测试装置及其测试机构的制作方法

1.本技术涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种测试装置及其测试机构。


背景技术：

2.现有对晶粒(die)进行检测的测试装置中，其中测试板的位置常因难以调节而导致测试板对晶粒的测试效果不佳。


技术实现要素：

3.本技术主要提供一种测试装置及其测试机构，以解决测试板的位置无法调节的问题。
4.为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种测试机构。所述测试机构包括：固定座，固定有测试板，所述测试板设有测试接口，所述测试接口用于与待测试工件对接；调整座，与所述固定座连接，用于调节所述固定座的位置。
5.在一些实施例中，所述调整座包括：
6.第一调整组件，用于沿第一方向调节所述固定座的位置；
7.第二调整组件，与所述第一调整组件层叠设置，所述第一调整组件和所述固定座分别设置于所述第二调整组件的两侧，用于沿与所述第一方向相垂直的第二方向调节所述固定座的位置。
8.在一些实施例中，所述调整座还包括支撑件和第三调整组件，所述支撑件的底面叠置且连接于所述第二调整组件背离所述第一调整组件的一侧，所述支撑件与所述底面相垂直的侧面上依次层叠设置有所述第三调整组件和所述固定座，所述第三调整组件用于沿与所述第一方向和所述第二方向均垂直的升降方向调节所述固定座的位置。
9.在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件均包括：
10.第一调节板；
11.第二调节板，与所述第一调节板层叠设置，并被所述第一调节板限定为沿设定方向运动；
12.连接件，设有调节孔，所述连接件的一端固定于所述第一调节板上，所述连接件的另一端通过紧固件和所述调节孔配合而连接于所述第二调节板；
13.调节杆，连接于所述第一调节板背离所述连接件的一侧，并抵接于所述第二调节板上。
14.在一些实施例中，所述第一调整组件、所述第二调整组件和所述第三调整组件还包括锁紧件，所述锁紧件设置于所述第一调节板上，并用于从与所述调节杆相反的一侧止挡所述第二调节板。
15.在一些实施例中，所述调节杆为千分尺。
16.在一些实施例中，所述固定座包括：
17.第一固定件，与所述调整座连接，设有避位孔，所述测试板承载于所述第一固定件，且所述测试接口自所述避位孔露出；
18.第二固定件，与所述第一固定件连接，以夹持所述测试板。
19.在一些实施例中，所述测试板包括：
20.第一测试子板，设有所述测试接口，承载于所述第一固定件上；
21.第二测试子板，插接于所述第一测试子板。
22.在一些实施例中，所述固定座还包括第三固定件，所述第三固定件与所述第一固定件垂直连接，所述第二测试子板还固定于所述第三固定件上。
23.为解决上述技术问题，本技术采用的另一个技术方案是：提供一种测试装置。所述测试装置包括如权上述的测试机构。
24.本技术的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术公开了一种测试装置及其测试机构。通过设置固定座和调整座，其中固定座固定有测试板，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试工件对接，调整座与固定座连接并可用于调节固定座的位置，从而调整测试接口的位姿，提升测试接口与工件的接触有效率，因而本技术提供的测试机构能够调整测试板的位置，提升测试效果。
附图说明
25.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，其中：
26.图1是本技术提供的测试装置一实施例的结构示意图；
27.图2是图1所示测试装置中承载组件的结构示意图；
28.图3是图2所示承载组件上a区域的放大结构示意图；
29.图4是图2所示承载组件中载盘的结构示意图；
30.图5是图2所示承载组件中载盘的仰视结构示意图；
31.图6是图1所示测试装置中承载组件和搬运装置的结构示意图；
32.图7是图6所示搬运装置中取放机构的结构示意图；
33.图8是图1所示测试装置中定位机构和测试机构的结构示意图；
34.图9是图8所示定位机构中承载台和调节台的结构示意图；
35.图10是图9所示承载台和调节台的详细结构示意图；
36.图11是图8所示定位机构中视觉采集装置的结构示意图；
37.图12是图8所示测试机构的结构示意图；
38.图13是图12所示测试机构中第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的结构示意图；
39.图14是本技术提供的定位方法一实施例的流程示意图；
40.图15是图14所示方法中步骤s10的流程示意图；
41.图16是图14所示方法中步骤s40的流程示意图；
42.图17是图14所示方法中步骤s50的流程示意图；
43.图18是本技术提供的计算机设备一实施例的结构示意图；
44.图19是本技术提供的存储装置一实施例的结构示意图。
具体实施方式
45.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
46.本技术实施例中的术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
47.在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本技术的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其他实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其他实施例相结合。
48.本技术提供一种测试装置100，参阅图1，图1是本技术提供的测试装置一实施例的结构示意图。
49.该测试装置100包括承载组件10、搬运装置20、定位机构30和测试机构40，承载组件10用于存放待测试和完成测试的工件并对工件进行粗定位，搬运装置20用于存放于承载组件10待测试的工件搬运至定位机构30，并将定位机构30上完成测试的工件搬运至承载组件10，定位机构30用于对所承载的工件进行精定位并校正位置，在工位的位置被校正后还将工件运输至与测试机构40对接，测试机构40用于对工件进行测试，以确定工件的品质。
50.测试装置100还包括间隔设置的第一安装平台50和第二安装平台52，其中承载组件10和搬运装置20安装于第一安装平台50，定位机构30和测试机构40安装于第二安装平台52。通过设置隔离的第一安装平台50和第二安装平台52，以避免由搬运装置20运行时产生的扰动传递给位于定位机构30和测试机构40，从而有利于提高工件与测试接口的对接精准度，提高了该测试装置100的效率并可降低设备故障率。
51.本实施例中，第二安装平台52上安装有两组定位机构30和测试机构40，定位机构30和测试机构40一一对应设置，以提高测试装置100的测试效率。
52.可选地，第二安装平台52上还可安装有其他数量的定位机构30和测试机构40，可按需设置，本技术对此不作具体限制。
53.参阅图2和图3，图2是图1所示测试装置中承载组件的结构示意图，图3是图2所示承载组件上a区域的放大结构示意图。
54.承载组件10包括载台12和多个载盘14，载台12固定于第一安装平台50，多个载盘14承载于载台12上。
55.具体的，载盘14设有多个第一承载槽140，载盘14设有第一防呆部142。多个第一承载槽140阵列排布于载盘14的一表面，每一承载槽140用于承载一工件，以对工件进行第一次定位，便于后续取放工件。
56.载台12设有用于安装载盘14的第二承载槽120，具体的，载台12背离第一安装台50的一侧阵列排布有多个第二承载槽120，第二承载槽120用于对载盘14进行定位，进而对承载于载盘14内的工件进行第二次定位。
57.第二承载槽120的侧壁还设有与第一防呆部142配合的第二防呆部122，以防止载盘14装载的位姿错误，进而影响后续的工件测试；第二承载槽120的侧壁还设有对载盘14进行弹性限位的弹性组件124，以对承载于第二承载槽120内的载盘14进行弹性预紧，并进一步定位载盘14的位置。
58.本实施例中，弹性组件124包括第一弹性件123和第二弹性件125，第一弹性件123连接于第二承载槽120的第一侧壁，并用于弹性抵接于载盘14的第一侧壁；第二弹性件125连接于第二承载槽120的与第一侧壁相邻的第二侧壁，用于弹性抵接于载盘14的第二侧壁；其中，第一弹性件123和第二弹性件125相互配合使得第一防呆部142与第二防呆部122对位装配。
59.其中，第一弹性件123和第二弹性件125为弹片。
60.可选地，第一弹性件123和第二弹性件125还可以是弹性垫或弹性推杆等。
61.可选地，弹性组件124还可以包括推块和弹簧等，其中推块设有与载盘14的角配合的缺口，进而推块可通过弹簧提供的弹性自适应地预紧载盘14，对载盘14进行定位和防止载盘14移动。
62.本实施例中，如图3和图4所示，图4是图2所示承载组件中载盘的结构示意图。第一防呆部142包括设置于载盘14的一角上的斜切面，第二防呆部122包括设置于第二承载槽120的一角上的避让槽，斜切面与避让槽对位装配，以便于载盘14按设定的方位装载于第二承载槽120，减少安装失误率。
63.进一步地，避让槽内设有凸帽126，凸帽126凸出于避让槽，以增加第二防呆部122的显著性，使得第二承载槽120更易于辨别。
64.可选地，第一防呆部142还可以是凹槽或凸柱，第二防呆部122可以是与凹槽对位的凸柱或者是与凸柱对位的凹槽；第一防呆部142还可以设置于载盘14的一侧边，第二防呆部122也可以设置于第二承载槽120的一侧壁；本技术对第一防呆部142和第二防呆部122的具体形式不作限制。
65.如图4和图5所示，图5是图2所示承载组件中载盘的仰视结构示意图。载盘14背离多个第一承载槽140的一侧设有避空槽144，多个第一承载槽140的底部均设有与该避空槽144连通的通孔146。避空槽144的范围对应于载盘14正面的全部第一承载槽140，各第一承载槽140上的通孔均连通避空槽144，以通过避空槽144连通大气，增加载于第一承载槽140内工件的取放便捷性。
66.如图3所示，第二承载槽120的底部还设有检测器127，检测器127用于测试第二承载槽120内是否承载有载盘14，以在确认第二承载槽120承载有载盘14后再对该载盘14执行相应的操作，例如拾取工件和放置工件；在确认第二承载槽120内未承载有载盘14，则放弃对该第二承载槽120所在的区域执行任何操作。因而，可使得搬运装置20运作更加精准和高
效。
67.本实施例中，如图2所示，载台12设有多个第二承载槽120，并被划分为上料区11、合格区13和废品区15，位于上料区11的载盘14用于承载待测试的工件，位于合格区13的载盘14用于承载测试通过后的工件，位于废品区15的载盘14用于承载测试未通过的工件，因而搬运装置20可在该承载组件10上完成取放动作。
68.进一步地，合格区13内的第二承载槽120还被划分为不同合格等级，以使得与其对应的载盘14用于承载相应合格等级的工件，以便于区分各等级的工件；废品区15内的第二承载槽120还被划分为不同废品等级，以使得与其对应的载盘14用于承载相应废品等级的工件，以对部分废品等级的工件进行回收和再加工，以提高利用率，增加效益。
69.结合参阅图2和图6，图6是图1所示测试装置中承载组件和搬运装置的结构示意图。搬运装置20从上料区11内的载盘14拾取待测试的工件，并将测试后的合格工件按等级放置于合格区13内对应等级的载盘14，将测试后的不合格工件按等级放置于废品区15内对应等级的载盘14。
70.参阅图6和图7，图7是图6所示搬运装置中取放机构的结构示意图。搬运装置20包括取放机构22和输送机构24，取放机构22包括第一取放组件220和第二取放组件224，第一取放组件220用于取放待测试的工件，第二取放组件224用于取放测试后的工件；输送机构24与取放机构22连接，用于输送取放机构22。
71.第一取放组件220从载盘14内拾取工件，输送机构24将取放机构22输送至定位机构30，第二取放组件224从定位机构30拾取测试后的工件，第一取放组件220再将拾取的工件放置于定位机构30，输送机构24将取放机构22输送至承载组件10，第二取放组件224将测试后的工件根据测试结构放置于对应的载盘14内。
72.本实施例中，第一取放组件220和第二取放组件224并排设置且结构相同，均包括导气件221、缓冲件223和升降驱动件225，导气件221内设有气道，缓冲件223连接于导气件221且与气道相通，缓冲件223用于通过气压取放工件，升降驱动件225与导气件221连接并用于驱动导气件221升降运动，以从工件上方取放工件。
73.其中，缓冲件223具有防静电特性，以避免缓冲件223上聚集静电而损坏所拾取的工件。
74.可选地，测试装置100可包括真空装置，以给导气件221提供气压，例如提供负压通过缓冲件223吸附拾取工件，或者反向吹气破除负压以释放工件；或者，还可通过导气管引入外接的真空装置与导气件221连接。
75.导气件221包括弯折连接的支撑部226和导气部227，支撑部226与升降驱动件225连接，导气部227向外延伸以便于取放工件。缓冲件223连接于导气部227朝向载盘14的一侧，缓冲件223具有弹性，以保护拾取的工件，避免工件的表面在取放时受到划痕等损伤。
76.可选地，升降驱动件225为气缸，并通过驱动滑块带动导气件221沿滑轨进行升降运动。其中，滑块的一侧还设有限位器，滑块的侧边设有与限位器配合的挡块，以避免导气件221下降行程超限而损坏工件和载盘14等。升降驱动件225还可以是电机，其通过丝杆或皮带等驱动导气件227升降。
77.如图6所示，输送机构24包括第一输送子机构240和第二输送子机构244，第一输送子机构240与取放机构22连接并用于驱动取放机构22沿水平上的第一方向运动；第二输送
子机构244与第一输送子机构240连接，并用于驱动第一输送子机构240沿水平上与第一方向相垂直的第二方向运动，进而携带取放机构22沿第二方向运动。其中，升降方向与水平面上的第一方向和第二方向均垂直。
78.本实施例中，第一输送子机构240包括第一丝杆组件241和第一驱动组件242，第一丝杆组件241与取放机构22连接，第一驱动组件242与第一丝杆组件241连接，用于驱动第一丝杆组241件沿第一方向输送取放机构22。
79.第二输送子机构244包括两个导轨245、第二丝杆组件246和第二驱动组件247，两个导轨245沿第二方向延伸且间隔设置，并分别滑动支撑于第一丝杆组件241的两端；第二丝杆组件246与第一丝杆组件241连接；第二驱动组件247与第二丝杆组件246连接，用于驱动第二丝杆组件246沿第二方向输送第一输送子机构240。
80.其中，输送机构24还包括底座，底座沿第一方向横跨于载台12，两个导轨245沿第一方向间隔设置且位于载台12的两侧，第一输送子机构240设置于底座上，底座滑动支撑于两个导轨245上，第二丝杆组件246与第一丝杆组件241一端支撑于导轨245上的底座连接，第二驱动组件247驱动第二丝杆组件246，以带动第一输送子机构240沿第二方向运动，从而使得取放机构22的运动范围覆盖整个载台12，以便于从各载盘14上取放工件。
81.可选地，第一输送子机构240和第二输送子机构244还可以是直线电机，直线电机可驱动取放机构22沿第一方向运动；或者，第一输送子机构240和第二输送子机构244包括电机、输送带和滑轨机构，电机通过皮带驱动滑轨机构，以带动取放机构22沿第一方向运动。
82.参阅图8至图11，图8是图1所示测试装置中定位机构和测试机构的结构示意图，图9是图8所示定位机构中承载台和调节台的结构示意图，图10是图9所示承载台和调节台的详细结构示意图，图11是图8所示定位机构中视觉采集装置的结构示意图。
83.定位机构30包括承载台32、调节台34、视觉采集装置36和控制装置(图未示)，承载台32用于承载待测试的工件，调节台34与承载台32连接并用于将调整承载台32的位置，视觉采集装置36用于对承载台32上的工件进行图像采集，控制装置用于根据视觉测试装置36所采集的图像获取待测试工件的初始位置，并调控调节台34使得待测试工件调整至预设位置，以便于工件与测试机构40的测试接口对正，使得工件上的触点便于与测试接口上的引脚对接，以进行测试。
84.具体地，如图10所示，承载台32用于承载待测试工件的承载面设有吸附孔320，吸附孔320用于吸附固定待测试的工件，可防止待测试的工件自移动，进而使得对工件的位姿调节更有效率。
85.如图9所示，调节台34包括第一调节组件340和第二调节组件342。第一调节组件340与承载台32活动连接并用于沿第一方向调节承载台32的位置，进而带动沿第一方向调节工件的位置。第二调节组件342与承载台32活动连接并用于沿第二方向调节承载台32的位置，进而带动沿第二方向调节工件的位置。
86.进一步地，第一调节组件340和第二调节组件342还用于配合调整承载台32的旋转角度。
87.换言之，调节台34可对承载台32进行位移调节和角度调节等精定位，进而使得工件被调节至预设位置，以便于工件与测试机构40的测试接口对正。
88.本实施例中，结合参阅图9和图10，第一调节组件340包括沿第二方向间隔分布且沿第一方向设置的两个调节子机构344，第二调节组件342包括沿第二方向设置的一个调节子机构344，调节子机构344与承载台32活动连接。
89.其中，沿第一方向设置的两个调节子机构344共同向第一方向的正方向或负方向驱动时，则将带动承载台32向第一方向的正方向或负方向运动。沿第二方向设置的调节子机构344向第二方向的正方向或负方向驱动时，则将带动承载台32向第二方向的正方向或负方向运动。沿第一方向设置的两个调节子机构344分别向第一方向的正方向和负方向驱动，且沿第二方向设置的调节子机构344随之对应的沿第二方向的正方向或负方向驱动时，可带动承载台32沿顺时针或逆时针旋转，进而可调节工件的旋转角度。
90.具体地，如图10所示，调节子机构344包括导轨345、第一滑块346、第二滑块347和驱动件348，导轨345固定于一支撑台上，第一滑块346与导轨345滑动配合，驱动件348用于驱动第一滑块346沿导轨345滑动，第二滑块347与第一滑块346的顶端滑动配合，且第二滑块347的滑动方向与第一滑块346的滑动方向相垂直，第二滑块347背离第一滑块346的一侧与承载台32活动连接。
91.其中，第一调节组件340中，第一滑块346的滑动方向沿第一方向设置，第二滑块347的滑动方向沿第二方向设置。第二调节组件342中，第一滑块346的滑动方向沿第二方向设置，第二滑块347的滑动方向沿第一方向设置。
92.因而，第一调节组件340驱动承载台32沿第一方向运动时，第二调节组件342中的第二滑块347跟随向第一方向运动；第二调节组件342驱动承载台32沿第二方向运动时，第一调节组件340中的第二滑块347跟随向第二方向运动，因而，第一调节组件340和第二调节组件342之间的运动可避免相互干涉。
93.在角度调节中，第一调节组件340中，靠近第一安装平台50的调节子机构344沿第一方向的正方向驱动，远离第一安装平台50的调节子机构344沿第一方向的反方向驱动，且同时有第二调节组件342沿第二方向的正方向驱动，则从俯视视角查看，承载台32将沿顺时针转动。第一调节组件340中，靠近第一安装平台50的调节子机构344沿第一方向的反方向驱动，远离第一安装平台50的调节子机构344沿第一方向的正方向驱动，且同时有第二调节组件342沿第二方向的反方向驱动，则从俯视视角查看，承载台32将沿逆时针转动。
94.本实施例中，调节台34还包括轴承341和转接板343，转接板343通过轴承341和第二滑块347活动连接，承载台32固定于转接板343。
95.可选地，调节台34还可以包括转盘机构和分别沿第一方向和第二方向设置的驱动机构，其中驱动机构用于驱动承载台32进行平移，转盘机构驱动承载台32旋转。
96.如图9所示，调节台34还包括第三调节组件349，第三调节组件349用于沿与第一方向和第二方向相垂直的升降方向调节承载台32的位置。第三调节组件349固定于第二安装平台52上，其包括电机和丝杆机构，丝杆机构上连接有支撑台，各调节子机构344均设置于支撑台上。调节台34用于在承载台32上的工件位置调整到预设位置后，驱动承载台32上的工件上升以与测试接口对接。
97.可选地，第三调节组件349还可以是包括气缸和导轨机构，通过气缸驱动导轨机构携带工件升降。
98.本实施例中，视觉采集装置36包括图像采集组件360、驱动组件362和调整组件
364。
99.如图11所示，图像采集组件360用于对工件拍照以采集图像，图像采集组件360可以是照相机或摄像机等。驱动组件362与图像采集组件360连接，并用于沿第一方向驱动图像采集组件360运动。
100.具体地，承载台32上放置有待测试的工件时，驱动组件362沿第一方向驱动图像采集组件360运动至工件的上方，以对工件进行图像采集，并在承载台32经调节台34调节位置后，再次对工件进行图像采集，并在确认工件被调整至预设位置后，驱动组件362驱动图像采集组件360撤离工件的上方，以便于第三调节组件349输送承载台32上升，以使得工件与测试接口对接。
101.驱动组件362包括电机和丝杆机构，图像采集组件360设置于丝杆机构上，电机驱动丝杆机构带动图像采集组件360沿第一方向来回运动。
102.调整组件364设置于丝杆机构和图像采集组件360之间，调整组件364用于校正图像采集组件360的安装位置。
103.调整组件364包括第一调节板365、第二调节板367、连接件(图未示)和调节杆369，第一调节板365与驱动组件362连接；第二调节板367与第一调节板365层叠设置，并被第一调节板365限定为沿设定方向运动，且第二调节板367背离第一调节板365的一侧连接有图像采集组件360；连接件设有调节孔(图未示)，连接件的一端固定于第一调节板365上，连接件的另一端通过紧固件和调节孔配合而连接于第二调节板367；调节杆369连接于第一调节板365背离连接件368的一侧，并抵接于第二调节板367上。
104.其中，该设定方向为第二方向，旋松紧固件以解除第一调节板365对第二调节板367的限制，调节杆369为千分尺，进而可以通过旋转抵推第二调节板367以对图像采集组件360的位置进行微分调节，并在图像采集组件360的安装位置到位后，旋紧紧固件以固定第二调节板367。
105.结合参阅图8、图12和图13，图12是图8所示测试机构的结构示意图，图13是图12所示测试机构中第一调整组件、第二调整组件和第三调整组件的结构示意图。
106.测试机构40包括固定座42和调整座44，固定座42固定有测试板60，测试板60设有测试接口62，测试接口62用于与待测试的工件对接，并位于承载台32的上方；调整座44与固定座42连接，并用于调节固定座42的位置，以利于测试接口62和工件对接。
107.固定座42包括第一固定件420和第二固定件422。第一固定件420与调整座44连接，且设有避位孔(图未示)，测试板60承载于第一固定件420，且测试接口62自避位孔露出；第二固定件422与第一固定件420连接，以夹持固定测试板60。
108.可选地，固定座42还可以仅包括第一固定件420，并通过紧固件固定测试板60于第一固定件420上。
109.测试板60包括可拆卸连接的第一测试子板61和第二测试子板63，第一测试子板61设有测试接口62，并承载于第一固定件420上；第二测试子板63插接于第一测试子板61。
110.其中，第一测试子板61作为对接工件的连接板，第二测试子板63可作为功能板，通过更换第二测试子板63以变更对工件的测试项目。
111.可选地，测试板60还可以是完整且独立的一块，其自身具有各种测试功能模块，本技术对此不作限制。
112.本实施例中，固定座42还包括第三固定件424，第三固定件424与第一固定件420垂直连接，第二测试子板63还固定于第三固定件424上，第三固定件424用于支撑第二测试子板63，以减小第二测试子板63与第一测试子板61之间的连接应力。
113.调整座44包括第一调整组件440和第二调整组件442，第一调整组件440用于沿第一方向调节固定座42的位置；第二调整组件442与第一调整组件440层叠设置，第一调整组件440和固定座42分别设置于第二调整组件442的两侧，第二调整组件442用于沿与第一方向相垂直的第二方向调节固定座42的位置。
114.通过设置第一调整组件440和第二调整组件442实现对测试接口62的水平位置调节，以确保测试接口62与位于预设位置的工件对接。
115.具体地，在首次检测时，承载台32上升到预设高度后，通过显微镜等设备观测测试接口62与工件上引脚或触点的对接状况，并通过第一调整组件440和第二调整组件442改善测试接口62与工件的对接状况，确保测试接口62上的引脚或触点与工件上的引脚或触点一一对正。
116.调整座44还包括支撑件443和第三调整组件445，支撑件443的底面叠置且连接于第二调整组件442背离第一调整组件440的一侧，支撑件443与底面相垂直的侧面上依次层叠设置有第三调整组件445和固定座42，第三调整组件445用于沿与第一方向和第二方向均垂直的升降方向调节固定座42的位置。
117.在首次检测时，还通过第三调整组件445调整固定座42，使得测试接口62上的引脚或触点与工件上的引脚或触点一一对接。
118.完成上述调节后，调整座44再锁紧固定座42的位置，以使得后续的被调整至预设位置的工件并顶升至预设高度后，即可确保测试接口62与工件对正并接触，从而有利于提高测试装置100的测试效率。
119.本实施例中，如图12和图13所示，第一调整组件440、第二调整组件442和第三调整组件445的结构均相同，其均包括第一调节板446、第二调节板447、连接件448、调节杆449和锁紧件444。
120.第一调节板446固定于第二安装平台52；第二调节板447与第一调节板446层叠设置，并被第一调节板446限定为沿设定方向运动；连接件448设有调节孔441，连接件448的一端固定于第一调节板446上，连接件448的另一端通过紧固件和调节孔441配合而连接于第二调节板447；调节杆449连接于第一调节板446背离连接件448的一侧，并抵接于第二调节板447上；锁紧件444设置于第一调节板446上，并用于从与调节杆449相反的一侧止挡第二调节板447。
121.其中，第一调整组件440中，该设定方向为第一方向；第二调整组件442中，该设定方向为第二方向；第三调整组件445中，该设定方向为升降方向。
122.具体地，第一调节板446设有滑道，第二调节板447未被固定时与第一调节板446滑动装配，并可沿滑道滑动，其中第一调节板446和第二调节板447的配合精度高，进而可沿设定方向精确地调整第二调节板447的位置。
123.调节杆449为千分尺，可进一步提高调整固定座42的位置的精度。
124.对应调整第一调整组件440、第二调整组件442或第三调整组件445时，旋松紧固件以解除第一调节板446对第二调节板447的限制，调节杆449为千分尺，进而可以通过旋转抵
推第二调节板447以对固定座42的位置进行微分调节，并在固定座42到位后，旋紧紧固件以固定第二调节板447，之后再通过锁紧件444从与调节杆449相反的一侧止挡第二调节板447，以加强对第二调节板447的锁紧限位，防止第二调节板447移位。
125.本技术还提供一种定位方法，参阅图14，图14是本技术提供的定位方法一实施例的流程示意图。本实施例中，该定位方法包括：
126.s10：对待测试工件进行粗定位。
127.对待测试工件进行粗定位，可以通过人工进行，也可以通过机械装置实现。
128.本实施例中，通过人工对待测试工件上料，以自动实现对待测试工件的粗定位。
129.具体地，参阅图15，步骤s10的具体实现包括：
130.s11：将多个待测试工件对应地安装于载盘的多个第一承载槽内。
131.人工将多个待测试工件对应地安装于载盘14的多个第一承载槽140内，进而通过第一承载槽140对待测试工件进行一次粗定位，一个载盘14可通过对多个待测试工件进行一次粗定位。
132.s12：将多个载盘对应地安装于载台的多个第二承载槽内。
133.载盘14内的各第一承载槽140全部承载有待测试工件后，将载盘14安装于载台12的第二承载槽120上，载台12包括多个第二承载槽120，进而可将多个满载待测试工件的载盘14对应地安装于载台12的多个第二承载槽120内，通过第二承载槽120对载盘14进行粗定位，进而间接地对承载于载盘14的待测试工件进行二次粗定位。
134.通过一次粗定位和二次粗定位的配合，可将待测试工件的位置精度控制在+/
‑
0.3mm，可实现对待测试工件的粗定位，确保待测试工件的初始位置不致于偏差过大而影响后续的取放及搬运待测试工件。
135.上述粗定位的过程实现，还可通过程序控制机械手完成，本技术对此不作具体限定。
136.s20：将粗定位后的待测试工件搬运至承载台。
137.搬运装置20从承载于载台12上的载盘14内拾取待测试工件，并将其搬运至承载台32，搬运装置20放置待测试工件于承载台32的位置精度可控制在+/
‑
0.5mm，以便于后续对待测试工件进行精定位，后续精定位时调整待测试工件的位置范围小。
138.s30：获取承载于承载台的待测试工件的初始位置数据。
139.通过图像采集的方式获取承载于承载台32的待测试工件的初始位置数据。
140.本实施例中，通过图像采集组件360对工件拍照以采集图像，并对该图像进行处理而得到工件的初始位置数据。
141.其中，待测试的工件放置于承载台32上，需对其进行图像采集以获取初始位置数据，且在工件经调节台34校正位置后，还需再对其进行图像采集，以获取调整后的调整位置数据，以便于后续判断工件是否调整到位。
142.s40：确定初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据。
143.控制装置内预存有工件预存位置数据的模板，通过处理初始位置数据和预设位置数据，以确定初始位置数据与预设位置数据之间的偏差数据。
144.在确认偏差数据之前，还将先一步确认初始位置数据是否存在于预设位置数据的误差范围内，若初始位置数据超出于预设位置数据的误差范围，则计算确认初始位置数据
unit，中央处理单元)。处理器210可以是一种集成电路芯片，具有信号的处理能力。处理器210还可以是通用处理器、数字信号处理器(dsp)、专用集成电路(asic)、现场可编程门阵列(fpga)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。通用处理器210可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
163.基于此，本技术还提供一种存储装置300，请参阅图19，图19是本技术提供的存储装置一实施例的结构示意图，该实施方式中，存储装置300存储有程序数据310，该程序数据310能够被处理器执行以实现上述任一实施例的机器人的控制方法。
164.其中，该程序数据310可以以软件产品的形式存储在上述存储装置300中，包括若干指令用以使得一个设备或处理器执行本技术各个实施方式方法的全部或部分步骤。
165.存储装置300是计算机存储器中用于存储某种不连续物理量的媒体。而前述的存储装置300包括：u盘、移动硬盘、只读存储器(rom，read
‑
only memory)、随机存取存储器(ram，random access memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序数据310代码的介质。
166.区别于现有技术的情况，本技术公开了一种测试装置及其测试机构。通过设置固定座和调整座，其中固定座固定有测试板，测试板设有测试接口，测试接口用于与待测试工件对接，调整座与固定座连接并可用于调节固定座的位置，从而调整测试接口的位姿，提升测试接口与工件的接触有效率，因而本技术提供的测试机构能够调整测试板的位置，提升测试效果。
167.以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。