基于多光谱的半导体智能检测装置的制作方法

本实用新型涉及工业自动化的技术领域，特别是涉及一种基于多光谱的半导体智能检测装置。

背景技术：

在半导体领域，由于其产品单元较多，如一片板子上有成千上万可晶圆，对视觉技术的速度要求很高，为了确保产品的质量，需要对产品进行缺陷检测，传统的视觉检测技术，一般采用单一光源对单个产品一次成像，为了兼顾不同型号的产品，通常备用多种光源做选择，根据当前生产产品的缺陷形态来选择何种光源来进行成像。然而，在工作过程中发现，产品缺陷检测效果差，产品检测效率低，导致使用局限性较高。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性的一种基于多光谱的半导体智能检测装置。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，包括工作台、多光谱成像处理器、电机、减速机、主动轴、从动轴和传送带，工作台的底端设置有四组支撑腿，多光谱成像处理器固定安装在工作台的顶端，多光谱成像处理器的前端设置有显示屏和光学镜头，工作台顶端的左右两侧分别对称的设置有两组左立板和两组右立板，电机和减速机固定安装一组左立板的前端，电机的输出端与减速机的输入端连接，主动轴通过与减速机输出端的连接转动安装在两组左立板上，从动轴转动安装在两组右立板上，传送带转动套装在主动轴和从动轴的圆周外壁上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组万向架和四组脚轮，四组万向架分别固定安装在四组支撑腿的底端，四组脚轮分别转动安装在四组万向架上，四组万向架上均转动设置有锁扣。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括手推把，手推把固定安装在工作台的左端。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括防滑把套，防滑把套固定套装在手推把的圆周外壁上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括挡板，挡板固定安装在一组左立板和右立板的前端。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括散热板，多光谱成像处理器的后端设置有散热口，散热板上设置有四组固定螺栓，散热板通过四组固定螺栓固定安装在散热口上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组横梁，四组横梁分别固定安装在四组支撑腿上。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，所述工作台采用不锈钢材质制作。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先将产品放置到传送带上，通过启动电机，电机带动减速机传动，减速机带动主动轴转动，主动轴带动传送带和从动轴转动，通过传送带的转动对产品进行输送，当产品进入到光学镜头的视线时，光学镜头取得场景中的图像后，将图像信息传递给多光谱成像处理器，多光谱成像处理器通过内部处理器通过图像融合技术进行分析处理，并将缺陷检测结果通过显示屏显示出来，完成缺陷检测，多光谱成像处理器采用多光谱成像与图像处理技术，能够一次成像完成需要多次成像的目的，适应不同形态的产品缺陷检测，从而能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性。

附图说明

图1是本实用新型的前侧示意图；

图2是本实用新型中传送带的剖面结构示意图；

图3是本实用新型的上侧示意图；

图4是本实用新型中多光谱成像处理器的后侧示意图；

附图中标记：1、工作台；2、支撑腿；3、多光谱成像处理器；4、显示屏；5、光学镜头；6、左立板；7、右立板；8、电机；9、减速机；10、主动轴；11、从动轴；12、传送带；13、万向架；14、脚轮；15、锁扣；16、手推把；17、防滑把套；18、挡板；19、散热板；20、固定螺栓；21、横梁。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图4所示，本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，包括工作台1、多光谱成像处理器3、电机8、减速机9、主动轴10、从动轴11和传送带12，工作台1的底端设置有四组支撑腿2，多光谱成像处理器3固定安装在工作台1的顶端，多光谱成像处理器3的前端设置有显示屏4和光学镜头5，工作台1顶端的左右两侧分别对称的设置有两组左立板6和两组右立板7，电机8和减速机9固定安装一组左立板6的前端，电机8的输出端与减速机9的输入端连接，主动轴10通过与减速机9输出端的连接转动安装在两组左立板6上，从动轴11转动安装在两组右立板7上，传送带12转动套装在主动轴10和从动轴11的圆周外壁上；首先将产品放置到传送带12上，通过启动电机8，电机8带动减速机9传动，减速机9带动主动轴10转动，主动轴10带动传送带12和从动轴11转动，通过传送带12的转动对产品进行输送，当产品进入到光学镜头5的视线时，光学镜头5取得场景中的图像后，将图像信息传递给多光谱成像处理器3，多光谱成像处理器3通过内部处理器通过图像融合技术进行分析处理，并将缺陷检测结果通过显示屏4显示出来，完成缺陷检测，多光谱成像处理器3采用多光谱成像与图像处理技术，能够一次成像完成需要多次成像的目的，适应不同形态的产品缺陷检测，从而能够有效改善产品缺陷的检测效果，提高产品检测效率，降低使用局限性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组万向架13和四组脚轮14，四组万向架13分别固定安装在四组支撑腿2的底端，四组脚轮14分别转动安装在四组万向架13上，四组万向架13上均转动设置有锁扣15；通过设置万向架13和脚轮14，能够使设备的移动和调整更加的方便省力，并可通过锁扣15对脚轮14进行限制，使设备在静止时更平稳，降低使用局限性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括手推把16，手推把16固定安装在工作台1的左端；通过设置手推把16，能够便于推动设备移动和调整，降低使用局限性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括防滑把套17，防滑把套17固定套装在手推把16的圆周外壁上；通过设置防滑把套17，能够防止在推动设备移动时出现打滑脱手的情况，提高使用可靠性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括挡板18，挡板18固定安装在一组左立板6和右立板7的前端；通过设置挡板18，能够防止产品在运输过程中，从传送带12上掉落，提高使用可靠性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括散热板19，多光谱成像处理器3的后端设置有散热口，散热板19上设置有四组固定螺栓20，散热板19通过四组固定螺栓20固定安装在散热口上；通过设置散热板19，能够使多光谱成像处理器3内工作产生的热量散失，保证多光谱成像处理器3的正常运行，提高使用可靠性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，还包括四组横梁21，四组横梁21分别固定安装在四组支撑腿2上；通过设置横梁21，能够使设备的整体结构更加的平稳牢固，提高使用可靠性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，所述工作台1采用不锈钢材质制作；通过采用不锈钢材质，能够有效防止工作台1表面生锈，提高使用可靠性。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，其在工作时，首先将产品放置到传送带12上，通过启动电机8，电机8带动减速机9传动，减速机9带动主动轴10转动，主动轴10带动传送带12和从动轴11转动，通过传送带12的转动对产品进行输送，当产品进入到光学镜头5的视线时，光学镜头5取得场景中的图像后，将图像信息传递给多光谱成像处理器3，多光谱成像处理器3通过内部处理器通过图像融合技术进行分析处理，并将缺陷检测结果通过显示屏4显示出来，通过传送带12的连续转动，使产品进行连续的缺陷检测。

本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的一种基于多光谱的半导体智能检测装置的多光谱成像处理器、显示屏、光学镜头、电机和减速机为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。