摄晶圆8的边缘，用户通过摄像头4拍摄的晶圆8边缘的图片来获取晶圆8边缘形状(晶圆8边缘形状：比如边缘轮廓的走势)和判断晶圆8的厚度(在一个实施例中，判断晶圆8的厚度可以在晶圆8的位置放置厚度参照物，将厚度参照物在摄像头4上成像的厚度与晶圆8在摄像头4上成像的厚度进行尺寸比较来获得晶圆8的厚度)，非常方便，不会刮伤晶圆8。具体的，在一个实施例中，摄像头4拍摄晶圆8时，摄像头4的光轴与晶圆8位于同一个高度(比如摄像头4的光轴经过晶圆8)，如此，摄像头4拍摄的晶圆8的边缘不容易发生变形。
[0028]
可选地，在一个实施例中，光源3为led灯。
[0029]
可选地，在一个实施例中，摄像头为ccd。
[0030]
可选地，在一个实施例中，工作平台1的顶面为平面。具体的，在一个实施例中，工作平台1的顶面为水平面。
[0031]
具体的，在一个实施例中，载物平台2的顶面为水平面。具体的，在一个实施例中，晶圆8铺放在载物平台2的顶面上，平铺在载物平台2上的晶圆8水平设置。如此，晶圆8不容易刮花。
[0032]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，摄像头4的光轴与载物平台2上用于铺放晶圆8的载物平面平行。如此，当摄像头4升降的过程中摄像头4的光轴经过铺放在载物平面上的晶圆8(或摄像头4的光轴与铺放在载物平面上的晶圆8位于同一高度)时，晶圆8在摄像头4上的成像中，晶圆8的顶面重合成第一直线，晶圆8的底面重合成第二直线，第一直线与第二直线之间的距离即为晶圆8的厚度，测量晶圆8的厚度非常方便。
[0033]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，光源3位于摄像头4的光轴上。如此，晶圆8位于光源3和摄像头4之间，光源3照明晶圆8时，晶圆8在摄像头4上产生的投影更加清晰。
[0034]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，载物平台2上设置有定位销21。如此，通过定位销21可以对晶圆8进行辅助定位。用户可以通过定位销21的位置来判断晶圆8在载物平台2上的位置，也可以通过定位销21来定位/限制晶圆8的位置。
[0035]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，定位销21的数量为两个，两个定位销21间隔设置。如此，晶圆8铺设在载物平台2上时，晶圆8的边缘抵接在两个定位销21即可对晶圆8进行定位。
[0036]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，工作平台1上还设置有水平移动台53，载物平台2设置在水平移动台53上。
[0037]
具体的，在一个实施例中，水平移动台53为第一千分尺滑台。如此，千分尺滑台的精度高。具体的，在一个实施例中，第一千分尺滑台包括固定在工作平台1上的第一基座、沿x轴滑设在第一基座上的第一滑座，以及沿y轴滑设在第一滑座上的第二滑座、第一螺旋测微器，以及第二螺旋测微器；第一螺旋测微器调节第一滑座的x轴方向的位移(比如：第一螺旋测微器固定在第一基座上，第一螺旋测微器的螺杆固定在第一滑座上，且第一螺旋测微
器的螺杆沿x轴方向延伸)；第二螺旋测微器调节第二滑座的y轴方向的位移(比如：第二螺旋测微器固定在第一滑座上，第二螺旋测微器的螺杆固定在第二滑座上，且第二螺旋测微器的螺杆沿y轴方向延伸)；载物平台2设置在第二滑座上。
[0038]
具体的，在一个实施例中，第一升降器51为第二千分尺滑台。如此，千分尺滑台的精度高。具体的，在一个实施例中，第二千分尺滑台包括固定在工作平台1上的第二基座和沿z轴滑设在第二基座上的第三滑座，以及第三螺旋测微器；第三螺旋测微器调节第三滑座的z轴方向的位移(比如：第三螺旋测微器固定在第二基座上，第三螺旋测微器的螺杆固定在第三滑座上，且第三螺旋测微器的螺杆沿z轴方向延伸)。
[0039]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，第二升降器52包括第一座体521和第二座体522；第一座体521固定在工作平台1上，光源3固定在第二座体522上，第二座体522上开设有在竖向方向(竖向方向：z轴方向)上延伸的条形孔，条形孔内穿设有锁紧第一座体521和第二座体522的螺钉，螺钉与第一座体521螺纹连接。如此，螺钉穿设在条形孔内以锁紧第一座体521和第二座体522；松开螺钉后(螺钉可以仍然穿设在条形孔内)，竖向滑动第二座体522后再锁紧螺钉即可调节二座体522的高度。
[0040]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，条形孔的数量为多个，螺钉的数量为多个，多个条形孔与多个螺钉一一对应。如此，多个螺钉可以更加牢固地锁紧第一座体521和第二座体522。
[0041]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，载物平台2外侧罩设有挡光罩体6，挡光罩体6上开设有用于观察载物平台2的观察孔61。如此，挡光罩体6可以减少外部光线干扰。具体的，在一个实施例中，挡光罩体6为金属罩。具体的，在一个实施例中，观察孔61为圆孔。
[0042]
进一步地，请参阅图1至图4，作为本实用新型提供的视觉检测设备的一种具体实施方式，还包括设置在载物平台2上的显示器7，显示器7与摄像头4电性连接。如此，摄像头4拍摄的照片从显示器7上显示出来。具体的，在一个实施例中，摄像头4拍摄的照片存储在存储卡上，存储卡上的照片发送(发送：可以通过计算机连接摄像头读取存储卡上的照片后传输到显示器7上)到显示器7中显示出来。
[0043]
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。