技术特征：
1.一种检测设备，其特征在于，包括检测部(1)和设于所述检测部(1)内的检测腔室，所述检测腔室内包括用于对待测对象进行光学检测的光学元件；所述检测部(1)内填充有第一气体，所述检测腔室内填充有第二气体，所述第一气体的清洁度等于或低于所述第二气体的清洁度。2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测腔室包括第一腔室(11)和第二腔室(12)，所述光学元件包括设于所述第一腔室(11)内的探测装置和镜头组件以及设于所述第二腔室(12)内的光源装置。3.根据权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述第一腔室(11)内设有光学元件腔室，所述镜头组件设置在所述光学元件腔室内，所述光学元件腔室内填充有所述第二气体。4.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括位于所述检测部(1)下方的运动部(2)，所述运动部(2)内设有承载装置(21)和运动装置，所述承载装置(21)用于承载待测对象并带动所述待测对象运动，所述运动装置用于带动所述承载装置(21)运动。5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括供气部(4)和抽排部(5)，所述检测腔室包括第一腔室(11)，所述光学元件包括设于所述第一腔室(11)内的探测装置和镜头组件；所述供气部(4)用于为所述检测部(1)、所述第一腔室(11)和所述运动部(2)提供气体，并分别与所述检测部(1)、所述第一腔室(11)和所述运动部(2)通气连通；所述抽排部(5)用于排出所述检测部(1)、所述第一腔室(11)和所述运动部(2)的气体，并与所述检测部(1)、所述第一腔室(11)和所述运动部(2)通气连通。6.根据权利要求5所述的检测设备，其特征在于，所述供气部包括第一供气部和第二供气部，所述第一供气部用于为所述检测部(1)提供所述第一气体，所述第一供气部设有第一过滤装置，所述第一过滤装置用于产生所述第一气体；所述第二供气部用于向所述第一腔室(11)和运动部(2)提供所述第二气体，所述第二供气部设有第二过滤装置，所述第二过滤装置用于产生第二气体；所述第一过滤装置的过滤等级等于或低于所述第二过滤装置的过滤等级。7.根据权利要求6所述的检测设备，其特征在于，所述检测腔室还包括第二腔室(12)，所述光学元件包括设于所述第二腔室(12)内的光源装置，所述检测设备还包括与所述第二腔室(12)连通的供气装置，所述供气装置用于为所述第二腔室(12)提供第三气体，所述第三气体的清洁度高于或等于所述第二气体的清洁度；或者，所述第二腔室(12)与所述第二供气部通气连通，所述第二供气部用于向所述第二腔室(12)提供所述第二气体；还包括抽排装置，所述抽排装置用于将所述第二腔室(12)内的气体排出。8.根据权利要求4
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7任一项所述的检测设备，其特征在于，所述运动部(2)还包括设于所述运动部(2)侧壁的进样窗口，所述待测对象通过所述进样窗口进入所述运动部(2)并置于所述承载装置(21)上。9.根据权利要求5
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7任一项所述的检测设备，其特征在于，所述第一腔室(11)和所述运动部(2)均设有进气口(25)和出气口(26)，所述进气口(25)与所述供气部(4)通过通气管道连通；所述第一腔室(11)和所述运动部(2)内的气体通过所述出气口(26)排出。10.根据权利要求5
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7任一项所述的检测设备，其特征在于，还包括柜体，所述供气部
(4)、所述检测部(1)和所述运动部(2)由上至下依次设于所述柜体内。11.一种检测系统，其特征在于，包括传递装置以及如权利要求1
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10任一项所述的检测设备，所述传递装置能够将待测对象传递至所述检测设备的承载装置(21)。