技术特征：
1.一种检查装置的自我诊断方法，该检查装置用于对将第一基板与第二基板接合而成的重合基板进行检查，所述检查装置的自我诊断方法包括以下工序：进行配置的工序，通过使保持所述重合基板的外周部且设置有具有使光衰减的衰减构件的诊断部的保持部移动，来将所述衰减构件配置于照明部与摄像部之间，所述照明部配置于所述保持部的上方和下方中的一方，用于向保持于所述保持部的所述重合基板照射光，所述摄像部配置于所述保持部的上方和下方中的另一方的与所述照明部相向的位置，用于拍摄保持于所述保持部的所述重合基板，进行照射的工序，在所述进行配置的工序之后，从所述照明部以设定光量照射光；接受光的工序，在所述进行照射的工序之后，使用所述摄像部接受从所述照明部照射出并透过了所述衰减构件的光；以及判定光量的异常的工序，在所述接受光的工序之后，基于由所述摄像部接受到的光的受光量来判定从所述照明部照射出的光的光量的异常。2.根据权利要求1所述的检查装置的自我诊断方法，其特征在于，在所述判定光量的异常的工序中，计算初始受光量与在所述接受光的工序中由所述摄像部接受到的光的受光量的差，在所述差为光量阈值以上的情况下，判定为从所述照明部照射出的光的光量为异常，其中，所述初始受光量是作为从所述照明部以所述设定光量照射出并透过了所述衰减构件后由所述摄像部接受到的光的受光量而预先存储的受光量。3.根据权利要求1或2所述的检查装置的自我诊断方法，其特征在于，在所述判定光量的异常的工序中，还包括在判定为从所述照明部照射出的光的光量为异常的情况下变更所述设定光量的工序。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的检查装置的自我诊断方法，其特征在于，所述衰减构件具有校准标记，所述检查装置的自我诊断方法还包括以下工序：进行摄像的工序，在所述进行照射的工序之后，使用所述摄像部拍摄所述校准标记；以及判定光轴的倾斜的工序，在所述进行摄像的工序之后，基于由所述摄像部拍摄到的所述校准标记来判定所述照明部的光轴的倾斜。5.一种检查装置，用于对将第一基板与第二基板接合而成的重合基板进行检查，所述检查装置具备：保持部，其保持所述重合基板的外周部；照明部，其配置于所述保持部的上方和下方中的一方，用于向保持于所述保持部的所述重合基板照射光；摄像部，其配置于所述保持部的上方和下方中的另一方的与所述照明部相向的位置，用于拍摄保持于所述保持部的所述重合基板；移动机构，其使所述保持部移动；以及诊断部，其设置于所述保持部，具有使从所述照明部照射出的光衰减的衰减构件。6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，所述衰减构件包含硅。7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，
所述衰减构件包含：所述硅；玻璃，其层叠于所述硅；以及校准标记，其形成于所述玻璃。8.根据权利要求5至7中的任一项所述的检查装置，其特征在于，所述保持部具备：主体部，其具有直径比所述重合基板的直径大的开口；以及多个支承构件，所述多个支承构件设置于所述主体部并朝向所述开口的中心延伸，在所述多个支承构件的前端部支承所述重合基板的外周部，所述诊断部配置于相邻的两个所述支承构件之间。9.根据权利要求8所述的检查装置，其特征在于，所述诊断部具备：安装部，其设置于所述保持部，朝向所述开口的中心延伸；以及所述衰减构件，其安装于所述安装部的前端部，其中，所述衰减构件配置于在从与所述重合基板的板面垂直的方向观察所述检查装置的俯视观察时从所述重合基板露出的位置。
技术总结
本公开的检查装置(80)的自我诊断方法包括进行配置的工序、进行照射的工序、接受光的工序以及判定光量的异常的工序。进行配置的工序通过使保持重合基板(T)的外周部并设置有具有使光衰减的衰减构件(720)的诊断部(700)的保持部(400)移动，来将衰减构件配置于向重合基板照射光的照明部(610、620)与拍摄重合基板的摄像部(51、520)之间。进行照射的工序在进行配置的工序之后，从照明部以设定光量照射光。接受光的工序在进行照射的工序之后，使用摄像部接受从照明部照射出并透过了衰减构件的光。判定光量的异常的工序在接受光的工序之后，基于由摄像部接受到的光的受光量来判定从照明部照射出的光的光量的异常。部照射出的光的光量的异常。部照射出的光的光量的异常。
技术研发人员：大塚庆崇 鹤田茂登 三村勇之 前田浩史 真锅英二 日诘久则 篠塚真一 田上裕宪
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2020.08.17
技术公布日：2022/3/29