绝对式编码器的制作方法

1.本发明涉及绝对式编码器(absolute encoder)。


背景技术：

2.先前熟知一种在各种控制机械装置中用于对可动要素的位置或角度进行检测的旋转编码器。这样的编码器具有对相对位置或角度进行检测的增量式编码器和对绝对位置或角度进行检测的绝对式编码器。例如，专利文件1中公开了一种绝对型旋转编码器，其中具备利用磁性对主轴和副轴的角度位置进行检测的多个磁性编码器部，根据其检测结果可对主轴的绝对位置进行计测。
3.[引证文件]
[0004]
[专利文件]
[0005]
[专利文件1](日本)特开2013－24572号公报


技术实现要素：

[0006]
[要解决的技术问题]
[0007]
然而，以往的绝对式编码器采用了如下结构，即，使电路基板上设置的受光元件与旋转盘的表面相对配置，并藉由该受光元件对旋转盘的旋转量进行检测。为此，以往的绝对式编码器存在如下问题，即，如果电路基板的安装精度较低，则受光元件的检测面和旋转盘的表面就会变为彼此不平行，导致受光元件的检测精度下降。
[0008]
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提供一种能够抑制旋转量的检测精度下降的绝对式编码器。
[0009]
[技术方案]
[0010]
本发明的实施方式的绝对式编码器具备：电路基板，通过固定单元被固定在沿马达的旋转轴的轴方向与该旋转轴隔离配置且从所述马达侧开始延伸的多个支柱部各自的前端面上；及传感器，在所述电路基板上与随所述旋转轴的旋转而旋转的旋转体相对配置，并对所述旋转体的旋转量进行检测。所述电路基板具有：第1固定部，通过所述固定单元被固定在所述前端面上；及第2固定部，通过所述固定单元被固定并接地连接于所述前端面。所述第1固定部具有：调整部，位于所述电路基板和所述前端面之间，通过调整所述电路基板和所述前端面之间的距离，使所述第1固定部中的所述电路基板的高度位置与所述第2固定部中的所述电路基板的高度位置相等。
[0011]
[有益效果]
[0012]
本发明的绝对式编码器具有能够抑制旋转量的检测精度下降的效果。
附图说明
[0013]
〔图1〕表示本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1被安装在了马达200上的状态的斜视图。
[0014]
〔图2〕表示从图1所示的壳部115上卸下了盖部116的状态的斜视图。
[0015]
〔图3〕表示从图2所示的绝对式编码器100－1上卸下了基板120和基板安装螺丝122的状态的斜视图。
[0016]
〔图4〕基板120的底面图。
[0017]
〔图5〕图3所示的绝对式编码器100－1的平面视图。
[0018]
〔图6〕沿穿过马达轴201的中心并与x－z平面平行的平面对绝对式编码器100－1进行了切割的状态的剖面图。这里，示出了第2副轴齿轮138和磁性传感器90。
[0019]
〔图7〕沿与第1中间齿轮102的中心线垂直并穿过第1副轴齿轮105的中心的平面对绝对式编码器100－1进行了切割的剖面图。
[0020]
〔图8〕从大致右侧观察沿穿过第2副轴齿轮138的中心和第2中间齿轮133的中心并与z轴方向平行的平面对绝对式编码器100－1进行了切割的状态时的剖面图。
[0021]
〔图9〕表示本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1所具备的微电脑(微机)121的功能配置的图。
[0022]
〔图10〕藉由磁性传感器40对设置在主轴齿轮101(主轴齿轮1)上的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器50对设置在第1副轴齿轮105(副轴齿轮5)上的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器40对永磁铁8的一部分磁通作为漏磁通而与永磁铁9的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形(c)的概念的示意图。
[0023]
〔图11〕藉由磁性传感器50对设置在第1副轴齿轮105(副轴齿轮5)上的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器40对设置在主轴齿轮101(主轴齿轮1)上的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器50对永磁铁9的一部分磁通作为漏磁通而与永磁铁8的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形(c)的概念的示意图。
[0024]
〔图12〕表示图4所示的基板120的第1固定部20a和第2固定部20b的配置的底面图。
[0025]
〔图13〕本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1中的基板120的一部分(第1固定部20a和第2固定部20b)的截面构成的概略截面示意图。
[0026]
〔图14〕表示图13所示的基板120被固定在第1支柱部10a和第2支柱部10b上的状态的截面图。
[0027]
〔图15〕图13所示的基板120的变形例的截面构成的概略截面示意图。
[0028]
〔图16〕表示图15所示的基板120被固定在第1支柱部10a和第2支柱部10b上的状态的截面图。
[0029]
〔图17〕表示本发明的实施方式2的绝对式编码器100－2被安装在了马达200上的状态的斜视图。
[0030]
〔图18〕表示从图17所示的绝对式编码器100－2上卸下了壳部15和安装螺丝16后的状态的斜视图。
[0031]
〔图19〕表示从图18所示的绝对式编码器100－2上卸下了基板20和基板安装螺丝13后的状态的斜视图。
[0032]
〔图20〕对从表示图19所示的绝对式编码器100－2被安装在马达200上的状态的斜视图中卸下了马达200和螺丝14后的状态进行表示的斜视图。
[0033]
〔图21〕对图20所示的主基部10、中间齿轮2等在平面视图中的状态进行表示的图。
[0034]
〔图22〕沿穿过中间齿轮2的中心并与x－y平面平行的平面对图21所示的绝对式编码器100－2进行了切割的剖面图。
[0035]
〔图23〕对图22所示的轴承3从中间齿轮2上被卸下后的状态进行表示的局部放大剖面图。
[0036]
〔图24〕沿穿过图21所示的主轴齿轮1的中心并与中间齿轮2的中心线垂直的平面对图18所示的绝对式编码器100－2进行了切割的剖面图。这里，没有使基板20和磁性传感器40具有剖面。
[0037]
〔图25〕沿穿过图22所示的副轴齿轮5的中心并与中间齿轮2的中心线垂直的平面对图18所示的绝对式编码器100－2进行了切割的剖面图。这里，没有使基板20和磁性传感器50具有剖面。
[0038]
〔图26〕对图19所示的多个部件中的中间齿轮2被除去后的状态进行表示的斜视图。
[0039]
〔图27〕对从图26所示的壁部70上卸下螺丝12后的状态、螺丝12被卸下后的板弹簧11的状态、及设置有面对板弹簧11的板弹簧安装面10e的壁部70进行表示的斜视图。这里，没有表示马达200和主轴齿轮1。
[0040]
〔图28〕沿穿过图21所示的基板定位销10g的中心和基板定位销10j的中心并与z轴方向平行的平面对图18所示的绝对式编码器100－2进行了切割的剖面图。这里，没有使磁性传感器40具有剖面。
[0041]
〔图29〕从下表面20－1侧对图18所示的基板20进行观察时的图。
[0042]
〔图30〕从图17的状态卸下马达200并从主基部10的下表面10－2侧进行观察时的图。
[0043]
〔图31〕图17所示的壳部15的斜视图。
[0044]
〔图32〕沿穿过图19所示的基板定位销10g的中心和基板定位销10j的中心并与z轴方向平行的平面对图17所示的绝对式编码器100－2进行了切割的剖面图。这里，没有使马达200和主轴齿轮1具有剖面。
[0045]
〔图33〕本发明的实施方式2的绝对式编码器100－2所具备的微电脑21的功能配置图。
[0046]
〔图34〕可应用于实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2的永磁铁9a的示意图。
[0047]
〔图35〕可应用于实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2的永磁铁9b的示意图。
[0048]
〔图36〕图25所示的永磁铁8、磁铁座6、副轴齿轮5及轴承7的分解斜视图。
[0049]
〔图37〕图24所示的永磁铁9、主轴齿轮1及马达轴201的分解斜视图。
[0050]
〔图38〕表示实施方式2的绝对式编码器100－2所具备的基板20的第1固定部20a和第2固定部20b的配置的底面图。
具体实施方式
[0051]
以下，基于附图对本发明的实施方式的绝对式编码器的构成进行详细说明。需要
说明的是，本发明并不限定于这些实施方式。
[0052]
＜实施方式1＞
[0053]
图1是表示本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1被安装在了马达200上的状态的斜视图。以下，基于xyz直角坐标系进行说明。x轴方向与水平的左右方向相对应，y轴方向与水平的前后方向相对应，z轴方向与铅直的上下方向相对应。y轴方向和z轴方向分别与x轴方向正交。将x轴方向称为左方向或右方向，将y轴方向称为前方向或后方向，并将z轴方向称为上方向或下方向。图1中，将沿z轴方向从上方观察的状态称为平面视图，将沿y轴方向从前方观察的状态称为正视图，并将沿x轴方向从左右观察的状态称为侧视图。这样的方向的表示对绝对式编码器100－1的使用姿势并无限制，绝对式编码器100－1可在任意姿势下被使用。需要说明的是，附图中对齿部形状进行了省略。
[0054]
图2是表示从图1所示的壳部115上卸下了盖部116的状态的斜视图。图3是表示从图2所示的绝对式编码器100－1上卸下了基板120和基板安装螺丝122的状态的斜视图。图4是基板120的底面图。图5是图3所示的绝对式编码器100－1的平面视图。图6是沿穿过马达轴201的中心并与x－z平面平行的平面对绝对式编码器100－1进行了切割的状态的剖面图。这里，表示了第2副轴齿轮138和磁性传感器90。图7是对绝对式编码器100－1沿与第1中间齿轮102的中心线垂直并穿过第1副轴齿轮105的中心的平面进行了切割的剖面图。图7中，对壳部115和盖部116的记载进行了省略。图8是从大致右侧观察沿穿过第2副轴齿轮138的中心和第2中间齿轮133的中心并与z轴方向平行的平面对绝对式编码器100－1进行了切割的状态时的剖面图。此外，图8中，壳部115和盖部116的记载被进行了省略。
[0055]
以下，参照图1至图8对绝对式编码器100－1的构成进行详细说明。绝对式编码器100－1是对马达200的主轴的多次旋转的旋转量进行确定和输出的绝对式编码器。作为一例，马达200可为步进马达或dc无刷马达。作为一例，马达200也可作为经由波动齿轮装置等的减速机构对产业用等的机器人进行驱动的驱动源而被使用。马达200的马达轴201从马达200的z轴方向的两侧突出。绝对式编码器100－1将马达轴201的旋转量作为数字信号进行输出。需要说明的是，马达轴201是主轴的一例。
[0056]
绝对式编码器100－1设置于马达200的z轴方向的端部。对绝对式编码器100－1的形状并无特别限定，实施方式中，绝对式编码器100－1在平面视图中具有大致矩形形状，在正面视图和侧面视图中具有沿主轴的延伸方向(以下称轴方向。实施方式1中，轴方向为与z轴方向平行的方向。)较薄且细长的矩形形状。即，绝对式编码器100－1具有沿z轴方向扁平的长方体形状。
[0057]
绝对式编码器100－1具备对其内部结构进行容纳的中空矩形筒状的壳部115。壳部115包括至少对主轴和中间旋转体进行包围的多个(例如，4个)外壁部115a、外壁部115b、外壁部115c及外壁部115d。壳部115的外壁部115a、外壁部115b、外壁部115c及外壁部115d的端部上固定有盖部116。盖部116是在平面视图中具有大致矩形形状且为沿轴方向较薄的板状的部件。
[0058]
外壁部115a、外壁部115b、外壁部115c及外壁部115d依此顺序分别进行了连接。外壁部115a和外壁部115c互相平行设置。外壁部115b和外壁部115d跨设在外壁部115a和外壁部115c的侧端部上，且互相平行设置。该例中，外壁部115a和外壁部115c在平面视图中沿x轴方向延伸，外壁部115b和外壁部115d在平面视图中沿y轴方向延伸。
[0059]
绝对式编码器100－1包括主基部110、壳部115、盖部116、基板120、板弹簧111及多个螺丝164。主基部110是对各旋转体和各齿轮进行轴支撑的基台。主基部110包括基部110a、多个(例如，4个)支柱141、轴106、轴134及轴139。
[0060]
主基部110的基部110a是绝对式编码器100－1的面对马达200侧的板状的部分，并沿x轴方向和y轴方向延伸。中空矩形筒状的壳部115藉由多个(例如，3个)螺丝164被固定在主基部110的基部110a上。
[0061]
主基部110上配设的支柱141是从基部110a沿轴方向并沿远离马达200的方向进行突出的大致圆柱状的部分，用于对基板120进行支撑。基板120藉由基板安装螺丝122被固定在支柱141的突出端上。图2中示出了基板120以覆盖编码器内部的方式而被进行了设置的情形。基板120在平面视图中具有大致矩形形状，是在轴方向上较薄的板状的印刷配线基板。基板120上主要实装有磁性传感器50、磁性传感器40、磁性传感器90及微电脑(微机)121。
[0062]
另外，绝对式编码器100－1包括主轴齿轮101、蜗齿轮(worm gear)部101c、蜗轮(worm wheel)部102a、第1中间齿轮102、第1蜗齿轮部102b、蜗轮部105a、第1副轴齿轮105、第2蜗齿轮部102h、及蜗轮部133a。此外，绝对式编码器100－1包括第2中间齿轮133、第4驱动齿轮部133d、第4从动齿轮部138a、第2副轴齿轮138、永磁铁8、永磁铁9、永磁铁17、磁性传感器50、磁性传感器40、磁性传感器90、及微电脑121。
[0063]
主轴齿轮101随马达轴201的旋转而旋转，并将马达轴201的旋转传递至蜗齿轮部101c。如图6所示，主轴齿轮101包括与马达轴201的外周进行嵌合的第1筒状部101a、形成有蜗齿轮部101c的圆盘部101b、及对永磁铁9进行保持的磁铁保持部101d。磁铁保持部101d具有设置在圆盘部101b的中央部和第1筒状部101a的上端面的圆筒状的凹部形状。第1筒状部101a、圆盘部101b及磁铁保持部101d采用各中心轴大致一致的方式而被进行了一体形成。主轴齿轮101可藉由树脂材料、金属材料等的各种材料形成。主轴齿轮101例如可藉由聚缩醛(polyacetal)树脂形成。
[0064]
蜗齿轮部101c是对蜗轮部102a进行驱动的第1驱动齿轮的一例。特别地，蜗齿轮部101c是圆盘部101b的外周上所形成的条数＝1的蜗齿轮。蜗齿轮部101c的旋转轴线沿马达轴201的轴方向延伸。
[0065]
如图5所示，第1中间齿轮102是将主轴齿轮101的旋转传递至蜗轮部105a和第2中间齿轮133的齿轮部。第1中间齿轮102藉由轴104在与基部110a大致平行延伸的旋转轴线la的周围被进行了轴支撑。第1中间齿轮102是沿其旋转轴线la的方向而延伸的大致圆筒形状的部件。第1中间齿轮102包括基部102c、形成了蜗轮部102a的第1筒部102d、形成有第1蜗齿轮部102b的第2筒部102e、及形成了第2蜗齿轮部102h的第3筒部102f，其内部形成有贯穿孔，轴104可插通于该贯穿孔。藉由将该轴104插入设置在主基部110的基部110a上的支撑部110b和支撑部110c上所形成的孔内，可对第1中间齿轮102进行轴支撑。此外，轴104的从支撑部110b和支撑部110c向外侧突出了的两端付近分别设置了沟，该沟内嵌合有用于对轴104的脱出进行阻止的阻止环107和阻止环108，由此可防止轴104的脱落。
[0066]
外壁部115a设置在第1中间齿轮102的与马达轴201相反的一侧。外壁部115c与外壁部115a平行地设置在第1中间齿轮102的配置有马达轴201的一侧。第1中间齿轮102可采用其旋转轴线la面对任意方向的方式而被配置。第1中间齿轮102的旋转轴线la在平面视图
中可被设置为，相对于设置在第1中间齿轮102的与马达轴201相反的一侧的外壁部115a的延伸方向倾斜5
°
至30
°
的范围。图5的例中，第1中间齿轮102的旋转轴线la相对于外壁部115a的延伸方向进行了20
°
的倾斜。换言之，壳部115包括了在平面视图中沿相对于第1中间齿轮102的旋转轴线la倾斜了5
°
至30
°
的范围的方向而延伸的外壁部115a。图5的例中，外壁部115a的延伸方向和第1中间齿轮102的旋转轴线la之间的倾斜ds被设定为20
°
。
[0067]
实施方式1中，第1中间齿轮102的基部102c具有圆筒形状，第1筒部102d、第2筒部102e、及第3筒部102f具有直径比基部102c还大的圆筒形状。此外，第1中间齿轮102的中央处形成了贯穿孔。基部102c、第1筒部102d、第2筒部102e、第3筒部102f及贯穿孔采用各中心轴大致一致的方式被进行了一体形成。第2筒部102e、第1筒部102d及第3筒部102f依照该顺序被配置在互相分离的位置处。第1中间齿轮102可由树脂材料、金属材料等的各种材料形成。实施方式1中，第1中间齿轮102可由聚缩醛树脂形成。
[0068]
支撑部110b和支撑部110c分别是藉由对主基部110的基部110a的一部分进行切割并使其升高而从基部110a沿z轴正方向突出的突出形状的部件，并形成有供第1中间齿轮102的轴104插入的孔。此外，轴104的从支撑部110b和支撑部110c伸出的两端付近形成有沟，该沟内嵌合了用于对轴104的脱出进行阻止的阻止环107和阻止环108，由此可防止轴104的脱落。藉由这样地进行构成，第1中间齿轮102能以旋转轴线la为轴可旋转地被进行支撑。
[0069]
对板弹簧111进行说明。就第1中间齿轮102而言，藉由第1蜗齿轮部102b和第2蜗齿轮部102h对各蜗轮进行驱动，反作用力沿第1中间齿轮102的轴方向td发生作用，轴方向td的位置可进行变动。故，实施方式1中设置了向第1中间齿轮102赋予施力的板弹簧111。板弹簧111藉由将第1中间齿轮102的旋转轴线la方向上的施力赋予至第1中间齿轮102，可对轴方向td的位置变动进行抑制。板弹簧111包括安装在主基部110的基部110a上的安装部111b和从安装部111b延伸并与半球型突起102g接触的滑动部111a。安装部111b和滑动部111a由薄板状弹簧材料形成，滑动部111a的根部在中途被进行了相对于安装部111b大致为直角的弯折。如此，藉由使板弹簧111与第1中间齿轮102的半球型突起102g直接抵接并进行按压，可向第1中间齿轮102沿轴方向td进行施力。此外，第1中间齿轮102的滑动部102i可与主基部110的支撑部110c抵接并进行滑动。据此，可对第1中间齿轮102的轴方向td的位置的变动进行抑制。
[0070]
实施方式1中，第1中间齿轮102藉由与第1副轴齿轮105的蜗轮部105a啮合了的第1蜗齿轮部102b的旋转而从第1副轴齿轮105的蜗轮部105a接受的反作用力的方向被设定为，与第1中间齿轮102藉由与第2中间齿轮133的蜗轮部133a啮合了的第2蜗齿轮部102h的旋转而从第2中间齿轮133的蜗轮部133a接受的反作用力的方向相反。即，各蜗齿轮的齿的形状被设定为，各反作用力的第1中间齿轮102的轴方向td的成分互为相反方向。具体而言，各蜗齿轮中的齿的倾斜方向被设定为，分别与赋予至第1中间齿轮102的反作用力的轴方向td的成分的方向互为相反方向。此情况下，与第1中间齿轮102从各蜗齿轮所接受的反作用力的轴方向td的成分的方向相同的情况相比，轴方向td的合成反作用力较小，由此可使板弹簧111的施力变小。据此，第1中间齿轮102的旋转阻力减少，进而可顺畅地进行旋转。
[0071]
就上述方法而言，在主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所引起的滑动阻力较小，且藉由主轴齿轮101的旋转而赋予至第1中间齿轮102
的轴方向td的力与第1中间齿轮102从第1副轴齿轮105的蜗轮部105a和第2中间齿轮133的蜗轮部133a所接受的反作用力相比较小的情况下，较为有效；然而，在主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所导致的滑动阻力较大的情况下，下述方法较为有效。
[0072]
图5中，在主轴齿轮101进行右旋转的情况下，藉由主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所引起的滑动阻力，第1中间齿轮102上相对于轴方向td向右的力发生作用，第1中间齿轮102欲向右方向进行移动。此时，在采用如上所述的手法进行了使藉由第1中间齿轮102的两端的蜗齿轮而发生的轴方向td的力相互抵消的设定的情况下，如前所述的主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所引起的滑动阻力会导致作用于第1中间齿轮102的右方向的力相对变大。为了抵抗作用于该第1中间齿轮102的右方向的力，以阻止第1中间齿轮102沿右方向进行移动，需要增大板弹簧111的按压力。据此，板弹簧111的滑动部111a和与滑动部111a抵接并被按压的第1中间齿轮102的半球型突起102g之间的滑动阻力、以及、位于半球型突起102g的第1中间齿轮102的相反方向的端部的滑动部102i和支撑部110c之间的滑动阻力增加，第1中间齿轮102的旋转阻力变大。
[0073]
主轴齿轮101进行右旋转时，将第1中间齿轮102藉由与第1副轴齿轮105的蜗轮部105a啮合了的第1蜗齿轮部102b的旋转而从第1副轴齿轮105的蜗轮部105a接受的反作用力的方向和第1中间齿轮102藉由与第2中间齿轮133的蜗轮部133a啮合了的第2蜗齿轮部102h的旋转而从第2中间齿轮133的蜗轮部133a接受的反作用力的方向这两个方向都设定为欲使第1中间齿轮102相对于轴方向td向左进行移动的方向的力，由此，藉由前述的主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所引起的滑动阻力，可使作用于第1中间齿轮102的右方向的力变小。据此可使板弹簧111赋予第1中间齿轮102的施力变小。因此，第1中间齿轮102的旋转阻力减少，进而可顺畅地进行旋转。
[0074]
另一方面，在主轴齿轮101进行左旋转的情况下，藉由主轴齿轮101的蜗齿轮部101c和第1中间齿轮102的蜗轮部102a的啮合所导致的滑动阻力，第1中间齿轮102上相对于轴方向td向左的力发生作用，第1中间齿轮102欲向左进行移动。此时，位于第1中间齿轮102的两端的第1蜗齿轮部102b和第2蜗齿轮部102h所接受的反作用力都是欲使第1中间齿轮102向右移动的力。故，此情况下，也可使作用于第1中间齿轮102的左方向的力变小。板弹簧111赋予第1中间齿轮102的施力总是相对于轴方向td为左方向的力，故基于所述3处齿轮的啮合的作用于第1中间齿轮102的左方向的力变小，据此施加至第1中间齿轮102的左方向的总力也变小。因此，可使第1中间齿轮102的图中左端的滑动部102i和主基部110的基部110a上所设置的支撑部110c之间的滑动所引起的旋转阻力变小。
[0075]
图5中，蜗轮部102a是与主轴齿轮101的蜗齿轮部101c啮合的第1从动齿轮的一例。蜗轮部102a是第1筒部102d的外周上所形成的齿数＝20的蜗轮。蜗齿轮部101c和蜗轮部102a构成第1蜗轮变速机构。蜗轮部102a的旋转轴线沿与马达轴201的轴方向垂直的方向延伸。
[0076]
在主轴齿轮101的蜗齿轮部101c的条数为1，且第1中间齿轮102的蜗轮部102a的齿数为20的情况下，减速比为20。即，若主轴齿轮101进行20次旋转，则第1中间齿轮102进行20
÷
20＝1次旋转。
[0077]
第1蜗齿轮部102b是对蜗轮部105a进行驱动的第2驱动齿轮的一例，且为第1中间齿轮102的齿轮部。特别地，第1蜗齿轮部102b为第2筒部102e的外周上所形成的条数＝5的蜗齿轮。第1蜗齿轮部102b的旋转轴线沿与马达轴201的轴方向垂直的方向延伸。
[0078]
图5和图7中，第1副轴齿轮105随马达轴201的旋转而被减速，并与永磁铁8一体旋转。第1副轴齿轮105是包括被从主基部110的基部110a大致垂直地突出的轴106进行轴支撑的圆筒形状的轴承部105b、形成有蜗轮部105a的圆盘部105c、及对永磁铁8进行保持的保持部105d的、在平面视图中为大致圆形形状的部件。
[0079]
图7中，圆盘部105c具有从轴承部105b的外周沿半径向方向伸出的圆板形状。实施方式1中，圆盘部105c设置在靠近轴承部105b的远离基部110a的端部的位置。保持部105d具有设置在圆盘部105c的沿轴方向远离基部110a的端面的圆筒状的凹部形状。轴承部105b、圆盘部105c及保持部105d采用其各中心轴大致一致的方式而被进行了一体形成。第1副轴齿轮105可由树脂材料、金属材料等的各种材料形成。实施方式1中，第1副轴齿轮105可由聚缩醛树脂形成。
[0080]
蜗轮部105a是第1蜗齿轮部102b进行啮合的第2从动齿轮的一例。特别地，蜗轮部105a是圆盘部105c的外周上所形成的齿数＝25的齿轮。第1蜗齿轮部102b和蜗轮部105a构成第2蜗轮变速机构。蜗轮部105a的旋转轴线沿与马达轴201的轴方向平行的方向延伸。
[0081]
在第1中间齿轮102的第1蜗齿轮部102b的条数为5，且第1副轴齿轮105的蜗轮部105a的齿数为25的情况下，减速比为5。即，若第1中间齿轮102进行5次旋转，则第1副轴齿轮105进行1次旋转。故，若主轴齿轮101进行100次旋转，则第1中间齿轮102进行100
÷
20＝5次旋转，第1副轴齿轮105进行5
÷
5＝1次旋转。第1副轴齿轮105与永磁铁8一体旋转，故，若主轴齿轮101进行100次旋转，则永磁铁8进行1次旋转。即，磁性传感器50可对主轴齿轮101的旋转100次的旋转量进行确定。
[0082]
在这样构成的绝对式编码器100－1中，可对主轴齿轮101的旋转量进行确定。作为一例，当主轴齿轮101进行了1次旋转(旋转一圈)时，第1副轴齿轮105和永磁铁8进行1/100次旋转，即旋转3.6
°
。为此，如果第1副轴齿轮105的旋转角度为3.6
°
以下，则主轴齿轮101可被确定为是1次旋转以内的旋转量。
[0083]
图5中，第2蜗齿轮部102h是对蜗轮部133a进行驱动的第3驱动齿轮的一例，且为第1中间齿轮102的齿轮部。特别地，第2蜗齿轮部102h是第3筒部102f的外周上所形成的条数＝1的蜗齿轮。第2蜗齿轮部102h的旋转轴线沿与马达轴201的轴方向垂直的方向延伸。
[0084]
图5中，第2中间齿轮133是随马达轴201的旋转而旋转，并对马达轴201的旋转进行减速进而将其传递至第2副轴齿轮138的圆盘状的齿轮部。第2中间齿轮133设置在第2蜗齿轮部102h和第2副轴齿轮138上所设置的第4从动齿轮部138a之间。第4从动齿轮部138a与第4驱动齿轮部133d啮合。第2中间齿轮133具有与第3驱动齿轮的第2蜗齿轮部102h啮合的蜗轮部133a和对第4从动齿轮部138a进行驱动的第4驱动齿轮部133d。第2中间齿轮133例如可由聚缩醛树脂形成。第2中间齿轮133是在平面视图中为大致圆形形状的部件。第2中间齿轮133包括被主基部110的基部110a进行了轴支撑的轴承部133b和形成有蜗轮部133a的伸出部133c。
[0085]
图5中，藉由具备第2中间齿轮133，可将后述的第2副轴齿轮138配置在离开第2蜗齿轮部102h的位置，即，离开的距离为第2中间齿轮133，也就是第2副轴齿轮138和第2蜗齿
轮部102h之间具有第2中间齿轮133。为此，藉由使永磁铁9和永磁铁17之间的距离变长，可降低互相之间的漏磁通的影响。此外，藉由具备第2中间齿轮133，还能藉由第2中间齿轮133来扩大可对减速比进行设定的范围，由此可提高设计的自由度。
[0086]
图8中，伸出部133c具有从轴承部133b的外周沿半径向方向伸出的圆板形状。实施方式1中，伸出部133c设置在靠近轴承部133b的远离主基部110的基部110a的端部的位置。第4驱动齿轮部133d形成在轴承部133b的比伸出部133c还靠近基部110a侧的区域的外周。轴承部133b和伸出部133c以其各中心轴大致一致的方式被进行了一体形成。
[0087]
蜗轮部133a是与第2蜗齿轮部102h啮合的第2中间齿轮133的齿轮部。特别地，蜗轮部133a是伸出部133c的外周上所形成的齿数＝30的蜗轮。第2蜗齿轮部102h和蜗轮部133a构成第3蜗轮变速机构。蜗轮部133a的旋转轴线沿与马达轴201的轴方向平行的方向延伸。
[0088]
在第1中间齿轮102的第2蜗齿轮部102h的条数为1，且第2中间齿轮133的蜗轮部133a的齿数为30的情况下，减速比为30。即，若第1中间齿轮102进行30次旋转，则第2中间齿轮133进行1次旋转。故若主轴齿轮101进行600次旋转，则第1中间齿轮102进行600
÷
20＝30次旋转，第2中间齿轮133进行30
÷
30＝1次旋转。
[0089]
第4驱动齿轮部133d为对第4从动齿轮部138a进行驱动的传递要素。第4驱动齿轮部133d设置在主轴齿轮101的与第1副轴齿轮105侧相反的一侧，并随蜗轮部133a的旋转而旋转。第4驱动齿轮部133d是轴承部133b的外周上所形成的齿数＝24的正齿轮。
[0090]
图8中，第2副轴齿轮138是随马达轴201的旋转而旋转，并对马达轴201的旋转进行减速进而将其传递至永磁铁17的、在平面视图中为圆形形状的齿轮部。第2副轴齿轮138在从主基部110的基部110a大致垂直地延伸的旋转轴线的周围被进行了轴支撑。第2副轴齿轮138包括被主基部110的基部110a进行了轴支撑的轴承部138b、形成有第4从动齿轮部138a的伸出部138c、及对永磁铁17进行保持的磁铁保持部138d。轴承部138b具有对从主基部110的基部110a突出的轴139经由间隙进行环绕的圆筒形状。
[0091]
伸出部138c具有从轴承部138b的外周沿半径向方向伸出的圆板形状。实施方式1中，伸出部138设置在靠近轴承部138b的主基部110的基部110a的位置。磁铁保持部138d具有设置在轴承部138b的沿轴方向远离基部110a的端面的圆筒状的凹部形状。轴承部138b、伸出部138c及磁铁保持部138d采用其各中心轴大致一致的方式被进行了一体形成。第2副轴齿轮138可由树脂材料、金属材料等的各种材料形成。实施方式1中，第2副轴齿轮138可由聚缩醛树脂形成。
[0092]
第4从动齿轮部138a是被第4驱动齿轮部133d驱动的传递要素。第4从动齿轮部138a和第4驱动齿轮部133d构成减速机构。特别地，第4从动齿轮部138a是伸出部138c的外周上所形成的齿数＝40的正齿轮。
[0093]
在第4驱动齿轮部133d的齿数为24，且第4从动齿轮部138a的齿数为40的情况下，减速比为40/24＝5/3。若主轴齿轮101进行1000次旋转，则第1中间齿轮102进行1000
÷
20＝50次旋转，第2中间齿轮133进行50
÷
30＝5/3次旋转。故第2副轴齿轮138进行5/3
÷
5/3＝1次旋转。第2副轴齿轮138与永磁铁17一体旋转，故若主轴齿轮101进行1000次旋转，则永磁铁17进行1次旋转。即，磁性传感器90可对主轴齿轮101的1000次旋转的旋转量进行确定。
[0094]
图5～图8中，永磁铁9为第1永磁铁，永磁铁8为第2永磁铁，永磁铁17为第3永磁铁。永磁铁8、永磁铁9及永磁铁17分别(以下记为各永磁铁)具有在轴方向上偏平的大致圆柱形
状。各永磁铁例如由铁素体类、nd(钕)－fe(铁)－b(硼)类等的磁性材料形成。各永磁铁例如可为包含树脂粘合剂的橡胶磁铁或粘结磁铁。各永磁铁上设置有磁极。对各永磁铁的磁化方向并特别无限定，实施方式1中，如图31和图32所示，2极的磁极设置在了各永磁铁的与磁性传感器相对的端面上。各永磁铁的旋转方向的磁通密度分布可为梯形波形，也可为正弦波状或矩形波形状。
[0095]
各永磁铁的一部分或全部被收藏在各旋转体的端部处所形成的凹部内，例如可藉由粘接、锻造、压配合(press
‑
fit)等方式进行固定。永磁铁8粘接固定在第1副轴齿轮105的保持部105d上。永磁铁9粘接固定在主轴齿轮101的磁铁保持部101d上。永磁铁17粘接固定在第2副轴齿轮138的磁铁保持部138d上。
[0096]
若各永磁铁的间的距离较短，则互相毗邻的磁铁的漏磁通的影响会导致磁性传感器的检测误差变大。故，图5的例中，永磁铁9和永磁铁8在平面视图中互相隔离地配置在相对于壳部115的外壁部115a倾斜的视线lm上。视线lm是对永磁铁8和永磁铁9进行连接的虚拟线。永磁铁9和永磁铁17在相对于壳部115的外壁部115a倾斜的视线ln上互相分离地被进行了配置。视线ln与对永磁铁17和永磁铁9进行连接的虚拟线相等。实施例1中，使视线lm、ln相对于外壁部115a倾斜地被进行了设置，故与视线lm、ln和外壁部115a平行的情况相比，可使各永磁铁的间的距离变长。
[0097]
磁性传感器50、磁性传感器40及磁性传感器90(以下记为各磁性传感器)分别为，对各旋转体的与1次旋转相对应的0
°
～360
°
的范围的绝对旋转角进行检测的传感器。各磁性传感器将基于所检测的旋转角的信号(例如，数字信号)输出至微电脑121。各磁性传感器即使在暂时停止通电然后又进行通电的情况下也可输出与停止通电前相同的旋转角。为此也可为不具有备用电源的构成。
[0098]
就各磁性传感器而言，如图4所示，在基板120的主基部110的基部110a侧的表面上，藉由焊接、粘接等的方法被固定在同一平面上。磁性传感器40以位于与设置在主轴齿轮101上的永磁铁9的端面相隔一定间隙而进行面对的位置的方式被固定在基板120上。磁性传感器40是对与从永磁铁9产生的磁通的变化相对应的主轴齿轮101的旋转角度进行检测的第1角度传感器。磁性传感器50以位于与设置在第1副轴齿轮105上的永磁铁8的端面相隔一定间隙而进行面对的位置的方式被固定在基板120上。磁性传感器50是对与从永磁铁8产生的磁通的变化相对应的第1副轴齿轮105的旋转角度进行检测的第2角度传感器。磁性传感器90以位于与设置在第2副轴齿轮138上的永磁铁17的端面相隔一定间隙而进行面对的位置的方式被固定在基板120上。磁性传感器90是对与从永磁铁17产生的磁通的变化相对应的第2副轴齿轮138的旋转角度进行检测的第3角度传感器。
[0099]
各磁性传感器可使用分辨率比较高的磁性角度传感器。磁性角度传感器以在各自的旋转体的轴方向上与各永磁铁的包含磁极的端面相隔一定间隙的方式相对配置，根据该些磁极的旋转，可对相对的旋转体的旋转角进行确定，并输出数字信号。作为一例，磁性角度传感器包括对磁极进行检测的检测元件和基于该检测元件的输出对数字信号进行输出的运算电路。检测元件例如可包括多个(例如，4个)霍尔元件、gmr(giant magneto resistive)元件等的磁场感应元件。
[0100]
运算电路例如可被构成为，将多个检测元件的输出之差或比作为关键字(key)并使用查询表，由此藉由表处理对旋转角进行确定。该检测元件和运算电路可集成在一个ic
芯片上。该ic芯片可埋入具有较薄的长方体形状的外形的树脂中。各磁性传感器可经由图中未示的配线部件将与所检测的各旋转体的旋转角相对应的数字信号即角度信号输出至微电脑121。例如，各磁性传感器可将各旋转体的旋转角作为多个比特(例如，7比特)的数字信号而进行输出。
[0101]
图9是表示本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1所具备的微电脑121的功能配置的图。微电脑121藉由焊接、粘接等的方法而被固定在基板120的主基部110的基部110a侧的表面上。微电脑121由cpu构成，可获取表示分别从磁性传感器40、磁性传感器50及磁性传感器90输出的旋转角度的数字信号，并对主轴齿轮101的旋转量进行计算。图9所示的微电脑121的各个块表示作为微电脑121的cpu藉由执行程式(program)而实现的功能(function)。就微电脑121的各个块而言，从硬件的角度来说，可藉由以电脑的cpu(central processing unit)为首的元件或机械装置来实现，从软件的角度来说，可藉由电脑程式等来实现，这里，绘出了藉由硬件和软件的协作而实现的功能块。因此，阅读了本说明书的本领域的技术人员可理解到，该些功能块可藉由硬件和软件的组合并以各种各样的方式来实现。
[0102]
微电脑121具备旋转角获取部121p、旋转角获取部121q、旋转角获取部121r、表处理部121b、旋转量确定部121c、及输出部121e。旋转角获取部121q根据从磁性传感器40输出的信号获取作为对主轴齿轮101的旋转角度进行表示的角度信息的旋转角度aq。旋转角获取部121p根据从磁性传感器50输出的信号获取作为对第1副轴齿轮105的旋转角度进行表示的角度信息的旋转角度ap。旋转角获取部121r获取作为对磁性传感器90所检测的第2副轴齿轮138的旋转角度进行表示的角度信息的旋转角度ar。
[0103]
表处理部121b藉由参照保存了旋转角度ap和与旋转角度ap相对应的主轴齿轮101的转数的第1对应关系表，可对与所获取的旋转角度ap相对应的主轴齿轮101的转数进行确定。此外，表处理部121b藉由参照保存了旋转角度ar和与旋转角度ar相对应的主轴齿轮101的转数的第2对应关系表，可对与所获取的旋转角度ar相对应的主轴齿轮101的转数进行确定。
[0104]
旋转量确定部121c根据表处理部121b所确定的主轴齿轮101的转数和所获取的旋转角度aq，可对主轴齿轮101的多次旋转的第1旋转量进行确定。输出部121e将旋转量确定部121c所确定的主轴齿轮101的多次旋转的旋转量变换为表示该旋转量的信息，并进行输出。
[0105]
以下对这样地被构成的实施方式1的绝对式编码器100－1的作用
·
效果进行说明。
[0106]
实施方式1的绝对式编码器100－1是对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定的绝对式编码器，并具备随马达轴201的旋转而旋转的蜗齿轮部101c、与蜗齿轮部101c啮合的蜗轮部102a、随蜗轮部102a的旋转而旋转的第1蜗齿轮部102b、与第1蜗齿轮部102b啮合的蜗轮部105a、随蜗轮部105a的旋转而旋转的第1副轴齿轮105、与第1副轴齿轮105一体旋转的永磁铁8、及对永磁铁8的旋转角进行检测的磁性传感器50。藉由该构成，根据磁性传感器50的检测结果，可对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定。此外，由于具备包括蜗齿轮部101c和与蜗齿轮部101c啮合的蜗轮部102a的第1蜗轮变速机构以及包括第1蜗齿轮部102b和与第1蜗齿轮部102b啮合的蜗轮部105a的第2蜗轮变速机构，故藉由构成弯曲的传递
路径可对绝对式编码器100－1进行薄型化(薄化)。
[0107]
实施方式1的绝对式编码器100－1是对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定的绝对式编码器，并具备随马达轴201的旋转而以第1减速比进行旋转的第1中间齿轮102、随第1中间齿轮102的旋转而以第2减速比进行旋转的第1副轴齿轮105、与第1副轴齿轮105一体旋转的永磁铁8、及对永磁铁8的旋转角进行检测的磁性传感器50，马达轴201的旋转轴线位于相对于第1中间齿轮102的旋转轴线歪斜的位置，并被设定为与第1副轴齿轮105的旋转轴线平行。藉由该构成，根据磁性传感器50的检测结果，可对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定。由于第1中间齿轮102的旋转轴线位于相对于马达轴201和第1副轴齿轮105的旋转轴线歪斜的位置，且在正面视图中进行正交，故藉由构成弯曲的传递路径可对绝对式编码器100－1进行薄型化。
[0108]
实施方式1的绝对式编码器100－1是对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定的绝对式编码器，并具备包括第1蜗轮变速机构且随马达轴201的旋转而使永磁铁8旋转的减速机构以及根据永磁铁8的磁极对永磁铁8的旋转角进行检测的磁性传感器50，马达轴201的旋转轴线被设定为与永磁铁8的旋转轴线平行。藉由该构成，根据磁性传感器50的检测结果，可对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定。由于包括第1蜗轮变速机构，且马达轴201的旋转轴线和永磁铁8的旋转轴线被进行了平行设定，故藉由构成弯曲的传递路径
を
构成可对绝对式编码器100－1进行薄型化。
[0109]
实施方式1的绝对式编码器100－1具备对马达轴201的旋转角进行检测的磁性传感器40。藉由该构成，根据磁性传感器40的检测结果，可对马达轴201的旋转角进行确定。与不具备磁性传感器40的情况相比，绝对式编码器100－1可提高能够进行确定的马达轴201的旋转角的分辨率(resolution)。
[0110]
实施方式1的绝对式编码器100－1中，具备随蜗轮部102a的旋转而旋转的第2蜗齿轮部102h、与第2蜗齿轮部102h啮合的蜗轮部133a、随蜗轮部133a的旋转而旋转的第2副轴齿轮138、与第2副轴齿轮138一体旋转的永磁铁17、及对永磁铁17的旋转角进行检测的磁性传感器90。藉由该构成，根据磁性传感器90的检测结果，可对马达轴201的多次旋转的旋转量进行确定。与不具备磁性传感器90的情况相比，绝对式编码器100－1可增大能够进行确定的马达轴201的旋转量的范围。
[0111]
实施方式1的绝对式编码器100－1中，具备设置有第1蜗齿轮部102b和第2蜗齿轮部102h的第1中间齿轮102，第1中间齿轮102藉由第1蜗齿轮部102b的旋转而接受的反作用力的方向被设定为，与第1中间齿轮102藉由第2蜗齿轮部102h的旋转而接受的反作用力的方向相反。藉由该构成，与反作用力的方向相同的情况相比，可减小两个反作用力的合成反作用力。
[0112]
实施方式1的绝对式编码器100－1中，蜗轮部102a的外径被设定为小于蜗齿轮部101c的外径。藉由该构成，与蜗轮部102a的外径较大的情况相比，容易进行薄型化。
[0113]
这里，例如在主轴齿轮101和第1副轴齿轮105为互相毗邻配置的情况下，永磁铁8和永磁铁9各自产生的磁通的一部分会对没有与永磁铁8和永磁铁9相对应的磁性传感器产生影响，即，所谓的磁性干扰，以下对其进行说明。
[0114]
图10是表示藉由磁性传感器40对主轴齿轮101(主轴齿轮1)上所设置的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器50对第1副轴齿轮105(副轴齿轮5)上所设置
的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器40对永磁铁8的一部分磁通作为漏磁通与永磁铁9的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形的概念的图。纵轴表示磁通，横轴表示主轴齿轮101的旋转角度。这样，在磁性传感器40中，期望检测出(a)的波形，但在发生了磁性干扰的情况下，却变为如(c)所示的波形，故无法检测到正确的波形。
[0115]
同样，图11是表示藉由磁性传感器50对第1副轴齿轮105(副轴齿轮5)上所设置的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器40对主轴齿轮101(主轴齿轮1)上所设置的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器50对永磁铁9的一部分磁通作为漏磁通与永磁铁8的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形(c)的概念的图。纵轴表示磁通，横轴表示第1副轴齿轮105的旋转角度。这样，在磁性传感器50中，期望检测出(a)的波形，但在发生了磁性干扰的情况下，却变为如(c)所示的波形，故不能检测到正确的波形。此外，主轴齿轮101和第2副轴齿轮138也与图11(c)同样地存在发生磁性干扰的可能性。
[0116]
实施方式1的绝对式编码器100－1具备包括配置在第1中间齿轮102的与马达轴201相反的一侧的外壁部115a的壳部115，平面视图中，第1中间齿轮102的旋转轴线la相对于外壁部115a的延伸方向进行了20
°
的倾斜。藉由该构成，与第1中间齿轮102的旋转轴线la不进行倾斜的情况相比，可增大各永磁铁的配置直线的相对于外壁部115a的倾斜。为此，可增大各永磁铁间的距离。这样，藉由增大各永磁铁间的距离，可降低永磁铁8、永磁铁9及永磁铁17各自所生成的磁通的一部分对不与永磁铁8、永磁铁9及永磁铁17相对应的磁性传感器产生影响的磁性干扰的发生。例如，可降低设置在主轴齿轮101上的永磁铁9所产生的磁通的一部分作为漏磁通而对本来的目的是对设置在第1副轴齿轮105上的永磁铁8所产生的磁通的变化进行检测而设置的磁性传感器50所产生的干扰。此外，还可降低设置在第1副轴齿轮105上的永磁铁8所产生的磁通的一部作为漏磁通而对本来的目的是对永磁铁9所产生的磁通的变化进行检测而设置的磁性传感器40所产生的干扰。为此，可降低毗邻的磁铁的漏磁通的影响。
[0117]
〔基板120的固定方法〕
[0118]
下面参照图12～图14对实施方式1的绝对式编码器100－1中的基板120的固定方法进行详细说明。
[0119]
就实施方式1的绝对式编码器100－1而言，如图6所示，通过使基板120上设置的磁性传感器40的检测面(下表面)和主轴齿轮101上设置的永磁铁9的上表面彼此平行，可高精度地由磁性传感器40对主轴齿轮101(“旋转体”的一例)的旋转角度进行检测。
[0120]
另一方面,实施方式1的绝对式编码器100－1中，如图3所示，主基部110上配设有4个支柱141。此外，如图2所示，实施方式1的绝对式编码器100－1采用了通过基板安装螺丝122(“固定单元”的一例)将基板120的4个固定部螺丝固定于4个支柱141的结构。
[0121]
为此，就实施方式1的绝对式编码器100－1而言，如果基板120的4个固定部处的基板120的高度位置(基板120至主基部110的基部110a的高度)彼此不同，则基板120会发生倾斜，导致磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面不再相互平行，并且磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面之间的距离精度也会发生恶化，由此磁性传感器40的检测精度可能会下降。
[0122]
尤其是，实施方式1的绝对式编码器100－1中，基板120的4个固定部中的一个具有藉由基板安装螺丝122而被进行螺丝固定同时还被进行接地连接的连接端子，由于基板120的具有该连接端子的固定部的构成与基板120的其它固定部的构成不同，所以很容易导致该固定部的高度与其它固定部的高度不同。
[0123]
为此，就实施方式1的绝对式编码器100－1而言，如下所述，为了使基板120的4个固定部的高度位置彼此相等，采用了可将基板120固定于4个支柱141的结构。据此，实施方式1的绝对式编码器100－1中，由于基板120可在保持水平的状态下被固定在主基部110的基部110a上，所以可使磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面彼此平行。因此，实施方式1的绝对式编码器100－1可抑制磁性传感器40的检测精度的降低。
[0124]
(基板120的结构)
[0125]
图12是表示图4所示的基板120的第1固定部20a和第2固定部20b的配置的底面图。如图12所示，基板120具有3个第1固定部20a和1个第2固定部20b。
[0126]
基板120是藉由基板安装螺丝122(“固定单元”的一例)而固定在沿马达200的旋转轴即马达轴201的轴方向(z轴方向)与该马达轴201隔离配置且从马达200侧的主基部110开始延伸的每个支柱141(“支柱部”的一例)的前端面上的电路基板。基板120具备磁性传感器40(「传感器」的一例)，其与随马达轴201的旋转而旋转的永磁铁9(「旋转体」的一例)相对配置，以对永磁铁9的旋转量进行检测。
[0127]
第1固定部20a是具有沿上下方向(图中的z轴方向)对基板120进行贯穿的贯穿孔20a1，并藉由从上方朝向下方贯穿该贯穿孔20a1的基板安装螺丝122，对主基部110所具有的4个支柱141中的作为第1支柱部10a的支柱141进行螺丝固定的部分。
[0128]
第2固定部20b是具有沿上下方向(图中的z轴方向)对基板120进行贯穿的贯穿孔20b1和形成在该贯穿孔20b1内的连接端子20h(参照图13)，并藉由在贯穿孔20b1内从上方朝向下方贯穿连接端子20h的基板安装螺丝122，对主基部110所具有的4个支柱141中的作为第2支柱部10b的支柱141进行螺丝固定和接地连接的部分。
[0129]
(基板120的截面构成)
[0130]
图13是本发明的实施方式1的绝对式编码器100－1中的基板120的一部分(第1固定部20a和第2固定部20b)的截面构成的概略截面示意图。图14是表示图13所示的基板120被固定在了第1支柱部10a和第2支柱部10b上的状态的截面图。需要说明的是，基板120所具有的3个第1固定部20a具有彼此共通(相同)的截面结构。为此，图13和图14中，使用3个第1固定部20a中的一个第1固定部20a作为代表，以对第1固定部20a的截面结构进行了表示。另外，图14中，为了方便起见，没有示出基板安装螺丝122、第1支柱部10a及第2支柱部10b的截面。
[0131]
如图13所示，基板120是使用较为硬质的材料而形成的平板状的部件。基板120具有均为水平平面(即、与xy平面平行的平面)的下表面20－1和上表面20－2。作为基板120，例如可使用玻璃环氧基板等的硬质(rigid)基板。
[0132]
此外，如图13所示，基板120的下表面20－1和上表面20－2的每个上还形成有配线层20f和保护(resist)层20g。就配线层20f而言，具备由具有导电性的材料形成的薄膜状，并构成用于传输各种控制信号的的配线图案。作为配线层20f，例如可使用铜箔。就保护层20g而言，具备由具有绝缘性的材料形成的薄膜状，并覆盖形成了配线层20f的状态下的下
表面20－1和上表面20－2，由此可对包括配线层20f在内的下表面20－1和上表面20－2进行保护。
[0133]
(第1固定部20a的结构)
[0134]
如图13所示，基板120的第1固定部20a中形成有沿上下方向(图中的z轴方向)贯穿基板120的贯穿孔20a1。基板120的上表面20－2上，包括贯穿孔20a1的周围的区域在内，整体形成有保护层20g。此外，基板120的下表面20－1上，包括贯穿孔20a1的周围的区域在内，也整体形成有保护层20g。
[0135]
如图14所示，就第1固定部20a而言，形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的区域上的的保护层20g的表面与第1支柱部10a的第1柱状部10a1的上表面接触，据此可对高度位置进行定位，该状态下，藉由在贯穿孔20a1内进行贯穿的基板安装螺丝122，可被螺丝固定在第1支柱部10a上。
[0136]
如图14所示，第1支柱部10a具有从主基部110向上方(图中的z轴正方向)延伸的圆柱状的第1柱状部10a1和从第1柱状部10a1的上表面的中央向上方(图中的z轴正方向)立设的圆筒状的第2柱状部10a2。
[0137]
如图14所示，第1柱状部10a1具有大于贯穿孔20a1的内径的外径，故不会在贯穿孔20a1内进行贯穿。另外，第2柱状部10a2具有小于贯穿孔20a1的内径的外径，故可在贯穿孔20a1内进行贯穿。
[0138]
第2柱状部10a2中形成有在该第2柱状部10a2的内部沿上下方向(图中的z轴方向)延伸的螺丝孔10a3。据此，第2柱状部10a2可藉由基板安装螺丝122而被螺丝固定于该螺丝孔10a3。
[0139]
需要说明的是，实施方式1中，第1支柱部10a同时具有第1柱状部10a1和第2柱状部10a2，但并不限定于此，第1支柱部10a也可仅具有第1柱状部10a1，并在第1柱状部10a1内形成螺丝孔10a3。但是，通过在第1支柱部10a上设置第2柱状部10a2，可对基板安装螺丝122的螺丝拧入量进行限制，由此可防止基板安装螺丝122过度按压基板120而引起的损坏。
[0140]
(第2固定部20b的结构)
[0141]
如图13所示，基板120的第2固定部20b中形成有沿上下方向(图中的z轴方向)贯穿基板120的贯穿孔20b1。贯穿孔20b1内形成有连接端子20h。连接端子20h具有形成在基板120的上表面20－2的贯穿孔20b1的周围的第1露出部20h1、形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20b1的周围的第2露出部20h2、及沿贯穿孔20b1的内周面而形成的对第1露出部20h1和第2露出部20h2进行连接的连接部20h3。另外，连接端子20h中形成有沿上下方向贯穿该连接端子20h的贯穿孔20h4，并可使基板安装螺丝122在该贯穿孔20h4内进行贯穿。
[0142]
如图14所示，就第2固定部20b而言，连接端子20h的第2露出部20h2的表面与第2支柱部10b的第1柱状部10b1的上表面接触，由此可对高度位置进行定位，并可与第2支柱部10b进行电连接，该状态下，藉由在连接端子20h的贯穿孔20h4内进行贯穿的基板安装螺丝122，可被螺丝固定在第2支柱部10b上。第2支柱部10b与马达200的框体202进行了电连接。因此，连接端子20h通过与第2支柱部10b电连接，经由该第2支柱部10b，可与马达200的框体202进行接地连接。
[0143]
如图14所示，第2支柱部10b具有从主基部110向上方(图中z轴正方向)延伸的圆柱状的第1柱状部10b1和从第1柱状部10b1的上表面的中央向上方(图中z轴正方向)立设的圆
筒状的第2柱状部10b2。
[0144]
如图14所示，第1柱状部10b1具有大于连接端子20h的贯穿孔20h4的内径的外径，所以不会在贯穿孔20h4内进行贯穿。此外，第2柱状部10b2具有小于贯穿孔20h4的内径的外径，所以能在贯穿孔20h4内进行贯穿。
[0145]
第2柱状部10b2中形成有在该第2柱状部10b2的内部沿上下方向(图中的z轴方向)延伸的螺丝孔10b3。据此，第2柱状部10b2可藉由基板安装螺丝122而被螺丝固定于该螺丝孔10b3。
[0146]
需要说明的是，实施方式1中，第2支柱部10b同时具有第1柱状部10b1和第2柱状部10b2，但并不限定于此，第2支柱部10b也可仅具有第1柱状部10b1，并在第1柱状部10b1内形成螺丝孔10b3。但是，通过在第2支柱部10b上设置第2柱状部10b2，可对基板安装螺丝122的螺丝拧入量进行限制，由此可防止基板安装螺丝122过度按压连接端子20h而引起的损坏。
[0147]
这里，如图13和图14所示，实施方式1的绝对式编码器100－1中，第1支柱部10a(第1柱状部10a1)的上表面的高度位置与第2支柱部10b(第1柱状部10b1)的上表面的高度位置相同，并且，第1固定部20a中的从基板120的下表面20－1至第1支柱部10a(第1柱状部10a1)的上表面为止的距离d1与第2固定部20b中的从基板120的下表面20－1至第2支柱部10b(第1柱状部10b1)的上表面为止的距离d2相等。
[0148]
其原因在于，第1固定部20a中形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的保护层20g的厚度(相当于距离d1)等于第2固定部20b中的连接端子20h的第2露出部20h2的厚度(相当于距离d2)。
[0149]
即，实施方式1的绝对式编码器100－1中，通过将形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的保护层20g作为“调整部20c”，并对该调整部20c的厚度进行了部分调整，可使上述距离d1与上述距离d2相等。
[0150]
例如，在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的区域，与基板120的下表面20－1的其它领域相比，较厚地形成了保护层20g之后，对该保护层20g的表面进行研磨或切削，以使该保护层20g的厚度变为适当的厚度，据此，可使该保护层20g的厚度与连接端子20h的第2露出部20h2的厚度相等。
[0151]
举例如下，在基板120上形成的配线层20f的厚度为“37μm”，且基板120上形成的保护层20g的厚度为“25μm”的情况下，连接端子20h的第2露出部20h2的厚度为“37μm”。此情况下，在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的部分处形成了“37μm”以上的保护层20g之后，对该保护层20g的表面进行研磨或切削，以使该保护层20g的厚度为“37μm”，由此可使该保护层20g的厚度与连接端子20h的第2露出部20h2的厚度相等。
[0152]
据此，就实施方式1的绝对式编码器100－1而言，如图14所示，当将基板120螺丝固定于第1支柱部10a和第2支柱部10b时，第1固定部20a中的基板120的高度位置和第2固定部20b中的基板120的高度位置相等，故基板120可保持水平状态。
[0153]
其结果为，实施方式1的绝对式编码器100－1中，如图6所示，基板120上设置的磁性传感器40的检测面和主轴齿轮101上设置的永磁铁9的上表面彼此平行，并且，两者之间的距离也可被高精度地保持为一定的距离。因此，根据实施方式1的绝对式编码器100－1，可抑制磁性传感器40的检测精度的降低。
[0154]
〔基板120的变形例〕
[0155]
下面参照图15～图16对基板120的变形例进行说明。需要说明的是，以下的说明中，仅对本变形例的基板120的与图13和图14所示的基板120不同的变更点进行了说明。另外，在图15和图16所示的本变形例的基板120中，针对与图13和图14所示的基板120相同的构成部件，赋予了与图13和图14所示的基板120相同的符号，并对其详细说明进行了省略。
[0156]
图15是图13所示的基板120的变形例的截面构成的概略截面示意图。图16是表示图15所示的基板120被固定在第1支柱部10a和第2支柱部10b上的状态的截面图。
[0157]
如图15所示，本变形例的基板120中，在第1固定部20a的基板120的下表面20－1上，除了贯穿孔20a1的周围的区域之外，整体地形成了保护层20g。另外，在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的区域内，与图13所示的基板120不同，形成有配线层20f。
[0158]
如图16所示，本变形例的基板120中，就第1固定部20a而言，形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的配线层20f的表面与第1支柱部10a的上表面接触，由此可对高度位置进行定位，该状态下，藉由在贯穿孔20a1内进行贯穿的基板安装螺丝122，可被螺丝固定在第1支柱部10a上。
[0159]
这里，如图15和图16所示，本变形例的绝对式编码器100－1中，第1支柱部10a(第1柱状部10a1)的上表面的高度位置与第2支柱部10b(第1柱状部10b1)的上表面的高度位置相等，并且，第1固定部20a中的从基板120的下表面20－1至第1支柱部10a(第1柱状部10a1)的上表面为止的距离d3与第2固定部20b中的从基板120的下表面20－1至第2支柱部10b(第1柱状部10b1)的上表面为止的距离d2相等。
[0160]
其原因在于，第1固定部20a中形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的配线层20f的厚度(相当于距离d3)等于第2固定部20b中的连接端子20h的第2露出部20h2的厚度(相当于距离d2)。
[0161]
即，本变形例的绝对式编码器100－1中，通过将形成在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的配线层20f作为“调整部20d”，并对该调整部20d的厚度进行调整，可使上述距离d3和上述距离d2相等。基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围所形成的配线层20f(即，调整部20d)是没有与基板120的下表面20－1上整体形成的配线层20f(即，构成配线图案的配线层20f)电连接的虚设(dummy)的配线层。据此，就本变形例的绝对式编码器100－1而言，由于调整部20d中基板120的配线图案不进行接地连接，所以可防止噪声(noise)从调整部20d侵入配线图案。
[0162]
例如，可在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的区域直接形成厚度与连接端子20h的第2露出部20h2的厚度相同的配线层20f，或者，也可在该区域内形成厚度大于连接端子20h的第2露出部20h2的厚度的配线层20f之后，通过对该配线层20f的表面进行研磨或切削，以使该配线层20f的厚度与连接端子20h的第2露出部20h2的厚度相等。
[0163]
举例如下，在基板120上形成的配线层20f的厚度为“37μm”，且基板120上形成的保护层20g的厚度为“25μm”的情况下，连接端子20h的第2露出部20h2的厚度为“37μm”。此情况下，可在基板120的下表面20－1的贯穿孔20a1的周围的部分处直接形成“37μm”的厚度的配线层20f，或者，也可在该部分处形成“37μm”以上的厚度的保护层20g之后，再对该配线层20f的表面进行研磨或切削，以使该配线层20f的厚度为“37μm”，这样就可使该配线层20f的厚度等于连接端子20h的第2露出部20h2的厚度。
[0164]
需要说明的是，作为调整部20d，取代设置虚设的配线层，也可将与贯穿孔20b1的
连接端子20h相同的连接端子设置为虚设的连接端子。此情况下，不需要设置虚设的配线层，而是针对贯穿孔20a1与贯穿孔20b1同样地形成连接端子，这样也可使贯穿孔20a1、20b1中的基板120的高度位置彼此相等。
[0165]
据此，就本变形例的绝对式编码器100－1而言，如图16所示，当将基板120螺丝固定于第1支柱部10a和第2支柱部10b时，第1固定部20a中的基板120的高度位置和第2固定部20b中的基板120的高度位置相等，基板120可保持水平状态。
[0166]
其结果为，本变形例的绝对式编码器100－1中，如图6所示，基板120上设置的磁性传感器40的检测面和主轴齿轮101上设置的永磁铁9的上表面彼此平行，并且，两者之间的距离也可被高精度地保持为一定的距离。因此，根据本变形例的绝对式编码器100－1，能抑制磁性传感器40的检测精度的降低。
[0167]
＜实施方式2＞
[0168]
图17是表示本发明的实施方式2的绝对式编码器100－2被安装在了马达200上的状态的斜视图。以下，与实施方式1同样地，基于xyz直角坐标系进行说明。x轴方向与水平的左右方向相对应，y轴方向与水平的前后方向相对应，z轴方向与铅直的上下方向相对应。y轴方向和z轴方向分别与x轴方向正交。将x轴方向称为左方向或右方向，将y轴方向称为前方向或后方向，并将z轴方向称为上方向或下方向。图17中，将沿z轴方向从上方观察的状态称为平面视图，将沿y轴方向从前方观察的状态称为正视图，并将沿x轴方向从左右观察的状态称为侧视图。这样的方向的表示对绝对式编码器100－2的使用姿势并无限制，绝对式编码器100－2可在任意姿势下被使用。需要说明的是，附图中对齿部形状进行了省略。
[0169]
图18是表示从图17所示的绝对式编码器100－2上卸下了壳部15和安装螺丝16后的状态的斜视图。图18中，对基板20的下表面20－1上所设置的多个部品进行了透过表示。图19是表示从图18所示的绝对式编码器100－2上卸下基板20和基板安装螺丝13后的状态的斜视图。图20是对从表示图19所示的绝对式编码器100－2被安装在了马达200上的状态的斜视图中卸下马达200和螺丝14后的状态进行表示的斜视图。图21是对图20所示的主基部10、中间齿轮2等在平面视图中的状态进行表示的图。图21示出了绝对式编码器100－2所具备的多个部品中的主要部品的配置。图22是沿穿过中间齿轮2的中心并与x－y平面平行的平面对图21所示的绝对式编码器100－2进行截断的剖面图。
[0170]
图23是对图22所示的轴承3从中间齿轮2上被卸下后的状态进行表示的局部扩大剖面图。图23中，为了易于对轴承3和中间齿轮2上所形成的压配合部2d之间的配置关系进行理解，轴承3从中间齿轮2的压配合部2d进行了分离。此外，图23中，为了易于对轴承3和主基部10的基部60上所设置的壁部80之间的配置关系进行理解，轴承3从壁部80进行了分离。
[0171]
图24是沿穿过图21所示的主轴齿轮1的中心并与中间齿轮2的中心线垂直的平面对图11所示的绝对式编码器100－2进行切断的剖面图。这里，没有使基板20和磁性传感器40具有剖面。图24中示出了永磁铁9至主轴齿轮1的安装状态和主轴齿轮1至马达轴201的安装状态。此外，图24示出了主轴齿轮1的蜗齿轮部1d和中间齿轮2的蜗轮部2a进行了啮合的状态。根据图24可知，主轴齿轮1上所设置的永磁铁9的上表面9a存在于从磁性传感器40沿z轴方向离开了一定距离的位置处。
[0172]
图25是沿穿过图22所示的副轴齿轮5的中心并与中间齿轮2的中心线垂直的平面对图18所示的绝对式编码器100－2进行了切断的剖面图。这里，没有使基板20和磁性传感
器50具有剖面。图25示出了蜗轮部5a和蜗齿轮部2b进行了啮合的状态。此外，图25示出了磁铁座6的轴部6b被2个轴承7进行了保持的状态、及、永磁铁8至磁铁座6的保持状态。另外，图25示出了磁铁座6上所设置的头部6c的径方向外侧的表面从蜗齿轮部2b的齿尖圆进行了分离的状态。此外，根据图25可知，磁铁座6上所设置的永磁铁8的表面8a存在于从磁性传感器50沿z轴方向分离了一定距离的位置处。另外，图25示出了主基部10的轴承座部10d的剖面形状。
[0173]
图26是表示图19所示的多个部品中的中间齿轮2被卸下后的状态的斜视图。图27是表示从图26所示的壁部70上卸下了螺丝12的状态、卸下了螺丝12后的的板弹簧11的状态、以及设置了与板弹簧11相对的板弹簧安装面10e的壁部70的斜视图。这里，没有对马达200和主轴齿轮1进行表示。
[0174]
图28是沿穿过图21所示的基板定位销10g的中心和基板定位销10j的中心并与z轴方向平行的平面对图18所示的绝对式编码器100－2进行切断的剖面图。这里，没有使磁性传感器40具有剖面。
[0175]
图29是对图18所示的基板20从下表面20－1侧进行观察的图。图30是从图17的状态除去马达200并从主基部10的下表面10－2侧进行观察的图。主基部10的下表面10－2是图27所示的主基部10的上表面侧的相反侧的表面。主基部10的下表面10－2也是面对马达200的表面。图31是图17所示的壳部15的斜视图。
[0176]
图32是沿穿过图19所示的基板定位销10g的中心和基板定位销10j的中心并与z轴方向平行的表面对图17所示的绝对式编码器100－2进行了切断的剖面图。这里，没有使马达200、主轴齿轮1、及磁性传感器40具有剖面。图32示出了，壳部15上所设置的爪部15a与主基部10上所设置的凹部10aa进行了锁合(卡合)的状态、及、壳部15上所设置的爪部15b与主基部10上所设置的凹部10ab进行了卡合的状态。图36是图25所示的永磁铁8、磁铁座6、副轴齿轮5及轴承7的分解斜视图。图37是图24所示的永磁铁9、主轴齿轮1及马达轴201的分解斜视图。
[0177]
以下参照图17至图37对绝对式编码器100－2的构成进行详细说明。绝对式编码器100－2具备主轴齿轮1、中间齿轮2、轴承3、轴4、副轴齿轮5、磁铁座6、轴承7、永磁铁8、永磁铁9、主基部10、板弹簧11、螺丝12、基板安装螺丝13、及螺丝14、壳部15、安装螺丝16、基板20、微电脑21、双方向性驱动器22、线驱动器23、连接器24、磁性传感器40、及磁性传感器50。
[0178]
马达200例如为步进马达、dc无刷马达等。马达200例如可作为经由波动齿轮装置等的减速机构对产业用等的机器人进行驱动的驱动源而被使用。马达200具备马达轴201。如图24所示，马达轴201的一端从马达200的框体202沿z轴正方向进行了突出。此外，如图17所示，马达轴201的另一端从马达200的框体202沿z轴负方向进行了突出。此外，马达轴201是主轴的一例。
[0179]
平面视图中的马达200的外形形状例如为正方形状。构成马达200的外形的4个边的长度例如分别为25mm。构成马达200的外形的4个边中的第1边和与第1边平行的第2边互相与y轴平行。此外，4个边中的与第1边相邻的第3边和与第3边平行的第4边互相与x轴平行。此外，就马达200上所设置的绝对式编码器100－2而言，在平面视图中，与边长为25mm的马达200的外形形状相配合，边长也为25mm。
[0180]
接下来，分别对绝对式编码器100－2所具备的多个部件进行说明。
[0181]
如图24所示，主轴齿轮1是与马达轴201同轴设置的筒状部件。主轴齿轮1具备筒状的第1筒状部1a、及与第1筒状部1a同轴地设置在第1筒状部1a的z轴正方向侧的筒状的第2筒状部1b。此外，主轴齿轮1具备对第2筒状部1b的径向方向内侧所设置的第1筒状部1a和第2筒状部1b进行连接的连通部1c、以及第2筒状部1b的径向方向外侧所设置的蜗齿轮部1d。藉由这样地形成连通部1c，连通部1c可发挥将主轴齿轮1压配合于马达轴201时的空气的逸出路的功能。连通部1c的内径小于第1筒状部1a的内径和第2筒状部1b的内径。由连通部1c的z轴负方向的端面即底面1e和第1筒状部1a的内周面所围成的空间为用于将主轴齿轮1固定在马达轴201的端部上的压配合部1f。压配合部1f为从第1筒状部1a的z轴负方向侧的端部朝向z轴正方向侧凹陷的凹陷部。压配合部1f内压配合马达轴201后，主轴齿轮1可与马达轴201一体旋转。蜗齿轮部1d是主轴齿轮1的齿轮部。
[0182]
由连通部1c的z轴正方向的端面即底面1g和第2筒状部1b的内周面所围成的空间是用于对永磁铁9进行固定的磁铁保持部1h。磁铁保持部1h为从第2筒状部1b的z轴正方向侧的端部朝向z轴负方向侧凹陷的凹陷部。磁铁保持部1h中压配合了永磁铁9。就被进行了压配合磁铁保持部1h的永磁铁9而言，其外周面与第2筒状部1b的内周面相接，其下表面9b与底面1g相接。据此，可进行永磁铁9的轴方向的定位，同时还可进行与轴方向正交的方向的定位。永磁铁9的轴方向与马达轴201的中心轴方向相同。
[0183]
如图20至图22及图24所示，蜗齿轮部1d由被形成为螺旋状的齿部所构成，并与中间齿轮2的蜗轮部2a啮合。蜗轮部2a为中间齿轮2的齿轮部。图24中，对齿部的形状的图示进行了省略。蜗齿轮部1d例如可由聚缩醛树脂形成。蜗齿轮部1d是第1驱动齿轮的一例。
[0184]
如图20至图23等所示，中间齿轮2在主基部10的上表面上被轴4进行了轴支撑。中间齿轮2的中心轴与x－y平面平行。此外，中间齿轮2的中心轴在平面视图中与x轴和y轴都不平行。即，中间齿轮2的中心轴方向与x轴和y轴的延伸方向相倾斜。中间齿轮2的中心轴方向与x轴和y轴的延伸方向相倾斜是指，中间齿轮2的中心轴相对于主基部10的四边斜着进行延伸。如图20和图21所示，主基部10的四边由与y－z平面平行的第1边301、与第1边301平行的第2边302、与x－z平面平行且与第1边301相邻的第3边303、及与第3边303平行的第4边304所构成。第1边301是主基部10的x轴正方向侧所设置的边。第2边302是主基部10的x轴负方向侧所设置的边。第3边303是主基部10的y轴正方向侧所设置的边。第4边304是主基部10的y轴负方向侧所设置的边。
[0185]
就绝对式编码器100－2在平面视图中的尺寸而言，作为一例，与边长为25mm的马达200的尺寸相配合。为此，藉由使在x－y平面内平行配置的中间齿轮2以相对于主基部10的四边斜着延伸的方式进行设置，可减小水平方向上的绝对式编码器100－2的尺寸。水平方向等于与马达轴201的中心轴正交的方向，还等于与x－y平面平行的方向。
[0186]
如图19至图23等所示，中间齿轮2具有蜗轮部2a、蜗齿轮部2b、轴承部2c、压配合部2d、滑动部2e、底面2f及贯穿孔2g。中间齿轮2是轴4插通于沿中心轴贯穿的贯穿孔2g的内部的圆筒状的部件。贯穿孔2g是被中间齿轮2的内周面所围成的空间。中间齿轮2是由金属、树脂等一体成型的部件，这里，作为一例，可由聚缩醛树脂形成。
[0187]
蜗轮部2a是主轴齿轮1的蜗齿轮部1d进行啮合的齿轮。蜗轮部2a为第1从动齿轮的一例，并且是中间齿轮2的齿轮部。蜗轮部2a在中间齿轮2的轴方向上被设置在中间齿轮2的轴方向的靠近中央的位置。此外，蜗轮部2a由中间齿轮2的圆筒部的外周部上所设置的多个
齿构成。
[0188]
蜗轮部2a的外径小于蜗齿轮部1d的外径。蜗轮部2a的中心轴与主基部10的上表面平行，故藉由使蜗轮部2a的外径变小，可进行绝对式编码器100－2的z轴方向(高度方向)的小型化。
[0189]
蜗齿轮部2b由被形成为螺旋状的齿部所构成，并与蜗轮部2a同轴且相邻地进行了设置。此外，蜗齿轮部2b设置在中间齿轮2的圆筒部的外周部上。藉由蜗齿轮部2b与设置在副轴齿轮5上的蜗轮部5a进行啮合，中间齿轮2的旋转力可被传递至副轴齿轮5。蜗齿轮部2b是第2驱动齿轮的一例，并且是中间齿轮2的齿轮部。蜗轮部5a为副轴齿轮5的齿轮部。就蜗轮部5a的中心线和蜗齿轮部2b的中心线而言，与蜗轮部5a的中心线垂直，并且沿与蜗齿轮部2b的中心线垂直的方向进行观察时彼此正交。
[0190]
为了可进行绝对式编码器100－2的z轴方向(高度方向)的小型化，蜗齿轮部2b的外径被设定为在可能的范围内的较小的值。
[0191]
如图22所示，轴承部2c在中间齿轮2的与压配合部2d侧相反的一侧、即、中间齿轮2的滑动部2e侧被设置在中间齿轮2的径向方向内侧的内周面上。轴4可滑动地插通于轴承部2c，中间齿轮2被轴4可旋转地进行了支撑。
[0192]
压配合部2d为在蜗齿轮部2b的内侧从中间齿轮2的端面朝向中间齿轮2的轴方向td的中央凹陷的凹陷部，并与贯穿孔2g进行了连通。压配合部2d也可被认为是使贯穿孔2g的端部的开口径变大的部分。轴承3的外圈3a被压配合于压配合部2d并被进行了固定。
[0193]
如图20至图22、图26、图27等所示，中间齿轮2的滑动部2e设置在中间齿轮2的一端侧、即、中间齿轮2的轴方向td上的与蜗齿轮部2b侧相反的一侧。中间齿轮2的滑动部2e抵接于板弹簧11的滑动部11a。板弹簧11是弹性部件的一例，例如为金属制。板弹簧11的滑动部11a由从板弹簧11的基部11d分叉的2个分支体所构成。板弹簧11的基部11d是板弹簧11的整体中的在安装部11b和滑动部11a之间所设置的板状的部件。
[0194]
构成板弹簧11的滑动部11a的2个分支体之间形成有大于轴4的直径的间隙。为此，以2个分支体跨过轴4且不与轴4接触的方式，板弹簧11的安装部11b藉由螺丝12而被固定于主基部10的壁部72上所配设的板弹簧安装面10e。
[0195]
板弹簧11的滑动部11a在中间齿轮2被安装后设置在面对中间齿轮2的滑动部2e的位置。中间齿轮2的滑动部2e藉由抵接于板弹簧11的滑动部11a并被其按压，可沿轴4的中心轴并沿从轴4的一端4a侧朝向轴4的另一端4b侧的方向而被进行施力。该状态下中间齿轮2进行旋转时，中间齿轮2的滑动部2e一边与板弹簧11的滑动部11a进行抵接一边进行滑动。
[0196]
中间齿轮2的底面2f位于压配合部2d的旁边，并与轴承3的外圈3a的侧面3c相接。外圈3a至外圈3a的侧面3c与底面2f相接为止被压配合在压配合部2d内。
[0197]
中间齿轮2的贯穿孔2g从轴承部2c朝向压配合部2d并沿中间齿轮2的中心轴进行了贯穿，并被配置为与轴4同轴。贯穿孔2g的内径大于轴4的外径，故可确保贯穿孔2g和轴4的外周面之间留有空间。
[0198]
如图22和图23所示，轴承3具有外圈3a、内圈3b、侧面3c及侧面3d。轴承3的侧面3c为图22中箭头所示的轴4的轴方向td上的外圈3a的侧面，轴承3的侧面3d为该方向上的内圈3b的侧面。需要说明的是，本发明的实施方式中，将中间齿轮2或轴4的(中心)轴方向记为td。
[0199]
轴承3的外圈3a被压配合于压配合部2d并被进行了固定，侧面3c与底面2f相接并被进行了固定。轴4被插入了内圈3b的内侧。如图22所示，内圈3b的侧面3d抵接于主基部10的壁部80的抵接面10c。抵接面10c对中间齿轮2的轴方向td的位置进行了限定。如前所述，中间齿轮2藉由板弹簧11沿从轴4的一端4a朝向轴4的另一端4b侧的轴方向td被进行了施力，故与中间齿轮2的底面2f相接的轴承3的外圈3a的侧面3c也在相同方向上被进行了施力。据此，轴承3的内圈3b也沿相同方向被施力，这样，轴承3的内圈3b的侧面3d就可与壁部80的抵接面10c进行抵接。其结果为，所施加的力可被传递至壁部80的抵接面10c，中间齿轮2可沿轴4的轴方向td被稳定地进行支撑。关于所施加的施力的细节，将在后面进行叙述。
[0200]
轴承3的外圈3a被设置为可相对于内圈3b进行自由旋转。为此，中间齿轮2在图22所示的中间齿轮2的轴承部2c和轴承3的2个位置处可被轴4进行旋转自由的支撑。需要说明的是，轴4例如可由不锈钢形成。
[0201]
如图22所示，壁部70和壁部80是经由轴4可对中间齿轮2进行旋转自由的保持的保持部的一例。壁部80以与壁部70成对的方式而被一体地设置在基部60的上表面上，并从基部60的上表面沿z轴正方向进行延伸。壁部80在平面视图中设置在基部60的整个上表面中的比x轴方向的中央处还接近第2边302的一侧且比y轴方向的中央处还接近第3边303的一侧的区域。此外，壁部80还设置在该区域中的靠近第2边302的位置且靠近y轴方向的中央处。壁部70、壁部80及轴4可发挥作为对中间齿轮2进行旋转自由的保持的保持部的功能。轴4是圆柱状的部件，具有一端4a和另一端4b。轴4的另一端4b被压配合于形成在主基部10的壁部80上的孔10b内，在此基础上被进行了固定。另一方面，轴4的一端4a只要被插入形成在壁部70上的孔10a内而被进行定位即可，不需要将轴4的一端4a压配合于孔10a内。这样，藉由轴4的一端4a被插入而不是被压配合于孔10a内，与轴4的一端4a被压配合于孔10a内的情况相比，可容易地对轴4进行安装。
[0202]
如图21等所示，在绝对式编码器100－2中，副轴齿轮5设置在中间齿轮2的与主轴齿轮1侧相反的一侧。例如，副轴齿轮5配置在由主基部10的四边所围成的区域中的靠近主基部10的角部的区域。该角部例如为图21所示的第2边302和第3边303相交的部分。如此，就副轴齿轮5和主轴齿轮1而言，藉由利用主基部10上的有限的区域，可被配置成夹着中间齿轮2。据此，与副轴齿轮5和主轴齿轮1被配置为彼此相邻而不夹着中间齿轮2的情况相比，可扩大从副轴齿轮5至主轴齿轮1的距离。
[0203]
磁性传感器40藉由对永磁铁9因与主轴齿轮1一起旋转的永磁铁9的旋转而产生的磁通的变化进行检测，可检测出所对应的主轴齿轮1的旋转角度。另一方面，磁性传感器50藉由对永磁铁8因与副轴齿轮5一起旋转的永磁铁8的旋转而产生的磁通的变化进行检测，可检测出所对应的副轴齿轮5的旋转角度。
[0204]
这里，例如在主轴齿轮1和副轴齿轮5进行了彼此相邻的配置的情况下，永磁铁8和永磁铁9各自所产生的磁通的一部分会对不与永磁铁8和永磁铁9相对应的磁性传感器产生影响，即所谓的磁性干扰，以下对其进行说明。
[0205]
图10是主轴齿轮1旋转时藉由磁性传感器40对主轴齿轮1上所设置的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器50对副轴齿轮5上所设置的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器40对永磁铁8的一部分磁通作为漏磁通与永磁铁9的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形(c)的概念的示意图。纵轴表示磁通，
横轴表示主轴齿轮1的旋转角度。这样，在磁性传感器40中，期待检测出(a)的波形，但在发生了磁性干扰的情况下，却变为如(c)所示的波形，故无法对正确的波形进行检测。
[0206]
同样，图11是主轴齿轮1旋转时藉由磁性传感器50对副轴齿轮5上所设置的永磁铁8的磁通进行检测而得的波形(a)、藉由磁性传感器40对主轴齿轮1上所设置的永磁铁9的磁通进行检测而得的波形(b)、及藉由磁性传感器50对永磁铁9的一部分磁通作为漏磁通与永磁铁8的磁通重叠了的状态进行检测而得的磁性干扰波形(c)的概念的示意图。纵轴表示磁通，横轴表示副轴齿轮5的旋转角度。如此，在磁性传感器50中，期待检测出(a)的波形，但在发生了磁性干的情况下，却变为如(c)所示的波形，故不能进行正确的波形的检测。
[0207]
因此，根据实施方式2的绝对式编码器100－2可知，由于主轴齿轮1和永磁铁9以及副轴齿轮5和永磁铁8被配置为夹着中间齿轮2而互相之间留有距离，故可降低永磁铁8和永磁铁9各自所生成的磁通的一部分对不与永磁铁8和永磁铁9相对应的磁性传感器产生影响的磁性干扰的发生。例如，可降低来自主轴齿轮1上所设置的永磁铁9的磁通的一部分作为漏磁通而对本来的目的是为了对来自副轴齿轮5上所设置的永磁铁8的磁通的变化进行检测而设置的磁性传感器50所产生的干扰。此外，还可降低来自副轴齿轮5上所设置的永磁铁8的磁通的一部作为漏磁通而对本来的目的是为了对来自永磁铁9的磁通的变化进行检测而设置的磁性传感器40所产生的干扰。
[0208]
这样，根据实施方式2的绝对式编码器100－2可知，不仅可相对地减小绝对式编码器100－2在平面视图中的尺寸，而且还可防止磁性传感器50所引起的副轴齿轮5的旋转角度或旋转量的检测精度的下降。此外，根据绝对式编码器100－2还可知，不仅可相对地减小绝对式编码器100－2在平面视图中的尺寸，而且还可防止磁性传感器40所引起的主轴齿轮1的旋转角度或旋转量的检测精度的下降。
[0209]
如图25所示，副轴齿轮5是藉由被压配合于磁铁座6的轴部6b从而被进行固定的圆筒状的部件。副轴齿轮5具有蜗轮部5a和贯穿孔5b。副轴齿轮5是由金属或树脂进行了一体成型的部件，这里，作为一例，可由聚缩醛树脂形成。
[0210]
蜗轮部5a是蜗齿轮部2b进行啮合的齿轮。蜗轮部5a是第2从动齿轮的一例。蜗轮部5a由副轴齿轮5的圆筒部的外周部上所设置的多个齿构成。图20中，藉由中间齿轮2的旋转，中间齿轮2的旋转力可经由蜗齿轮部2b和蜗轮部5a被传递至副轴齿轮5。
[0211]
贯穿孔5b是沿圆筒状的副轴齿轮5的中心轴而进行贯穿的孔。贯穿孔5b中压配合磁铁座6的轴部6b后，副轴齿轮5可与磁铁座6一体旋转。
[0212]
如图25和图36所示，磁铁座6具有磁铁保持部6a、轴部6b及头部6c。磁铁座6是由金属或树脂进行了一体成型的部件，这里，作为一例，可由非磁性不锈钢形成。
[0213]
形成在主基部10上的轴承座部10d的内周面10dc上压配合了2个轴承7的外圈7a。需要说明的是，2个轴承7分别具有外圈7a和内圈7b。
[0214]
磁铁座6的轴部6b是圆柱状的部件，可被压配合于副轴齿轮5的贯穿孔5b内，轴部6b的下部可插入2个轴承7的内圈7b中。故，磁铁座6可被2个轴承7相对于主基部10进行轴支撑，由此可与副轴齿轮5成为一体并进行旋转。
[0215]
此外，磁铁座6的上端可设置头部6c。头部6c是有底圆筒状的部件。头部6c上可形成磁铁保持部6a。磁铁保持部6a为从头部6c的上端面朝向下方向侧进行凹陷的凹陷部。磁铁保持部6a上所配置的永磁铁8的外周面与头部6c的内周面相接。据此，永磁铁8可被固定
在头部6c的磁铁保持部6a上。
[0216]
藉由配设在主基部10上所形成的轴承座部10d上的2个轴承7对磁铁座6的轴部6b进行轴支撑，可防止磁铁座6的倾斜。故，如果将2个轴承7在轴部6b的轴方向上配置成尽可能地相互远离，则可期待进一步防止磁铁座6的倾斜的效果。
[0217]
如图25所示，轴承座部10d的上部10db为轴承座部10d整体中的z轴方向上的轴承座部10d的上侧区域。轴承座部10d的上部10db的内侧设置有1个轴承7。此外，轴承座部10d的下部10da为轴承座部10d整体中的z轴方向上的轴承座部10d的下侧区域。轴承座部10d的下部10da的内侧设置有1个轴承7。
[0218]
如图25所示，马达200的框体202的一部分上设置有切口部202a。切口部202a是朝向z轴负方向侧进行凹陷的凹陷部。主基部10上，轴承座部10d的下部10da进行了突出设置，故，藉由在马达200的框体202上设置切口部202a，可防止互相干扰。轴承座部10d的下部10da为轴承座部10d整体中的z轴方向上的轴承座部10d的下侧区域。轴承座部10d的下部10da的内侧设置有1个轴承7。这样，藉由在马达200的框体202上设置切口部202a，与不设置切口部202a的情况相比，可使2个轴承7的z轴方向上的距离分离地进行设置。此外，轴承座部10d的上部10db为轴承座部10d整体中的z轴方向上的轴承座部10d的上侧区域。
[0219]
如果在磁铁座6的轴部6b的轴方向上的更靠近磁铁保持部6a和永磁铁8的位置设置轴承7，则可降低磁铁座6和永磁铁8的旋转时的轴振动。另一方面，轴承座部10d的上部10db的外径接近中间齿轮2，故藉由在轴承座部10d的上部10db形成斜面，不仅可避免与中间齿轮2的齿顶圆之间的干扰，还可将轴承7设置在更靠近磁铁保持部6a和永磁铁8的位置处。
[0220]
磁性传感器40藉由对永磁铁9因与主轴齿轮1一起旋转的永磁铁9的旋转而产生的磁通的变化进行检测，可检测出所对应的主轴齿轮1的旋转角度。另一方面，磁性传感器50藉由对永磁铁8因与副轴齿轮5一起旋转的永磁铁8的旋转而产生的磁通的变化进行检测，可检测出所对应的副轴齿轮5的旋转角度。
[0221]
如图25和图36所示，永磁铁8具有表面8a。永磁铁8大致为圆柱状，永磁铁8的中心轴mc1(表示永磁铁8的中心的轴或穿过磁极的边界的中心的轴)与磁铁座6的中心轴hc1、副轴齿轮5的中心轴gc1、及轴承7的中心轴bc一致。永磁铁8的表面8a与磁性传感器50的表面50a相隔一定的距离并与其面对。如此，藉由使各中心轴保持一致，可更高精度地对旋转角或旋转量进行检测。
[0222]
需要说明的是，本实施形态中，如图36所示，永磁铁8的2个磁极(n/s)在与永磁铁8的中心轴mc1垂直的平面(x－y平面)内毗邻形成。即，优选为在中心轴mc1上永磁铁8的旋转中心和磁极的边界的中心保持一致。据此，可进一步提高旋转角或旋转量的检测精度。
[0223]
如图24和图37所示，永磁铁9是被压配合于主轴齿轮1的磁铁保持部1h的内部的大致圆柱状的永磁铁，并具有上表面9a和下表面9b。上表面9a与磁性传感器40的表面40a相隔一定距离并与其面对。下表面9b与主轴齿轮1的磁铁保持部1h的底面1g相接，可对主轴齿轮1的中心轴gc2方向上的位置(z轴方向上的位置)进行限定。永磁铁9的中心轴mc2(表示永磁铁9的中心的轴或穿过磁极的边界的中心的轴)与主轴齿轮1的中心轴gc2和马达轴201的中心轴rc一致。这样，藉由使各中心轴保持一致，可更高精度地对旋转角或旋转量进行检测。
[0224]
需要说明的是，本实施形态中，如图37所示，永磁铁9的2个磁极(n/s)优选在与永
磁铁9的中心轴mc2垂直的平面(x－y平面)内毗邻形成。据此，可进一步提高旋转角或旋转量的检测精度。
[0225]
需要说明的是，永磁铁8和永磁铁9例如分别可由铁素体系、nd(钕)－fe(铁)－b(硼)系等的磁性材料形成。永磁铁8和永磁铁9例如分别还可为包含树脂粘合剂的橡胶磁铁、粘结磁铁等。
[0226]
图29示出了基板20上所形成的多个贯穿孔、即、定位孔20a、定位孔20b、孔20c、孔20d、及孔20e。形成定位孔20a的壁面的形状例如为圆形。形成定位孔20b的壁面的形状例如为椭圆形。孔20c、孔20d、及孔20e分别是用于藉由图18所示的基板安装螺丝13将基板20固定至主基部10的贯穿孔。形成孔20c、孔20d及孔20e的壁面的形状例如分别为圆形。形成孔20c、孔20d及孔20e壁面的直径分别大于基板安装螺丝13的雄螺丝部的直径且小于基板安装螺丝13的头部的直径。
[0227]
如图19至图22、图26至图28等所示，主基部10具有孔10a、孔10b、抵接面10c、轴承座部10d、板弹簧安装面10e、基部60、壁部70、壁部80、开口部10－1、及螺丝孔10f。主基部10具有基板定位销10g、基板定位销10j、前端部10h、前端部10k、柱10m、柱10q、柱10s、螺丝孔10u、螺丝孔10v、及螺丝孔10w。基板定位销10g、基板定位销10j、柱10m、柱10q、及柱10s是柱状部件的一例。从主基部10沿z轴方向延伸的基板定位销10g的前端部10h和基板定位销10g的基部10g1之间形成有段差部(台阶部)10i。当基板定位销10g的前端部10h被插入基板20上所形成的定位孔20a内时，基板20的下表面20－1和段差部10i之间可形成间隙。同样，从主基部10沿z轴方向延伸的基板定位销10j的前端部10k和基板定位销10j的基部10j1之间形成有段差部10l。当基板定位销10j的前端部10k被插入基板20上所形成的定位孔20b内时，基板20的下表面20－1和段差部10l之间可形成间隙。这样，在使用2个基板定位销10g、10j的情况下，可对基板20的与z轴方向正交的方向上的位置进行限定。但是，由于段差部10i和段差部10l和基板20之间分别形成了间隙，故藉由2个基板定位销10g、10j不会对基板20的z轴方向上的位置进行限定。
[0228]
主基部10的基部60例如是进行了一体成型的铝压铸部件，在平面视图中为大致正方形的板状部件。基部60是板部的一例。基部60安装在马达200的上表面上。
[0229]
图19所示的开口部10－1沿厚度方向(z轴方向)贯穿基部60。主轴齿轮1插通于开口部10－1。开口部10－1是第1贯穿孔的一例。
[0230]
如图20、图21、图26、图27等所示，壁部70具有壁部71和壁部72。壁部70具有对轴4进行支撑且对板弹簧11进行固定的功能。壁部71一体地设置在基部60的上表面上，并从基部60沿z轴正方向进行延伸。壁部70在平面视图中设置在基部60的整个上表面中的、比x轴方向的中央还靠近第1边301侧且比y轴方向的中央还靠近第4边304侧的区域。壁部71具有位于x轴正方向侧的安装面10ad和沿x轴方向进行贯穿的螺丝孔10ae。如图17、图30及图31所示，藉由将安装螺丝16插通于壳部15的孔15d，并拧紧于螺丝孔10ae，壳部15的内表面可与壁部71的安装面10ad抵接，由此可被进行固定。
[0231]
如图21所示，壁部72在平面视图中设置在基部60的整个上表面中的、比x轴方向的中央还往第1边301侧且比y轴方向的中央还往第3边303侧的区域。壁部72与壁部71连接并从壁部71朝向第3边303的中央付近进行了延伸。壁部72的第3边303侧的端部与柱10s连接。与壁部72连接的柱10s设置在主基部10的靠近x轴方向的中央的位置，并设置在主基部10的
靠近第3边303的位置。如此，壁部72从壁部71朝向柱10s进行了延伸。即，壁部72在平面视图中沿相对于x轴和y轴斜着的方向分别进行了延伸。
[0232]
如图27所示，螺丝12插通于板弹簧11的安装部11b上所形成的孔11c，并被拧紧至主基部10的壁部72上所形成的螺丝孔10f。据此，板弹簧11的安装部11b可与壁部72上所形成的板弹簧安装面10e抵接，藉此，板弹簧11可被固定于壁部72。壁部72可发挥作为对板弹簧11进行固定的固定部的功能。此时，如图21和图22所示，板弹簧11的滑动部11a与插入了轴4的中间齿轮2的滑动部2e抵接。
[0233]
对图22所示的安装角度θ进行说明。主轴齿轮1的蜗齿轮部1d与蜗轮部2a进行了啮合，故随主轴齿轮1的蜗齿轮部1d的旋转，中间齿轮2上，沿从轴4的另一端4b朝向轴4的一端4a的方向或从轴4的一端4a朝向轴4的另一端4b的方向会产生第1推力。此外，藉由蜗齿轮部2b至副轴齿轮5的蜗轮部5a的啮合，中间齿轮2上，沿从轴4的另一端4b朝向轴4的一端4a的方向或从轴4的一端4a朝向轴4的另一端4b的方向会产生第2推力。这样，即使在产生了第1推力和第2推力的情况下，为了将主轴齿轮1的蜗齿轮部1d的旋转量正确地传递给副轴齿轮5的蜗轮部5a，也需要对中间齿轮2的朝向轴4的轴方向td移动进行抑制。板弹簧11沿从轴4的一端4a朝向轴4的另一端4b的方向对中间齿轮2进行施力。板弹簧11所生成的施力的值被设定为，高于从轴4的另一端4b朝向轴4的一端4a的方向的第1推力和第2推力的合力。
[0234]
图22中，就安装角度θ而言，在中间齿轮2没有被插入轴4的状态下，与主基部10的固定至壁部72的板弹簧11的基部11d和形成了供轴4的一端4a插入的壁部72的孔10a的面的中间齿轮2侧的侧面73所成角度相等。需要说明的是，本实施方式中的侧面73和轴4为正交的角度，但并不限定于此。就该安装角度θ而言，当将中间齿轮2安装于轴4时，板弹簧11的滑动部11a与中间齿轮2的滑动部2e抵接，板弹簧11进行预定量的弯曲，据此可被设定为能适当地向中间齿轮2赋予朝向轴4的轴方向td的施力那样的角度。故，藉由使板弹簧11沿从轴4的一端4a侧朝向轴4的另一端4b侧的方向对中间齿轮2进行施力，可对从轴4的另一端4b朝向轴4的一端4a的方向的第1推力和第2推力的合力所引起的中间齿轮2的移动进行抑制。其结果为，可防止副轴齿轮5的旋转精度的下降。需要说明的是，施力的值越大，图22所示的中间齿轮2进行旋转时的滑动阻力越大。为此，优选采用可使中间齿轮2进行旋转时的滑动阻力最小化且可产生能够对推力所引起的中间齿轮2的移动进行抑制那样的足够大的施力的方式，将安装角度θ设定为适当的值。如此，为了将安装角度θ设定为适当的值，需要提高用于安装板弹簧11的板弹簧安装面10e的表面精度，还需要减小壁部70的至基部60的安装角度的误差。
[0235]
在实施方式2的绝对式编码器100－2中，主基部10藉由铝压铸而形成，故，例如与藉由板金对分别制作的基部60和壁部70进行相互组合的情况相比，可使壁部70的至基部60的安装角度的误差变小，并可使板弹簧安装面10e的表面精度变高。其结果为，板弹簧11的至壁部72的安装角度θ的误差变小了，可容易进行施力的管理。
[0236]
如图26所示，主基部10可藉由将3个螺丝14插通于主基部10上所形成的3个位置的孔并拧紧于马达200上所形成的螺丝孔而被进行固定。从主基部10沿z轴正方向延伸的柱10q、柱10m及柱10s的z轴正方向前端侧分别形成有螺丝孔10v、螺丝孔10u及螺丝孔10w。插通于图18所示的基板20上所形成的孔20c、孔20e及孔20d的基板安装螺丝13分别在螺丝孔10v、螺丝孔10u及螺丝孔10w中被拧紧。据此，柱10q、柱10m及柱10s的上端面10r、上端面10p
及上端面10t可与图28所示的基板20的下表面20－1相接。基板20的下表面20－1为基板20所具有的z轴方向的2个基板面中的朝向主基部10的表面。其结果为，可对基板20的z轴方向的位置进行限定。
[0237]
如图17、图30至图32等所示，壳部15具备上表面部15－1、第1侧面部15a、第2侧面部15b、第3侧面部15c、及第4侧面部15d，是其一面进行了开口的箱形部件。壳部15例如为树脂制，是进行了一体成型的部件。上表面部15－1相当于箱形部件的底部。上表面部15－1为面对图18所示的基板20的上表面20－2的表面。基板20的上表面20－2是基板20的与下表面20－1侧相反的一侧的基板面。第1侧面部15a是从上表面部15－1的x轴正方向侧的边部沿z轴负方向进行延伸的板状部件。第2侧面部15b是从上表面部15－1的x轴负方向侧的边部沿z轴负方向进行延伸的板状部件。第3侧面部15c是从上表面部15－1的y轴负方向侧的边部沿z轴负方向延伸的板状部件。第4侧面部15d是从上表面部15－1的y轴正方向侧的边部沿z轴负方向进行延伸的板状部件。壳部15在平面视图中的形状为与马达200在平面视图中形状相对应的矩形形状。壳部15的内侧的空间可对绝对式编码器100－2所具备的多个部件进行容纳。
[0238]
如图31所示，壳部15具有爪部15a、爪部15b、爪部15c、孔15d、凹部15e、凹部15f、凹部15g、连接器壳部15h、及开口部15i。爪部15a设置在第4侧面部15d的z轴负方向的端部附近。爪部15a以面对第3侧面部15c的方式从第4侧面部15d沿y轴负方向进行延伸。爪部15a与图30所示的主基部10上所设置的凹部10aa互锁。爪部15b设置在第3侧面部15c的z轴负方向的端部附近。爪部15b以面对第4侧面部15d的方式从第3侧面部15c沿y轴正方向进行延伸。爪部15b与图30所示的主基部10上所设置的凹部10ab互锁。爪部15c设置在第2侧面部15b的z轴负方向的端部附近。爪部15c以面对第1侧面部15a的方式从第2侧面部15b沿x轴负方向进行延伸。爪部15c与图30所示的主基部10上所设置的凹部10ac互锁。
[0239]
图31所示的凹部15e、凹部15f及凹部15g是为了避免与图18所示的3个基板安装螺丝13的头部进行干扰而以壳部15的上表面5－1的一部分沿z轴正方向进行凹陷的方式所形成的凹陷部。
[0240]
连接器壳部15h是为了对图18所示的连接器24进行覆盖而以壳部15的上表面5－1的一部分沿z轴正方向进行凹陷的方式所形成的凹陷部。平面视图中的连接器壳部15h的底面的形状为长方形。连接器壳部15h设置在上表面5－1中的比x轴方向的中央还往第1侧面部15a侧且位于y轴方向的中央付近的区域。此外，连接器壳部15h设置在该区域中的靠近第1侧面部15a的部分。
[0241]
开口部15i形成在连接器壳部15h的底面和第1侧面部15a之间。以面对连接器壳部15h的底面的方式对图18所示的连接器24进行配置。连接器24例如为雌型连接器，连接器24中可插入外部配线的一端上所设置的雄型连接器。该雄型连接器可经由图31所示的开口部15i插入连接器壳部15h上所配置的连接器24内。据此，连接器24上所设置的导电性端子可与外部配线的一端上所设置的雄型连接器的导电性端子进行电连接。其结果为，与外部配线的另一端连接的外部装置和连接器24可进行电连接，由此可在绝对式编码器100－2和外部装置之间进行信号的传送。
[0242]
此外，藉由使连接器壳部15h设置于靠近第1侧面部15a的位置，如图18所示，连接器24在平面视图中时的位置与马达200在平面视图中时的连接器400的位置相等。藉由这样
地构成绝对式编码器100－2，可使与连接器24上所设置的导电性销进行电连接的外部配线的拉出位置接近与连接器400上所设置的导电性销进行电连接的外部配线的拉出位置。故，可将该些外部配线在绝对式编码器100－2和马达200附近集成1束，藉此，可容易地将被进行了这样的集束的配线群拉绕至外部机器。
[0243]
如图29所示，基板20的下表面20－1上可设置磁性传感器40、磁性传感器50、微电脑21、双方向性驱动器22、及线驱动器23。基板20的下表面20－1为磁性传感器40和磁性传感器50的实装面。如前所述，柱10q的上端面10r、柱10m的上端面10p、及柱10s的上端面10t与基板20的下表面20－1相接。此外，如图20所示，柱10q、柱10m及柱10s采用主基部10在平面视图中的相互之间的间隔之差较小的方式而被设置在主基部10上。例如，柱10q设置在主基部10的y轴方向的中央付近靠近第2边302的位置。柱10q与壁部80进行了一体化。柱10m被设置在第1边301和第4边304相交的角部附近。柱10s被设置在主基部10的x轴方向的中央付近且靠近第3边303的位置。柱10s与壁部70和基板定位销10g进行了一体化。藉由这样地对柱10q、柱10m及柱10s进行设置，可正确地对基板20上所设置的磁性传感器40和磁性传感器50各自的z轴方向的位置进行限定。需要说明的是，如果将柱10q、柱10m及柱10s分别形成在主基部10上的沿x－y平面方向尽可能地进行分离的位置，则可更稳定地对基板20的位置进行保持。
[0244]
在实施方式2的绝对式编码器100－2中，主基部10可藉由压铸而形成。为此，例如与藉由板金制作主基部10的基部60并与分别制作的柱10q、柱10m、柱10s、基板定位销10g、基板定位销10j、壁部70、壁部80等进行组装的情况相比，可提高各部件间的位置精度。此外，藉由使制作时的部件数量变少，可简化绝对式编码器100－2的结构，由此可容易地进行组装进而缩短制造时间，另外还可提高绝对式编码器100－2的可靠性。
[0245]
磁性传感器40是主轴角度传感器的一例。磁性传感器40以相隔预定间隔的方式被配置在永磁铁9的正上方。磁性传感器40藉由对与主轴齿轮1一起旋转的永磁铁9的旋转所引起的来自永磁铁9的磁通的变化进行检测，可对所对应的主轴齿轮1的旋转角度进行检测和确定，并可使表示所确定的旋转角度的角度信息作为数字信号进行输出。
[0246]
磁性传感器50是角度传感器的一例。此外，副轴齿轮5是随第2从动齿轮即蜗轮部5a的旋转而旋转的旋转体。磁性传感器50以相隔预定间隔的方式被配置在永磁铁8的正上方。磁性传感器50藉由对与副轴齿轮5一起旋转的永磁铁8的旋转所引起的来自永磁铁8的磁通的变化进行检测，可对所对应的副轴齿轮5的旋转角度进行检测和确定，并可使表示所确定的旋转角度的角度信息作为数字信号进行输出。
[0247]
磁性传感器40和磁性传感器50例如分别具备对磁通的变化进行检测的检测元件和根据该检测元件的输出对表示旋转角度的数字信号进行输出的运算电路。检测元件例如可为霍尔元件、gmr(giant magneto resistive)元件等的多个磁场感应元件的组合。磁场感应元件的数量例如为4个。
[0248]
在主轴齿轮1的蜗齿轮部1d的条数为4，且中间齿轮2的蜗轮部2a的齿数为20的情况下，减速比为5。即，若主轴齿轮1进行5次旋转，则中间齿轮2进行1次旋转。此外，在中间齿轮2的蜗齿轮部2b的条数为1，且副轴齿轮5的蜗轮部5a的齿数为18的情况下，减速比为18。即，若中间齿轮2进行18次旋转，则副轴齿轮5进行1次旋转。故，如果主轴齿轮1进行90次旋转，则中间齿轮2进行90
÷
5＝18次旋转，副轴齿轮5进行18
÷
18＝1次旋转。
[0249]
主轴齿轮1和副轴齿轮5上分别设置了成为一体而进行旋转的永磁铁9和永磁铁8。为此，藉由分别与其对应的磁性传感器40和磁性传感器50来检测主轴齿轮1和副轴齿轮5的旋转角度，可对马达轴201的旋转量进行确定。如果主轴齿轮1进行1次旋转，则副轴齿轮5进行1/90次旋转，即进行4
°
的旋转。为此，在副轴齿轮5的旋转角度小于4度的情况下，主轴齿轮1的旋转量小于1次旋转，当副轴齿轮5的旋转角度为4度以上且小于8度时，主轴齿轮1的旋转量为1次旋转以上且小于2次旋转。如此，在绝对式编码器100－2中，可根据副轴齿轮5的旋转角度对主轴齿轮1的转数进行确定。尤其是，在绝对式编码器100－2中，藉由利用蜗齿轮部1d和蜗轮部2a的减速比以及蜗齿轮部2b和蜗轮部5a的减速比，即使主轴齿轮1的旋转为多次旋转，也可对主轴齿轮1的转数进行确定。
[0250]
微电脑21、双方向性驱动器22、线驱动器23、及连接器24实装在基板20上。微电脑21、双方向性驱动器22、线驱动器23、及连接器24藉由基板20上的图案配线可进行电连接。
[0251]
微电脑21由cpu(central processing unit：中央运算处理装置)构成，可分别获取从磁性传感器40和磁性传感器50输出的表示旋转角度的数字信号，由此计算出主轴齿轮1的旋转量。
[0252]
双方向性驱动器22可与连接器24上所连接的外部装置之间进行双方向的通信。双方向性驱动器22可将操作信号等的数据(data)转换为差分信号，并与外部装置之间进行通信。线驱动器23可将表示旋转量的数据变换为差分信号，并实时地将差分信号输出至与连接器24连接的外部装置。连接器24与外部装置的连接器连接。
[0253]
图33是表示本发明的实施方式2的绝对式编码器100－2所具备的微电脑21的功能配置的图。图33所示的微电脑21的各个块表示作为微电脑21的cpu藉由执行程式而实现的功能(function)。
[0254]
微电脑21具备旋转角获取部21p、旋转角获取部21q、表处理部21b、旋转量确定部21c、及输出部21e。旋转角获取部21q基于从磁性传感器40输出的信号获取主轴齿轮1的旋转角度aq。旋转角度aq是表示主轴齿轮1的旋转角度的角度信息。旋转角获取部21p基于从磁性传感器50输出的信号获取副轴齿轮5的旋转角度ap。旋转角度ap是表示副轴齿轮5的旋转角度的角度信息。表处理部21b藉由对保存了旋转角度ap和与旋转角度ap相对应的主轴齿轮1的转数的对应关系表进行参照，可对与所获取的旋转角度ap相对应的主轴齿轮1的转数进行确定。旋转量确定部21c可根据由表处理部21b所确定的主轴齿轮1的转数和所获取的旋转角度aq对主轴齿轮1的多次旋转的旋转量进行确定。输出部21e可将所确定的主轴齿轮1的多次旋转的旋转量变换为表示该旋转量的信息并进行输出。
[0255]
如图21等所示，副轴齿轮5设置在中间齿轮2的与主轴齿轮1侧相反的一侧，故可降低对没有与永磁铁8和永磁铁9相对应的磁性传感器产生影响的磁性干扰的发生。这样，就绝对式编码器100－2而言，藉由采用可降低磁性干扰的发生的结构，可使绝对式编码器100－2在平面视图中的尺寸相对较小。因此，不仅可实现绝对式编码器100－2的小型化，还可防止磁性传感器40和磁性传感器50各自的磁通所引起的检测精度的下降。
[0256]
此外，在实施方式2的绝对式编码器100－2中，与主基部10的上表面平行配置的中间齿轮2相对于主基部10的四边斜着进行了延伸，另外，相对于中间齿轮2，主轴齿轮1和副轴齿轮5相互地设置在中间齿轮2的相反侧。为此，可在主基部10的上表面的整个区域中的一部分较窄的区域内配置主轴齿轮1、中间齿轮2、及副轴齿轮5，由此可减小相对于水平方
向的绝对式编码器100－2的尺寸。
[0257]
另外，实施方式2的绝对式编码器100－2中，蜗轮部2a的外径和蜗齿轮部2b的外径在可能的范围内被设定为较小值。据此，可减小绝对式编码器100－2的z轴方向(高度方向)上的尺寸。
[0258]
如此，根据实施方式2的绝对式编码器100－2可知，具有不仅可防止主轴齿轮1的旋转量的检测精度的下降而且还可减小z轴方向的尺寸和与z轴方向正交的方向的尺寸之效果。
[0259]
此外，在实施方式2的绝对式编码器100－2中，中间齿轮2相对于分别固定或插入于壁部80和壁部72的轴4被进行了轴支撑，即，可旋转地被进行了支撑，但只要可对中间齿轮2进行轴支撑，中间齿轮2的支撑方法并不限定于此。
[0260]
例如，绝对式编码器100－2可被构成为，轴4的一端4a插入壁部72上所形成的孔10a内，轴4的另一端4b压配合并固定在壁部80上所形成的孔10b内。另外，绝对式编码器100－2也可被构成为，轴承3的外圈3a压配合并固定于中间齿轮2上所形成的压配合部2d，轴4压配合并固定于轴承3的内圈3b。据此，可对轴4上所固定的中间齿轮2的朝向轴方向td的移动进行限制。在这样地构成了绝对式编码器100－2的情况下，中间齿轮2可被轴4进行轴支撑。此外，藉由壁部72和壁部80，朝向轴4的轴方向td的移动被进行了限制，并且，藉由轴4上所固定的轴承3的内圈3b，朝向中间齿轮2的轴方向的移动也被进行了制限。故，不需要设置板弹簧11。
[0261]
除此之外，绝对式编码器100－2例如还可被构成为，不使用图22所示的轴承3，而是在轴4上固定了中间齿轮2的状态下，藉由壁部72和壁部80的至少一个上所设置的图中未示的轴承来对轴4进行轴支撑。
[0262]
在图中未示的轴承的外圈固定于壁部72或壁部80，且轴4的一端4a或另一端4b插入内圈的情况下，轴4上固定有中间齿轮2，轴4被图中未示的轴承进行了轴支撑，故轴4和中间齿轮2可一体地进行旋转。此情况下，轴4不固定于轴承的内圈，仅插入了内圈，故轴4可与中间齿轮2一起朝向轴方向td进行移动。为此，需要设置用于对中间齿轮2朝向轴方向td进行施力从而对位置进行限定的板弹簧11。
[0263]
或者，图中未示的轴承的外圈可固定于壁部72或壁部80，图中未示的内圈内可压配合轴4的一端4a或另一端4b。此时，可对轴4上所固定的中间齿轮2的朝向轴方向td的移动进行限制。为此，藉由图中未示的轴承，不仅可对轴4上所固定的中间齿轮2进行可旋转的支撑，而且还可对轴4的朝向轴方向td的移动进行限制，故中间齿轮2的朝向轴方向td的移动也可被限制。因此，不需要设置板弹簧11。
[0264]
如图24所示，磁性传感器40本来是藉由对来自与主轴齿轮1一起旋转的永磁铁9的磁通的变化进行检测而对主轴齿轮1的旋转角度进行检测和确定的。此外，如图25所示，磁性传感器50对与副轴齿轮5一起旋转的永磁铁8的磁通的变化进行检测，由此对副轴齿轮5的旋转角度进行检测和确定。实施方式2的绝对式编码器100－2如至此所述的那样藉由采用可降低磁性干扰的发生的结构，可降低来自永磁铁8的磁通对磁性传感器40的影响。此外，还可降低来自永磁铁9的磁通对磁性传感器50的影响。即，可防止主轴齿轮1和副轴齿轮5的相互的磁性干扰所引起的旋转的检测精度的下降。
[0265]
图34是表示可应用于实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2的永磁铁9a的
图。图35是表示可应用于实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2的永磁铁9b的图。图34示出了第1构成例的永磁铁9a。永磁铁9a中，第1极性的第1磁极部分n和与第1极性不同的第2极性的第2磁极部分s沿永磁铁9a的径向方向d1进行了排列。图35示出了第2构成例的永磁铁9b。永磁铁9b中，以永磁铁9b的中央为界，在图中的左半部分内，第1磁极部分n和第2磁极部分s沿永磁铁9b的图中轴方向d2进行了排列，另一方面，在图中的右半部分内，沿与左半部上下相反的方向，第1磁极部分n和第2磁极部分s在永磁铁9的图中轴方向d2上进行了排列。图34和图35中所示的箭头“dm”表示磁化方向。
[0266]
永磁铁9a和永磁铁9b都可作为实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2的永磁铁9而被使用。然而，永磁铁9b中，由多个磁力线所形成的磁场与永磁铁9a所产生的磁场相比，沿轴方向d2更广地进行了分布。相对于此，永磁铁9a中，由多个磁力线所形成的磁场与永磁铁9b所生成的磁场相比，沿径向方向d1更广地进行了分布。为此，当在实施方式1、2的绝对式编码器100－1、100－2中使用永磁铁9a的情况下，藉由永磁铁9a的在径向方向外侧较广地生成的磁场，容易发生如上所述的磁通对其他磁性传感器产生影响的磁性干扰。
[0267]
就实施方式1、2的各变形例的绝对式编码器100－1、100－2而言，在永磁铁9b作为永磁铁9而被使用的情况下，与永磁铁9a被使用的情况相比，从永磁铁9所产生的漏磁通流入磁性传感器50的情形变少。此外，在永磁铁9b作为永磁铁8而被使用的情况下，与永磁铁9a被使用的情况相比，从永磁铁8所产生的漏磁通流入磁性传感器40的情形也会变少。其结果为，可减小副轴齿轮5或主轴齿轮1的旋转角度或旋转量的检测精度的下降。此外，藉由减小旋转角度或旋转量的检测精度的下降，还可实现绝对式编码器100－1、100－2的进一步的小型化。
[0268]
需要说明的是，实施方式1的绝对式编码器100－1被构成为，永磁铁8和磁铁座6各自的中心轴与图36所示的永磁铁8和磁铁座6同样地互相保持一致。此外，实施方式1的绝对式编码器100－1被构成为，永磁铁17和第2副轴齿轮138各自的中心轴与图36所示的永磁铁8和磁铁座6同样地互相保持一致。另外，实施方式1的绝对式编码器100－1还被构成为，永磁铁9和主轴齿轮1各自中心轴与图37所示的永磁铁9和主轴齿轮1同样地互相保持一致。藉由该构成，实施方式1的绝对式编码器100－1可进行更高精度的旋转角或旋转量的检测。
[0269]
就实施方式1中所述的基板120的固定方法而言，只要是采用将设置了至少对旋转体的旋转量进行检测的传感器的电路基板固定于多个支柱部各自的前端面的构成的绝对式编码器，不管是什么样的绝对式编码器，都可应用该固定方法。例如，实施方式1中所述的基板120的固定方法也可应用于结合图17～图33所描述的实施方式2的绝对式编码器100－2。
[0270]
例如，图38是表示实施方式2的绝对式编码器100－2(即，在从上方或下方观察时的平面视图中，一边的长度为25mm的矩形形状的绝对式编码器)所具备的基板20的第1固定部20a和第2固定部20b的配置的底面图。
[0271]
实施方式2的绝对式编码器100－2中，如图24所示，基板20上设置的磁性传感器40的检测面(下表面)和主轴齿轮1上设置的永磁铁9的上表面9a彼此平行，据此，可高精度地藉由磁性传感器40对主轴齿轮1(“旋转体”的一例)的旋转角度进行检测。
[0272]
另一方面，实施方式2的绝对式编码器100－2中，如图19和图20所示，主基部10上配设有柱10m、柱10q及柱10s。此外，实施方式2的绝对式编码器100－2中，如图18所示，采用
了藉由基板安装螺丝13(“固定单元”的一例)将基板20的3个固定部螺丝固定于柱10m、柱10q及柱10s的构成。
[0273]
为此，就实施方式2的绝对式编码器100－2而言，如果基板20的3个固定部处的基板20的高度彼此不同，则基板20会发生倾斜，导致磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面9a不再彼此平行，并且，磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面9a之间的距离精度也会发生恶化，这样就存在磁性传感器40的检测精度可能降低的风险。
[0274]
尤其是，实施方式2的绝对式编码器100－2中，基板20的3个固定部中的一个具有藉由基板安装螺丝13而被进行螺丝固定并且还被进行接地连接的连接端子，由于基板20的具有该连接端子的固定部的结构与基板20的其它固定部的结构不同，所以很容易导致该固定部的高度与其它固定部的高度不同。
[0275]
为此，实施方式2的绝对式编码器100－2中，如下所述，为了使基板20的3个固定部的高度位置彼此相等，采用了可将基板20固定于柱10m、柱10q及柱10s的构成。这样，就实施方式2的绝对式编码器100－2而言，基板20可在保持水平的状态下被固定，故可使磁性传感器40的检测面和永磁铁9的上表面9a彼此平行。因此，实施方式2的绝对式编码器100－2能抑制磁性传感器40的检测精度的降低。
[0276]
具体而言，如图38所示，绝对式编码器100－2所具备的基板20具有2个第1固定部20a和1个第2固定部20b。
[0277]
第1固定部20a是具有沿上下方向(图中的z轴方向)贯穿基板20的贯穿孔20a1，且藉由从上方朝向下方贯穿该贯穿孔20a1的基板安装螺丝13而被螺丝固定于主基部10所具有的第1支柱部10a的部分。图38所示的例子中，基板20所具有的3个孔20c、20e、20d中的孔20c、20d相当于第1固定部20a的贯穿孔20a1。因此，第1支柱部10a相当于主基部10所具有的柱10m、柱10q及柱10s中的柱10q、10s。
[0278]
第2固定部20b是具有沿上下方向(图中的z轴方向)贯穿基板20的贯穿孔20b1和形成在该贯穿孔20b1上的连接端子20h(参照图13)，且藉由在贯穿孔20b1内从上方朝向下方贯穿连接端子20h的基板安装螺丝13而被螺丝固定和接地连接于主基部10所具有的第2支柱部10b的部分。图38所示的例子中，基板20所具有的3个孔20c、20e、20d中的孔20e相当于第2固定部20b的贯穿孔20b1。因此，第2支柱部10b相当于主基部10所具有的柱10m、柱10q及柱10s中的柱10m。
[0279]
就这样构成的绝对式编码器100－2所具有的基板20而言，与实施方式1相同，通过在2个第1固定部20a的每个上设置调整部20c或调整部20d，以使2个第1固定部20a的每个的高度位置与第2固定部20b的高度位置相等，可在水平状态下对该基板20进行固定。
[0280]
其结果为，实施方式2的绝对式编码器100－2中，如图24所示，基板20上设置的磁性传感器40的检测面与主轴齿轮1上设置的永磁铁9的上表面9a彼此平行，并且，两者之间的距离可被高精度地保持为一定的距离。因此，根据实施方式2的绝对式编码器100－2，可抑制磁性传感器40的检测精度的降低。
[0281]
需要说明的是，实施方式2的绝对式编码器100－2中，与实施方式2的绝对式编码器100－1相同，作为调整部20d，也可使用图15和图16所示的虚设的配线层(或虚设的连接端子)。
[0282]
另外，需要说明的是，实施方式1和实施方式2中，作为“固定单元”的一例，使用了
螺丝，但并不限定于此。例如，作为“固定单元”，也可使用铆钉等。此外，实施方式1和实施方式2中，作为“调整部”的一例，使用了保护层和配线层，但并不限定于此。例如，作为“调整部”，还可使用垫片等。但是，藉由将保护层或配线层使用为“调整部”，“调整部”可与形成在基板上的保护层或配线层一起整体形成。
[0283]
需要说明的是，就以上的实施方式中所述的构成而言，其仅是对本发明的内容的一例进行表示的构成，也可与其他公知技术进行组合，在不脱离本发明的主旨的范围内，还可对该构成的一部分进行省略和变更。
[0284]
需要说明的是，本技术主张基于2019年3月29日申请的日本国专利申请第2019－068117的优先权，并将该日本国专利申请的内容以引用的方式全部援引于本技术。
[0285]
[附图标记说明]
[0286]
1 主轴齿轮，1a 第1筒状部，1b 第2筒状部，1c 连通部，1d 蜗齿轮部，1e 底面，1f 压配合部，1g 底面，1h 磁铁保持部，2 中间齿轮，2a 蜗轮部，2b 蜗齿轮部，2c 轴承部，2d 压配合部，2e 滑动部，2f 底面，2g 贯穿孔，2h 第3蜗齿轮部，3 轴承，3a 外圈，3b 内圈，3c 侧面，3d 侧面，4 轴，4a 一端，4b 另一端，5 副轴齿轮，5－1 上表面，5a 蜗轮部，5b 贯穿孔，6 磁铁座，6a 磁铁保持部，6b 轴部，6c 头部，7 轴承，7a 外圈，7b 内圈，8 磁铁，8a 表面，9 永磁铁，9a 永磁铁，9b 永磁铁，9a 上表面，9b 下表面，10 主基部，10－1 开口部，10－1a 壁面，10－2 下表面，10－3a 壁面，10a 孔，10aa 凹部，10ab 凹部，10ac 凹部，10ad 安装面，10ae 螺丝孔，10b 孔，10c 抵接面，10d 轴承座部，10da 下部，10db 上部，10dc 内周面，10e 板弹簧安装面，10f 螺丝孔，10g 基板定位销，10g1 基部，10h 前端部，10i 段差部，10j 基板定位销，10j1 基部，10k 前端部，10l 段差部，10m 柱，10p 上端面，10q 柱，10r 上端面，10s 柱，10t 上端面，10u 螺丝孔，10v 螺丝孔，10w 螺丝孔，11 板弹簧，11a 滑动部，11b 安装部，11c 孔，11d 基部，12 螺丝，13 基板安装螺丝，14 螺丝，15 壳部，15－1 上表面部，15a 第1侧面部，15b 第2侧面部，15c 第3侧面部，15d 第4侧面部，15a 爪部，15b 爪部，15c 爪部，15d 孔，15e 凹部，15f 凹部，15g 凹部，15h 连接器壳部，15i 开口部，16 安装螺丝，17 永磁铁，20 基板，20－1 下表面，20－2 上表面，20a 定位孔，20b 定位孔，20c 孔，20d 孔，20e 孔，21 微电脑，21b 表处理部，21c 旋转量确定部，21e 输出部，21p 旋转角获取部，21q 旋转角获取部，22 双方向性驱动器，23 线驱动器，24 连接器，40 磁性传感器，40a 表面，50 磁性传感器，50a 表面，60 基部，61 磁通屏蔽部，61a 第1板面，61b 第2板面，61c 第1端面，61d 第2端面，61e 第3端面，62 磁通屏蔽部，62a 第1板面，62b 第2板面，62c 第1端面，62d 第2端面，62e 第3端面，164 螺丝，70 壁部，71 壁部，72 壁部，73 侧面，80 壁部，90 磁性传感器，100－1 绝对式编码器，100－2 绝对式编码器，101 主轴齿轮，101a 第1筒状部，101b 圆盘部，101c 蜗齿轮部，101d 磁铁保持部，102 第1中间齿轮，102a 蜗轮部，102b 第1蜗齿轮部，102c 基部，102d 第1筒部，102e 第2筒部，102f 第3筒部，102g 半球型突起，102h 第2蜗齿轮部，102i 滑动部，105 第1副轴齿轮，105a 蜗轮部，105b 轴承部，105c 圆盘部，105d 保持部，106 轴，110 主基部，110a 基部，110b 支撑部，110c 支撑部，107 阻止环，108 阻止环，110－1 开口部，110－1a 壁面，111 板弹簧，111a 滑动部，111b 安装部，115 壳部，115a 外壁部，115b 外壁部，115c 外壁部，115d 外壁部，116 盖部，120 基板，121 微电脑，121b 表处理部，121c 旋转量确定部，121e 输出部，121p 旋转角获取部，121q 旋转角获取部，121r 旋转角获取部，133 第2中间
齿轮，133a 蜗轮部，133b 轴承部，133c 伸出部，133d 第4驱动齿轮部，138 第2副轴齿轮，138a 第4从动齿轮部，138b 轴承部，138c 伸出部，138d 磁铁保持部，139 轴，141 支柱，200 马达，201 马达轴，202 框体，202a 切口部，301 第1边，302 第2边，303 第3边，304 第4边，400 连接器，500 磁通屏蔽部，500a 第1板面，500b 第2板面，500c 第1端面，500d 第2端面，500e 第3端面，501 磁通屏蔽部，501a 前端面，502 磁通屏蔽部，502a 前端面，td 中间齿轮2或轴4的轴方向，20a 第1固定部，20b 第2固定部，20c、20d 调整部，10a 第1支柱部，10b 第2支柱部。