检测装置的制作方法

1.本发明涉及晶锭质量检测技术领域，具体而言，涉及一种检测装置。


背景技术：

2.碳化硅(sic)作为新兴的第三代半导体核心材料，具有宽禁带、高临界击穿电场强度、高电子迁移率以及良好的抗辐照性和化学稳定性等优异特性，这使其成为一种广泛应用的重要衬底晶片材料，在航空器件、新能源汽车、轨道交通和家用电器等领域展现了良好的应用前景。因此，需要对碳化硅晶锭进行外观质量检测。
3.针对晶锭的外观检测，通常是利用紫外线灯照射晶锭的各面，人眼观察晶锭是否有缺陷。在对晶锭的侧面进行检测时，需要使晶锭绕自身轴线转动，从而使紫外线灯能够照射侧面的不同区域。
4.然而，现有技术中是工作人员手动将晶锭置于uv下，通过手部的活动使晶锭绕自身轴线转动，该过程中工作人员的手部暴露在紫外线灯下，长久以往可能会导致工作人员的手部皮肤表面灼伤、刺痛、晒黑，甚至引发皮炎，导致色斑、暗沉皮肤老化及癌变症状。


技术实现要素：

5.本发明的目的在于提供一种检测装置，其能够在检测晶锭质量时，使晶锭绕自身轴线转动，避免了紫外线灯直接照射人体，更加安全。
6.本发明实施例提供了一种检测装置，该检测装置包括支架、槽体和转动机构，所述支架开设有所述槽体，所述槽体用于放置待测晶锭；转动机构位于所述槽体内，用于抵持待测晶锭。驱动机构用于驱动所述转动机构转动，以使所述转动机构带动待测晶锭转动。
7.由此，在进行晶锭的外观质量检测时，可以将待测晶锭放置在槽体中，使得晶锭侧面抵持于转动机构，以此通过驱动机构驱使转动机构转动，转动机构就能够带动待测晶锭转动，使得紫外线灯照射待测晶锭的侧面的不同区域，避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触，从而能够防止工作人员的手部受伤，更加安全。
附图说明
8.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
9.图1为本发明实施例检测装置在第一视角下的示意图；
10.图2为本发明实施例检测装置在第二视角下的示意图；
11.图3为本发明实施例检测装置在第三视角下的示意图。
12.图标:1
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支架；10
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基座；101
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主体部分；103
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凸起部分；11
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槽体；12
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第一侧板；14
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第一支板；16
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第二侧板；18
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第二支板；3
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转动机构；30
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转动件；301
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第一旋转轴；303
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滚
轮；32
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传动件；321
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第二旋转轴；323
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转动轮；5
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驱动机构；50
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连动杆；501
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第一杆段；503
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第二杆段；52
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施力杆；54
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握持套；541
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摩擦纹路；7
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晶锭。
具体实施方式
13.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
14.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
15.应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
16.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
17.此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
18.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
19.针对晶锭的外观检测，通常是利用紫外线(uv)灯照射晶锭的各面，如晶锭的硅面、碳面以及侧面的多个小面进行拍照记录，人眼观察晶锭是否有缺陷，例如是否存在多型、多晶、晶花、杂晶等缺陷，存在以上缺陷时需要对晶锭的有效厚度进行扣除。在对晶锭的侧面进行检测时，需要使晶锭绕自身厚度方向的轴线转动，从而使紫外线灯能够照射侧面的不同区域。
20.然而，现有技术中是工作人员手动将晶锭置于uv下，通过手部的活动使晶锭绕自身轴线方向转动，该过程中工作人员的手部暴露在uv灯下，由于uv灯具有强辐射作用，工作人员长期直接接触紫外线光可能会导致手部皮肤表面灼伤、刺痛、晒黑，甚至引发皮炎，导致色斑、暗沉皮肤老化及癌变症状。
21.针对上述现有技术中的缺陷，本发明实施例提供了以下实施例来进行改善。
22.请参考图1至图3，本发明实施例提供了一种检测装置，该检测装置包括支架1和转
动机构3，支架1开设有槽体11，槽体11用于放置待测晶锭7；转动机构3位于槽体11内，用于抵持待测晶锭7。驱动机构5用于驱动转动机构3转动，以使转动机构3带动待测晶锭7转动。
23.由此，在进行晶锭7的外观质量检测时，可以将待测晶锭7放置在槽体11中，使得晶锭7侧面抵持于转动机构3，以此通过驱动机构5驱使转动机构3转动，转动机构3就能够带动待测晶锭7转动，使得紫外线灯照射待测晶锭7的侧面的不同区域，避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触，从而能够防止工作人员的手部受伤，更加安全。
24.在本实施例中，支架1主要包括基座10、第一支板14、第二支板18、第一侧板12和第二侧板16。基座10主要起承载支撑作用，其具体形状在本实施例中不进行限制，例如可以是如图1中所示阶梯凸台状，包括主体部分101及凸设于主体部分101的表面的凸起部分103，主体部分101的外径大于凸起部分103的外径，凸起部分103的上表面用于设置支板、侧板等零部件。
25.第一支板14和第二支板18相间隔地设置于基座10上，即相间隔地设置于凸起部分103的上表面。第一侧板12和第二侧板16相对且间隔地设置于基座10，即第一侧板12和第二侧板16相对且间隔地设置于凸起部分103的上表面；并且，第一侧板12连接于第一支板14的第一侧和第二支板18的第二侧之间，第二侧板16连接于第一支板14的第一侧和第二支板18的第二侧之间，从而基座10、第一支板14、第二支板18、第一侧板12和第二侧板16共同围成槽体11。
26.其中，沿着槽体11的底部至开口的方向，即沿着基座10向上，槽体11的内径逐渐增大，即槽体11呈倒置的梯形。具体而言，第一侧板12和第二侧板16均为平直的板体，且第一侧板12和第二侧板16相互平行，均垂直于基座10的凸起部分103的上表面，从而更好地放置待测晶锭7，避免晶锭7在转动过程中掉落。第一支板14和第二支板18相对倾斜，且沿着基座10向上的方向，即沿槽体11的底部至开口的方向，第一支板14和第二支板18之间的间距逐渐增大，由此第一支板14和第二支板18呈v形布置，从而更为适应晶锭7的形状。并且，第一支板14和第二支板18在竖直方向的高度均大于第一侧板12和第二侧板16在竖直方向的高度。当然，在其他实施例中，两个支板相背的两侧分别设置竖直的支柱，一个支柱的两端分别连接第一支板14的上部和基座10之间，另一个支柱的两端分别连接第二支板18的上部和基座10之间，即两个支柱和两个支板呈m形布置。
27.在本实施例中，转动机构3包括至少一转动件30和传动件32。每一转动件30可转动地连接于第一侧板12和第二侧板16两者中的至少一者，位于槽体11内，用于抵持待测晶锭7，也就是说，每一转动件30可以与第一侧板12或第二侧板16可转动连接，也可以是与第一侧板12和第二侧板16均可转动连接。传动件32可转动地连接于第一侧板12和第二侧板16两者中的至少一者，即每一传动件32可以与第一侧板12或第二侧板16可转动连接，也可以是与第一侧板12和第二侧板16均可转动连接。传动件32相对于转动件30靠近槽体11的底部，即传动件32相对于转动件30靠近基座10的凸起部分103，并且，传动件32与驱动机构5连接，传动件32用于在驱动机构5的作用下驱使转动件30转动，以使转动件30带动待测晶锭7转动。
28.具体的，每一转动件30包括第一旋转轴301和滚轮303，第一旋转轴301可以是一根圆柱杆，也可以是一个螺钉、螺栓，该第一旋转轴301垂直于第一侧板12和第二侧板16。第一旋转轴301可转动地穿设于第一侧板12和第二侧板16，位于槽体11内。滚轮303位于槽体11
内，与第一旋转轴301同轴，围设于第一旋转轴301的周缘，且与传动件32相抵持，因此该滚轮303能够传动件32的作用下转动，以带动待测晶锭7转动。当然在其他实施例中，也可以实施第一旋转轴301与第一侧板12或第二侧板16可转动穿设，也可以是与第一侧板12和第二侧板16均可转动穿设，即第一旋转轴301可转动地穿设于第一侧板12和第二侧板16两者中的至少一者。
29.为了能够平稳地使待测晶锭7转动，因此在本实施例中，槽体11内布置有两个转动件30，即转动机构3包括两个转动件30，两个转动件30并列间隔布置，用于同时抵持待测晶锭7。也就是说，两个转动件30的两个第一旋转轴301并列间隔布置，分别靠近第一支板14和第二支板18，两个滚轮303相对且间隔以同时抵持待测晶锭7的侧面。另外，为了防止滚轮303会刮伤晶锭7，因此，滚轮303由质地较软的弹性材料制成，例如聚氨酯等。当然，在其他实施例中，也可以是只布置一个转动件30，即使得只有一个滚轮303抵持待测晶锭7的侧面的部分区域，待测晶锭7的侧面的另一部分区域直接接触第一支板14或第二支板18的内表面，第一支板14和第二支板18的内表面光滑度较高，由此在滚轮303转动时，待测晶锭7的侧面和滚轮303的外周面之间的摩擦力驱使待测晶锭7转动，待测晶锭7的侧面相对于第一支板14和第二支板18的内表面滑动，从而也能实现在保证晶锭7不被刮伤的情况下转动。或者是布置三个以上的转动件30，各转动件30的滚轮303至少两个与晶锭7的侧面抵持，因此也能实现待测晶锭7的转动。也就是说，在本实施例中对转动件30的数量并不进行限制，可以是一个，亦可以是两个、三个及以上。
30.传动件32包括第二旋转轴321和转动轮323。第二旋转轴321可以是一个圆柱杆，也可以是螺钉、螺栓等，该第二旋转轴321垂直于第一侧板12和第二侧板16，即沿水平方向；该第二旋转轴321位于槽体11内，与第一旋转轴301相间隔，且相对于第一旋转轴301靠近基座10，即第二旋转轴321相对于第一旋转轴301靠近槽体11的底部，第二旋转轴321可转动地穿设于第一侧板12和第二侧板16，具体来说第二旋转轴321位于两个第一旋转轴301之间，从而两个第一旋转轴301和第二旋转轴321的中心连线围成等腰三角形，以稳定待测晶锭7的转动。转动轮323为硬质材料，例如钢铁、铸铁、不锈钢、铁合金等，以保证扭矩传递过程中的衰减程度小。转动轮323与第二旋转轴321同轴，围设于第二旋转轴321的周缘，并与转动件30相抵持，即转动轮323与两个滚轮303均抵持。其中，驱动机构5与第二旋转轴321连接，因此驱动机构5能够驱使第二旋转轴321转动，从而转动轮323能够随第二旋转轴321转动，并由于转动轮323与滚轮303相抵持产生的摩擦作用，使得转动轮323能够带动滚轮303转动，进而滚轮303带动待测晶锭7转动。当然在其他实施例中，第二旋转轴321也可以是与第一侧板12或第二侧板16可转动穿设，也可以是与第一侧板12和第二侧板16均可转动穿设，即第二旋转轴321可转动地穿设于第一侧板12和第二侧板16两者中的至少一者。
31.驱动机构5位于槽体11外，该驱动机构5包括连动杆50和施力杆52，连动杆50包括夹角连接的第一杆段501和第二杆段503，第一杆段501背离第二杆段503的一端连接于第二旋转轴321的一端。施力杆52与第二杆段503呈夹角，施力杆52的一端连接于第二杆段503背离第一杆段501的一端。
32.由此，工作人员能够握摇动施力杆52，使得施力杆52做圆周运动，从而连动杆50将施力杆52的圆周运动产生的扭矩传递给第二旋转轴321，使得第二旋转轴321转动；由于转动轮323设置在该第二旋转轴321上，因此转动轮323会随着第二旋转轴321的转动而转动；
由于转动轮323与滚轮303相抵持，因此滚轮303和第一旋转轴301以与转动轮323的转动方向相反的方向转动；由于滚轮303能够与待测晶锭7相抵持，因此滚轮303会带动待测晶锭7以与滚轮303的转动方向相反的方向转动，而且，由于在扭矩的传递过程中，滚轮303能够保证施力杆52做圆周远动时的旋转方向与待测晶锭7的转动方向一致，从而利于工作人员根据检测需求精准地转动待测晶锭7。例如，施力杆52做顺时针的圆周运动时，转动轮323也随之做顺时针转动，相应的滚轮303做逆时针转动，从而使得待测晶锭7做顺时针转动。
33.其中，连动杆50的第一杆段501与第二旋转轴321同轴连接，第一杆段501和第二杆段503垂直，施力杆52与第二杆段503垂直，即施力杆52与第一杆段501平行，由此能够更好地将工作人员摇动施力杆52时的动力提供给第二旋转轴321，更为省力。
34.另外，由于工作人员摇动施力杆52时，施力杆52和工作人员的手部不断摩擦可能会导致工作人员的手部破皮。为此，在施力杆52外套设有握持套54，该握持套54能够绕施力杆52转动，从而施力杆52和握持套54构成旋转手柄，工作人员手握该握持套54进行摇动，使转动轮323转动时，工作人员的手部与握持套54由于摩擦力保持相对静止，从而避免了工作人员的手部破皮的伤害出现。同时，在握持套54的外周面上形成有摩擦纹路541，例如滚花等，从而增大了与工作人员手部的接触摩擦力，不仅更加省力，还能提高工作人员手握时的舒适感。
35.需要说明的是，在其他实施例中，驱动机构5也可以是电动或气动的驱动源，可以直接设置在槽体11内，驱动机构5的输出端与传动件32连接，即与第二旋转轴321的一端连接，从而通过驱使第二旋转轴321转动而使转动轮323带动滚轮303转动；当然驱动机构5也可以设置在基座10上，位于槽体11外，输出端穿过第一侧板12或第二侧板16，伸入槽体11内，通过传动齿轮、传动转轮等零件与传动件32的转动轮323连接，也能够实现转动轮323的转动。
36.在本实施例中，第一侧板12和第二侧板16分别对应于第二旋转轴321的位置还均设有垫圈，第二旋转轴321穿设于两个垫圈，从而降低摩擦力，更利于第二旋转轴321的转动，以起到省力作用。
37.综上，本发明实施例提供的检测装置，在进行晶锭7的外观质量检测时，可以将待测晶锭7放置在槽体11中，使得晶锭7侧面抵持于转动机构3，以此通过驱动机构5驱使转动机构3转动，转动机构3就能够带动待测晶锭7转动，使得紫外线灯照射待测晶锭7的侧面的不同区域，避免了工作人员的手部与紫外线光的直接接触，从而能够防止工作人员的手部受伤，更加安全。
38.以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。