检测传感器和包括该检测传感器的检测装置的制作方法

文档序号:29121999发布日期:2022-03-04 22:29阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种检测传感器,该检测传感器包括:可振动膜,所述可振动膜由压电膜构成,所述可振动膜被配置为用红外线照射并由此通过热电效应生成第一电信号,并且被配置成由声波振动并由此通过压电效应生成第二电信号;壳体,所述壳体容纳所述可振动膜并且包括透射部,所述透射部被配置为透射至少红外线并且相对于所述可振动膜设置在第一方向的一侧上以面向所述可振动膜,所述第一方向是所述可振动膜的厚度方向;以及电路板,所述电路板固定到所述壳体并且相对于所述可振动膜设置在所述第一方向的另一侧上,所述电路板具有声孔以通过所述声孔输入声波。2.一种检测传感器,该检测传感器包括:可振动膜,所述可振动膜由压电膜构成,所述可振动膜被配置为用红外线照射并由此通过热电效应生成第一电信号,并且被配置成由声波振动并由此通过压电效应生成第二电信号;壳体,所述壳体容纳所述可振动膜并且包括:顶板,所述顶板相对于所述可振动膜设置在第一方向的一侧上,所述第一方向是所述可振动膜的厚度方向;以及声孔,所述声孔处于所述顶板中以通过所述声孔输入声波;以及电路板,所述电路板固定到所述壳体,相对于所述可振动膜设置在所述第一方向的另一侧上并且包括透射部,所述透射部被配置为透射至少红外线并且相对于所述可振动膜设置在所述第一方向的另一侧上,以面向所述可振动膜。3.根据权利要求1或2所述的检测传感器,其中,在沿着与所述第一方向正交的第二方向的横截面中,所述声孔的尺寸小于所述透射部的尺寸。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检测传感器,其中,所述透射部由被配置为透射预定波长带中的红外线的光学滤波器构成。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的检测传感器,其中,所述可振动膜包括:膜主体,所述膜主体具有在所述第一方向的所述一侧上的第一面和在所述第一方向的所述另一侧上的第二面;第一电极,所述第一电极在所述膜主体的所述第一面上;以及第二电极,所述第二电极在所述膜主体的所述第二面上。6.根据权利要求1至5中的任一项所述的检测传感器,该检测传感器还包括场效应晶体管,所述场效应晶体管被配置为对从所述可振动膜接收的所述第一电信号和/或所述第二电信号执行阻抗转换,并且将经转换的第一电信号和/或经转换的第二电信号作为输出信号输出。7.一种检测装置,该检测装置包括:根据权利要求6所述的检测传感器;低通滤波器,所述低通滤波器被配置为从所述场效应晶体管接收所述输出信号,使所接收的输出信号中的通过对所述第一电信号进行阻抗转换而获得的频带内的信号通过,并且使比能够通过所述低通滤波器的所述信号的频带高的频带中的信号衰减;高通滤波器,所述高通滤波器被配置为使所述输出信号中的比能够通过所述低通滤波
器的所述信号的频带高的频带中的信号通过,并且使比能够通过所述高通滤波器的所述信号的频带低的频带中的信号衰减;以及控制器,所述控制器被配置为接收已经通过所述低通滤波器的信号和已经通过所述高通滤波器的信号,并且确定所述控制器是否仅从所述低通滤波器接收到信号。8.根据权利要求7所述的检测装置,其中,所述控制器还被配置为使得如果所述控制器确定所述控制器仅从所述低通滤波器接收到信号,则所述控制器对来自所述场效应晶体管的所述输出信号执行信号处理。9.根据权利要求7所述的检测装置,其中,所述控制器还被配置为使得如果所述控制器确定所述控制器仅从所述低通滤波器接收到信号,则所述控制器对已经通过所述低通滤波器的信号和已经通过所述高通滤波器的信号执行信号处理。

技术总结
检测传感器和包括该检测传感器的检测装置。本发明提供了防止污物、灰尘和/或水进入检测传感器。检测传感器S包括由压电膜构成的可振动膜(100)、容纳可振动膜(100)的壳体(200)以及电路板(300)。可振动膜(100)被配置为用红外线照射并且由此通过热电效应产生第一电信号,并且被配置为由声波振动并由此通过压电效应产生第二电信号。电路板(300)固定到壳体(200)并且相对于可振动膜(100)设置在Z’方向侧上。壳体(200)包括被配置为透射至少红外线的透射部(220)。透射部(220)相对于可振动膜(100)设置在Z方向侧,以面对可振动膜。Z-Z’方向是可振动膜的厚度方向。电路板具有声孔以通过声孔输入声波。过声孔输入声波。过声孔输入声波。


技术研发人员:松下勉 原野博之 粟村竜二 本永秀典 中西贤介
受保护的技术使用者:星电株式会社
技术研发日:2021.08.23
技术公布日:2022/3/3
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