用于测试一个或多个待测器件的自动测试设备和操作自动测试设备的方法与流程

1.本公开的实施例涉及用于测试一个或多个待测器件(dut)的自动测试设备。另外的实施例涉及操作用于测试一个或多个待测器件(dut)的自动测试设备的方法。具体地，本公开的实施例涉及柔性dut接口或可适配dut接口。


背景技术：

2.半导体测试系统用于诸如半导体器件或其他电子器件之类的器件的测试。例如，可以将一个或多个要测试的器件布置在晶片上。为了进行测试，待测器件(dut)需要被连接到诸如电子仪器之类的测试设备。为了快速且有效地测试多个dut，通常将dut放在dut板，该dut板提供到dut的连接器，这些连接器被布置成与dut的连接器的特定布置匹配。继而，dut板可以通过dut接口连接到测试头。测试头通常提供到测试设备的连接。因此，dut板、dut接口和测试头提供了dut与测试设备之间的连接。如上所述，dut板的用于接触dut的各个接触焊盘的触点可以布置成与特定的dut匹配。与之相比，通常根据固定布局来布置dut板的用于将接触dut的触点连接到dut接口的相对触点，以使得用于各种dut的多个dut板可以与相同dut接口一起使用。换言之，半导体测试系统的dut接口通常具有某一固定大小，测试系统与dut板(或负载板)之间的连接位于特定位置。
3.存在用于将测试头连接到dut板的各种方案。文献sg193487a1示出了一种用于将半导体探针连接至半导体处理器的对接器件，该对接器件具有探针部位和处理器部位连接器件与移位器件，其允许探针侧连接器件相对于处理器侧连接器件朝向彼此或彼此远离的平移和引导移位。
4.文献cn101002363a示出了一种晶片测试组件，该晶片测试组件包括像贴片一样布置的多个探针头基板，其一侧附接到连接器，另一侧支持探针。
5.文献us 6377062b1提出了一种浮动接口组件，该浮动接口组件在集成电路测试头与接入要测试的集成电路的探针卡或负载板上的接触焊盘之间提供信号路径。用于接触接触焊盘的弹簧加载引脚或其他接触器被安装在接口组件上，并通过柔性导体链接到测试头。
6.文献jp 2017096949a示出了一种探针系统，该探针系统包含可配置的通用探针棒，该探针棒具有多个探针块，该多个探针块包括多个探针销(probe pin)，该多个探针销被定位成与待测器件的多个面板的多个单元接触焊盘同时电接合，以传送多个电测试信号；以及对准系统，该对准系统被配置为将多个探针销与待测器件的多个面板的多个自接触焊盘对准。
7.此外，文献wo0073905a2示出了用于电子电路的大规模并行接口。文献us9921266b1示出了用于半导体测试的自动测试设备的一般通用装置接口。文献wo2008070466a2提出了在用于测试半导体器件的系统中共享资源。文献kr200427961y1示出了用于探测面板的装置中的操纵器。文献jp2013137286a示出了电子部件测试装置。
8.尽管如此，仍然需要一种测试dut的概念，该概念在测试不同dut的时间效率和成本效率之间提供了改进的折衷。


技术实现要素：

9.根据本发明的实施例提供了一种用于测试一个或多个dut的自动测试设备，该自动测试设备包括测试头和dut接口。dut接口包括多个弹簧加载引脚块，例如弹簧加载引脚的组或场。例如，dut接口被配置为在测试头与dut板或负载板之间建立电子信号路径，该dut板或负载板承托dut或提供到dut的连接。该自动测试设备被配置为允许至少两个弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。
10.例如，测试头被配置为向dut接口的弹簧加载引脚发送电信号或从dut接口的弹簧加载引脚接收电信号，或者在dut接口的弹簧加载引脚与测试仪器(例如，电信号的源或电信号的测量设备)之间建立电信号路径。例如，dut接口的弹簧加载引脚可以被配置为接触dut板的接触焊盘或连接器。
11.自动测试设备依赖于如下构思：dut接口具有多个弹簧加载引脚块，该多个弹簧加载引脚块具有可变距离，该dut接口在布置弹簧加载引脚块方面提供了高灵活性，从而增强了dut接口将接触的dut板的布局或设计的灵活性。弹簧加载引脚提供了用于特别快速地接触dut板或另一电路板的手段，同时弹簧加载引脚与接触焊盘或连接器之间的电接触仍可非常好。例如，与插头/插座连接相比，在不包括连接的情况下，弹簧加载引脚的相对于要由弹簧加载引脚接触的接触焊盘的中心的位置可以具有相对较大的公差。例如，dut板可以具有dut板平面，在该dut板平面上布置了要由dut接口接触的触点。弹簧加载引脚的使用可以提供弹簧加载引脚或弹簧加载引脚块相对于dut板平面的横向对准以及竖直或垂直位置的大的容许公差。例如，横向公差可以由dut板的接触焊盘的横向大小来限定，而纵向公差可以由弹簧加载引脚的可压缩性来限定。
12.通过改变dut接口的两个弹簧加载引脚块之间的距离，可以使两个弹簧加载引脚块的位置(即dut接口的布局)适配于dut板的接触焊盘或连接器的布局或位置。因此，各种不同的dut板，例如具有不同大小或接触焊盘间距的dut板可与自动测试设备一起使用。因此，自动测试设备减少了对dut板设计的约束，从而允许dut板的灵活设计，而不会为适配或更换自动测试设备而付出过多甚至是高到负担不起的努力。使得测试系统与dut板之间的连接彼此相距较远，会导致多个dut(多部位设置)的空间增加，和大量的用于支撑电子部件(例如，继电器、旁路电容器等)的空间。另一方面，将连接器靠得更近使得所需的dut板更小、更便宜、并且对dut的走线也更短，从而增强了信号性能。
13.允许改变至少两个弹簧加载引脚块之间的距离的自动测试设备，有助于根据dut板的布局来调整dut接口的布局，从而在不更换测试头或dut接口的情况下提供自动化设备对各种dut板的快速适配。因此，可以节省对于不同测试头或dut接口的扩展，并且可以准许自动测试设备的省时操作。由于弹簧加载引脚可以提供弹簧加载引脚相对于接触焊盘的定位的公差，因此弹簧加载引脚的使用与弹簧加载引脚块的位置的变化相结合是非常有益的。例如，与使用插头/插座连接相比，通过使用弹簧加载引脚可以降低对弹簧加载引脚块的移动的精度的要求。
14.根据本发明的方面，弹簧加载引脚的连接器场(field)或块可以被移出或推在一
起以支持不同的要求，例如，成本较低、具有较小部件空间的较小dut板、或具有更大部件空间的较大dut板。
15.根据实施例，自动测试设备包括两组弹簧加载引脚块，并且自动测试设备被配置为允许第一组弹簧加载引脚块与第二组弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。
16.在有两组弹簧加载引脚块的情况下，它们之间的可变距离允许灵活地设计可以共同移动的一组弹簧加载引脚块。一组内的弹簧加载引脚块的共同移动，确保了弹簧加载引脚块的快速且精确的移动。
17.根据实施例，第一组弹簧加载引脚块是第一行弹簧加载引脚块，第二组弹簧加载引脚块是第二行弹簧加载引脚块。第一行弹簧加载引脚块与第二行弹簧加载引脚块平行，例如，在
±
1度
±
2度或
±
5度的公差内平行。此外，自动测试设备被配置为允许第一行弹簧加载引脚块与第二行弹簧加载引脚块之间的距离发生变化。
18.例如，可以垂直于与弹簧加载引脚的行平行的方向来测量第一行和第二行弹簧加载引脚块之间的距离。改变两行弹簧加载引脚块之间的距离使得在距离变化之前由第一行和第二行弹簧加载引脚覆盖的第一区域与在距离变化之后由第一行和第二行弹簧加载引脚覆盖的第二区域之间的重叠特别小。换言之，距离的变化可能是特别有效的。
19.根据实施例，dut接口包括至少一组弹簧加载引脚块，该至少一组弹簧加载引脚块包括弹簧加载引脚块的至少一个场。
20.根据实施例，弹簧加载引脚块通过柔性线缆(例如，弹跳(pogo)线缆)耦合到测试头。
21.例如，弹簧加载引脚可以通过单独的柔性线缆分别连接到测试头。由于弹簧加载引脚和测试头之间的柔性耦合，弹簧加载引脚块可以轻松移动，而无需在改变弹簧加载引脚块之间的距离后将弹簧加载引脚重新连接到测试头。
22.根据实施例，使用线性导轨引导至少一个弹簧加载引脚块，以允许弹簧加载引脚块(即各个或至少一个弹簧加载引脚块)的线性移位，例如，引导线性移位。线性导轨是一种允许精确地移动弹簧加载引脚块的简单结构。
23.根据实施例，使用第一线性导轨引导第一弹簧加载引脚块，以及使用第二线性导轨引导第二弹簧加载引脚块，以使得能够通过将第一弹簧加载引脚块和第二弹簧加载引脚块沿着各自的线性导轨沿相反的方向移位，来改变第一弹簧加载引脚块与第二弹簧加载引脚块之间的距离。例如，第一弹簧加载引脚块和第二弹簧加载引脚块可以沿相反的方向移位相等的距离。
24.沿相反方向移动第一弹簧加载引脚块和第二弹簧加载引脚块可以确保当第一弹簧加载引脚块和第二弹簧加载引脚块被移位时，第一弹簧加载引脚块和第二块的实体的几何中心可以保持接近或处于相同位置。因此，在改变了第一和第二弹簧加载引脚块与dut板之间的距离之后，可以简化dut接口与dut板的对准。
25.根据实施例，使用铰链引导至少一个弹簧加载引脚块。铰链可以将旋转转换为平移。可以在机械上简单且有成本效率地实现旋转，并且可以特别快速和精确地执行旋转。
26.根据实施例，使用平行四边形连杆引导至少一个弹簧加载引脚块。平行四边形连杆可以提供使用铰链的优点，并且可以进一步确保在其上布置弹簧加载引脚的尖端的平面相对于dut板平面的平行对准。
27.根据实施例，平行四边形连杆的基础部分机械地连接(例如，附接)到测试头和平行四边形连杆的可移动载体部分，该可移动载体部分承载至少一个弹簧加载引脚块，并且被引导成与基础部分平行，例如，在不超过+/
‑
1度或不超过+/
‑
2度或不超过+/
‑
5度的公差内。例如，可以使用在可移动载体部分和基础部分之间的至少两个平行链路来引导可移动载体部分。
28.根据实施例，平行四边形连杆的可移动载体部分可移动以采取两个不同的位置，在该两个不同的位置中，平行四边形连杆的基础部分与平行四边形连杆的可移动载体部分之间的距离相等。
29.由于平行四边形连杆可移动到两个不同的位置，所以这两个不同的位置可以由机械止动件限定，并且因此可以特别精确。此外，至少一个弹簧加载引脚块的竖直位置(其指的是与dut板平面垂直的方向)，对于平行四边形连杆的两个不同位置而言，可以是相等的。因此，该布置可以允许例如手动地精确且快速地改变至少一个弹簧加载引脚块的位置。因此，该配置可以提供自动测试设备的特别便宜和精确的实现方式。
30.根据实施例，自动测试设备至少包括第一平行四边形连杆和第二平行四边形连杆。第一平行四边形连杆承载第一弹簧加载引脚块，第二平行四边形连杆承载第二弹簧加载引脚块。平行四边形连杆被适配为，例如布置和/或对准，以使得，当在垂直于dut板平面的俯视图中查看时，允许不同弹簧加载引脚块沿相反方向移动，例如使得两个不同弹簧加载引脚块的运动向量到dut板平面上的投影具有相反方向。该实施例结合了平行四边形连杆的优点以及沿着线性导轨在相反方向上移位两个弹簧加载引脚块的优点。
31.根据实施例，自动测试设备包括一个或多个致动器，例如电机或气缸，其被适配为实现至少两个弹簧加载引脚块之间的距离的变化。致动器可以允许至少两个弹簧加载引脚块之间的距离的特别精确的变化，并且可以进一步允许距离的自动变化。因此，可以在自动测试系统中实现该自动测试设备。
32.根据本发明的另一实施例提供了一种操作用于测试一个或多个待测器件的自动测试设备的方法，该自动测试设备包括测试头和dut接口，其中该dut接口包括多个弹簧加载引脚块，该方法包括改变dut接口的至少两个弹簧加载引脚块之间的距离。
33.应当注意，这些方法是基于与对应的自动测试设备相同的考虑的。此外，这些方法可以由本文关于自动测试设备描述的任何特征、功能和细节来补充，无论单独地还是结合起来。
附图说明
34.随后将参考附图描述根据本技术的实施例。
35.图1示出了根据实施例的自动测试设备。
36.图2示出了根据实施例的自动测试设备和dut板的布置。
37.图3a、图3b示出了根据实施例的具有线性导轨的自动测试设备。
38.图4、图5示出了根据实施例的具有平行四边形连杆的自动测试设备。
39.图6示出了根据实施例的具有致动器的自动测试设备。
40.图7示出了根据实施例的dut接口的弹簧加载引脚块的组的布置。
41.图8示出了根据实施例的dut接口的两种布局。
42.图9示出了根据实施例的用于操作自动测试设备的方法的流程图。
具体实施方式
43.在下面的描述中，将详细讨论实施例，但是，应当理解，实施例提供了许多可应用的概念，这些概念可以被体现在涉及器件测试和dut接口的各种应用中。所讨论的特定实施例仅是说明用于实现和使用本概念的特定方式，并且不限制实施例的范围。在下面的实施例的描述中，相同或相似的元件或具有相同功能的元件被提供有相同的附图标记或以相同的名称标识，并且通常省略对具有相同附图标记或以相同名称标识的元件的重复描述。因此，为具有相同或相似附图标记或以相同名称标识的元件提供的描述可互换或可以在不同实施例中应用于彼此。在以下描述中，阐述了多个细节以提供对本公开的实施例的更透彻的解释。然而，本领域技术人员将清楚，可以在没有这些具体细节的情况下实践其他实施例。在其他实例中，以框图的形式而不是详细地示出了公知的结构和设备，以避免模糊本文所述的示例。另外，除非另外明确指出，否则本文描述的不同实施例的特征可以彼此组合。
44.图1示出了根据实施例的用于测试一个或多个dut的自动测试设备10的示意图。自动测试设备10包括测试头18和dut接口11。dut接口11包括弹簧加载引脚14的多个块12。自动测试设备10被配置为允许至少两个弹簧加载引脚块12之间的距离发生变化。
45.例如，dut接口11包括多个弹簧加载引脚14。弹簧加载引脚14可以包括导电尖端，弹簧加载引脚14的尖端被布置在dut接口11的主平面15上。弹簧加载引脚14的尖端可以相对于弹簧加载引脚14的主体沿垂直于主平面15的方向移动。例如，弹簧加载引脚14可以在垂直于主平面的方向上被压缩。dut接口11的弹簧加载引脚14被分组在至少两个弹簧加载引脚块12中。弹簧加载引脚块12的弹簧加载引脚14的主体可以通过绝缘材料彼此机械地附接，而弹簧加载引脚块12的各个弹簧加载引脚14的尖端可以在垂直于主平面的方向上单独地移动。如果将dut接口11推靠在dut板上，则弹簧加载引脚14可被压缩。由于每个弹簧加载引脚14可以被单独地压缩，所以即使dut板被推靠在其上的dut接口的表面是不平坦的，或者即使dut接口的主平面与dut板被推靠在其上的dut板的表面不是完全平行的，弹簧加载引脚14也可以提供与dut板上的接触焊盘的良好电接触。
46.至少两个弹簧加载引脚块12之间的距离16可以变化，并且可以平行于dut接口的主平面15来测量。
47.dut接口11的弹簧加载引脚14可以例如分别连接到测试头18。测试头18可以提供多个弹簧加载引脚到电子仪器的单独连接。
48.自动测试设备10可以可选地由本文关于其他实施例描述的任何特征、功能和细节来补充，无论单独地还是结合起来。
49.图2示出了根据实施例的自动测试设备20的示意图。自动测试设备20可以对应于自动测试设备10。自动测试设备10包括测试头28和dut接口21，其可以分别对应于测试头18和dut接口11。图2还示出了要由自动测试设备20接触的示例性dut板29。
50.自动测试设备20包括两组23、27弹簧加载引脚块，例如，图1的块12。自动测试设备20被配置为允许第一组23弹簧加载引脚块与第二组27弹簧加载引脚块之间的距离26发生变化。例如，弹簧加载引脚块可以彼此附接以形成弹簧加载引脚块的组23、27。
51.图7示出了沿垂直于dut接口81的主平面15的方向的视图中的dut接口81的示意
图。dut接口81可以对应于dut接口11、21。例如，图2可以示出dut接口21、81的横截面。dut接口81包括多个弹簧加载引脚块，其被布置在弹簧加载引脚块的场(field)82中。dut接口81的场82被分组为八个子组84。子组84被布置成形成第一组83和第二组87弹簧加载引脚块，其可以分别对应于弹簧加载引脚块的组23、27。弹簧加载引脚块的组82、83之间的距离86可以改变。例如，距离86可以对应于图2的距离26。
52.因此，第一组83弹簧加载引脚块可以是第一行弹簧加载引脚块，第二组87弹簧加载引脚块可以是第二行弹簧加载引脚块。第一行弹簧加载引脚块可以平行于第二行弹簧加载引脚块。自动测试设备可以被配置为允许第一行弹簧加载引脚块与第二行弹簧加载引脚块之间的距离86发生变化。
53.例如，可以适配dut接口81的距离86，以使得dut接口与v93000测试仪匹配。例如，dut接口81可以具有8个组。例如，每个组由2个场构成，每个场具有9个弹簧加载引脚块。
54.根据实施例，弹簧加载引脚块经由柔性线缆25耦合至测试头28。例如，弹簧加载引脚块的弹簧加载引脚14可以通过柔性线缆耦合至测试头18、28。该特征独立于将弹簧加载引脚块12分组为弹簧加载引脚块12的组23、27。
55.根据实施例，为了更大的灵活性，弹簧加载引脚块可以可选地移动到不止一个位置。
56.图3a和图3b示出了根据实施例的自动测试设备30的示意图。自动测试设备30可以对应于自动测试设备10、20。自动测试设备30包括测试头28，并且还包括第一弹簧加载引脚块32和第二弹簧加载引脚块33。弹簧加载引脚块32、33包括弹簧加载引脚24，其可以对应于弹簧加载引脚14。自动测试设备30包括线性导轨37、38。线性导轨37、38提供了用于平行于dut接口31的主平面(其可以平行于dut接口31的主表面25)移位或移动弹簧加载引脚块32、33的装置。主表面25可以对应于关于图1引入的主表面15。
57.弹簧加载引脚块32、33的弹簧加载引脚24通过柔性pogo线缆25连接到测试头28。图3a和3b示出了弹簧加载引脚块32、33的两个不同位置。例如，图3a示出了在内部位置处的弹簧加载引脚块的配置，并且图3a中所示的弹簧加载引脚块32、33之间的距离26可以用于具有有限的板空间的较小dut板，但是因此其可以被应用于空间有限的应用中。对于提供增大的板空间的较大dut板，如图3b所示，可以增加弹簧加载引脚块32、33之间的距离26，这可以表示在外部位置处的弹簧加载引脚块的配置。
58.因此，可以使用线性导轨37、38引导至少一个弹簧加载引脚块32，以允许弹簧加载引脚块32线性移位。
59.换言之，一种实现构思(本发明的方面)是通过使用线性导轨来增加空间。
60.例如，使用第一线性导轨37引导第一弹簧加载引脚块32，并且使用第二线性导轨38引导第二弹簧加载引脚块33。可以引导第一弹簧加载引脚块32和第二弹簧加载引脚块33，以使得可以通过将第一弹簧加载引脚块32和第二弹簧加载引脚块33沿着各自的线性导轨37、38沿相反的方向移位来改变第一弹簧加载引脚块32与第二弹簧加载引脚块33之间的距离。
61.根据实施例，第一弹簧加载引脚块32和第二弹簧加载引脚块33可以沿着相反的方向移位相等的距离。
62.图4和图5示出了根据另一实施例的自动测试设备40的示意图。自动测试设备40可
以对应于自动测试设备10、20。自动测试设备40包括测试头28和dut接口41，该dut接口41可以与dut接口11、21相对应。dut接口41包括弹簧加载引脚块32、33。可以使用铰链引导至少一个弹簧加载引脚块。例如，可以使用平行四边形连杆引导至少一个弹簧加载引脚块，例如，图4和图5所示的平行四边形连杆47、48。换言之，另一实现构思(本发明的方面)是通过使用铰链来增加空间。
63.根据实施例，平行四边形连杆47、48的基础部分45机械地连接至测试头28，并且平行四边形连杆47、48的可移动载体部分46被引导成平行于该基础部分，可移动载体部分46承载至少一个弹簧加载引脚块32、33。
64.例如，可移动载体部分46可以相对于基础部分45移动。平行四边形连杆47、48可以引导可移动载体部分46相对于基础部分45的移动，以使得可以在移动期间保持可移动载体部分46相对于基础部分45的角度对准或旋转不变，例如，可移动载体部分46和基础部分45可以保持平行。例如，平行四边形连杆47的基础部分45和可移动载体部分46可以通过至少两个平行链路49连接。
65.图4示出了平行四边形连杆47、48的第一位置，其中弹簧加载引脚块32、33之间的距离26具有第一值，该第一值小于第二值。图5示出了平行四边形连杆47、48的第二位置，其中弹簧加载引脚块32、33之间的距离26具有第二值。dut接口41的主平面44(其可以对应于图1的dut接口11的主平面15)之间的距离43的值，在平行四边形连杆47、48的第二位置中，可以等于在平行四边形连杆47、48的第一位置中的该距离43的值。换言之，图4和图5可以分别表示在内部位置和外部位置处的弹簧加载引脚块的配置。
66.因此，平行四边形连杆47的可移动载体部分46可移动以采取两个不同的位置，在该两个不同的位置中，平行四边形连杆47的基础部分45与平行四边形连杆47的可移动载体部分46之间的距离43相等。
67.根据实施例，自动测试设备40至少包括第一平行四边形连杆47和第二平行四边形连杆48。第一平行四边形连杆47承载第一弹簧加载引脚块32，第二平行四边形连杆48承载第二弹簧加载引脚块33。平行四边形连杆47、48被适配为，当在垂直于dut板平面的俯视图中查看时，允许不同弹簧加载引脚块(例如，弹簧加载引脚块32、33)沿相反方向移动。例如，dut板平面可以平行于dut接口41的主平面44，例如，在+/
‑
5度的公差内。
68.根据实施例，自动测试设备10、20、30、40包括一个或多个致动器67，致动器67被适配为实现弹簧加载引脚的至少两个块之间的距离的变化。换言之，根据本发明的方面，位置之间的改变可以例如手动地或经由致动器来完成。致动器可以例如是气动的(例如，气缸)或电动的(例如，电机)。
69.例如，图6示出了根据实施例的自动测试设备60的示意图。自动测试设备60可以对应于自动测试设备10、20、30。自动测试设备60包括测试头28和dut接口61，dut接口61包括弹簧加载引脚块32、33。dut接口61可以对应于dut接口11、21。dut接口61包括致动器67，其用于改变弹簧加载引脚块32、33之间的距离26。例如，每个弹簧加载引脚块32、33可以通过单独的致动器67来移动或移位。根据另一示例，一个致动器67用于移位或移动至少两个弹簧加载引脚块32、33，以使得至少两个弹簧加载引脚块32、33的移动可以相反，但以相等的移动速率进行。例如，弹簧加载引脚块32、33可以由线性导轨(例如，线性导轨37、38)引导。
70.图8在沿垂直于dut接口的主平面的方向的俯视图中示出了dut接口90、91的布局
的两个示例。dut接口90、91包括弹簧加载引脚块92，该弹簧加载引脚块92被分组成第一组93和第二组97弹簧加载引脚块。dut接口布局的两个所示示例的不同之处在于：第一组93和第二组97弹簧加载引脚块之间的距离96的值。例如，自动测试设备10、20、30、40、60可以允许通过适配距离96来在dut接口布局90和dut接口布局91之间切换。
71.图9示出了根据实施例的操作用于测试一个或多个dut的自动测试设备10、20、30、40、60的方法1000的流程图，该自动测试设备包括测试头18、28和dut接口11、21、31、41、61。方法1000包括改变1010dut接口11、21、31、41的至少两个弹簧加载引脚块12、32、33、92之间的距离16、26、86、96。
72.进一步的实施例由以下方面定义，这些方面可以与本文公开的任何细节、特征和功能相结合或以其作为补充。这些方面可以单独使用或结合使用。
73.根据本发明的实施例提供了一种具有大小可变的装置(或用于改变大小的装置)的dut接口。
74.根据实施例，大小可变的装置由线性导轨构成或包括线性导轨。
75.根据实施例，大小可变的装置由铰链类型或铰链构成或包括铰链类型或铰链。
76.根据实施例，大小可变的装置用于更改弹簧加载引脚块的位置。
77.根据实施例，该位置可以从内部位置改变为外部位置。
78.根据实施例，该位置可以手动地改变。
79.根据实施例，该位置可以由致动器改变。
80.根据实施例，致动器由气缸或电机构成。
81.根据实施例，dut接口具有用于信号传输的柔性线缆(例如pogo线缆)以及弹簧加载引脚块。
82.尽管一些方面已被描述为装置的上下文中的特征，但是清楚的是，此描述也可以被视为方法的相应特征的描述。尽管一些方面已被描述为方法的上下文中的特征，但是清楚的是，此描述也可以被视为与装置的功能有关的对应特征的描述。
83.一些或所有方法步骤可以由(或使用)硬件装置来执行，例如，微处理器、可编程计算机、或电子电路。在一些实施例中，可以由这样的装置执行最重要的方法步骤中的一个或多个。
84.在前面的详细描述中，可以看出，为了使本公开流线化，各种特征被一起组合在示例中。该公开的方法不应被解释为反映了如下意图：所要求保护的示例需要比每个权利要求中明确记述的特征更多的特征。而是，如所附权利要求所反映的，主题可能在于少于单个公开示例的所有特征。因此，所附权利要求由此被结合到具体实施方式中，其中每个权利要求可以作为单独的示例而独立存在。尽管每个权利要求可以独立作为一个单独的示例，但应注意，虽然从属权利要求在权利要求书中可以指与一个或多个其他权利要求的特定组合，但其他示例也可以包括从属权利与每个其他从属权利要求的主题的组合或每个特征与其他从属或独立权利要求的组合。除非声明并非旨在进行特定组合，否则本文提出了此种组合。此外，意图是将权利要求的特征也包括到任何其他独立权利要求中，即使该权利要求没有直接从属于该独立权利要求。
85.上面描述的实施例仅用于说明本公开的原理。应当理解，本文描述的布置和细节的修改和变化对于本领域的技术人员将是显而易见的。因此，意图是仅由待决专利权利要
求的范围限制，而不受通过本文的实施例的描述和解释所呈现的具体细节的限制。