技术特征：
1.一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：包括一号安装台(1)，所述一号安装台(1)上设置有横向纵向调节台(2)，所述横向纵向调节台(2)上设置有工作台(3)，所述工作台(3)的后侧位置设置有后部支架(4)，所述后部支架(4)上设置有观察镜筒(5)，所述一号安装台(1)上在位于工作台(3)的两侧位置设置有侧面下部安装管(6)，所述侧面下部安装管(6)内设置有内部活动杆(8)，所述内部活动杆(8)上端位置设置有侧面上部安装柱(7)，所述侧面下部安装管(6)之间设置有下部安装板(11)，所述下部安装板(11)上设置有一号螺杆(14)，所述一号螺杆(14)上活动安装有一号移动体(15)，所述侧面上部安装柱(7)之间设置有上部安装板(17)，所述上部安装板(17)的中部位置设置有二号转动杆(19)，所述上部安装板(17)和下部安装板(11)之间设置有斜向支撑板(20)，所述侧面上部安装柱(7)之间在位于上部安装板(17)的上方位置设置有两个上部滑杆(10)，所述上部滑杆(10)上设置有活动安装有中部活动块(24)，所述中部活动块(24)的上端位置设置有侧面安装台(22)，所述侧面安装台(22)的底面在位于中部活动块(24)的两侧设置有v形滑条(23)，所述工作台(3)的侧面位置设置有侧面收纳槽(28)，所述工作台(3)上在位于侧面收纳槽(28)的侧面位置设置有侧面收纳盒(29)，所述侧面收纳盒(29)内设置有折型托起杆(30)，所述折型托起杆(30)之间设置有上部连接杆(31)，所述折型托起杆(30)之间在位于上部连接杆(31)的下方位置设置有下部连接杆(32)，所述侧面收纳盒(29)内在位于上部连接杆(31)的上方位置设置有偏心杆(34)，所述偏心杆(34)上设置有偏心轮(36)。2.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述侧面安装台(22)底面设置的侧面上部安装柱(7)的数量均为两个，所述侧面上部安装柱(7)的上端位置设置有上部滑槽(9)，所述侧面安装台(22)通过v形滑条(23)与侧面上部安装柱(7)的上部滑槽(9)活动安装。3.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述二号螺杆(25)位于上部滑杆(10)之间位置，所述二号螺杆(25)上设置有两个侧面转动板(26)，所述侧面转动板(26)位于侧面上部安装柱(7)的内侧位置，所述二号螺杆(25)的外端位置设置有上部调节头(27)。4.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述下部安装板(11)上设置有两个一号侧面支撑板(12)，所述一号螺杆(14)上设置有连个一号轴承(13)，所述一号螺杆(14)通过一号侧面支撑板(12)与一号侧面支撑板(12)活动安装，所述一号螺杆(14)的外端位置设置有下部调节头(37)。5.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述中部活动块(24)上对应二号螺杆(25)的位置设置有螺孔，所述一号移动体(15)上对应一号螺杆(14)的位置同样设置有螺孔，所述中部活动块(24)上对应上部滑杆(10)的位置设置有设置有通孔。6.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述斜向支撑板(20)的上下端位置设置有转动管体(21)，所述斜向支撑板(20)通过转动管体(21)分别于一号转动杆(16)、二号转动杆(19)活动安装。7.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述二号转动杆(19)的两端位置设置有二号侧面支撑板(18)，且通过二号侧面支撑板(18)与上部安装板(17)固定安装。
8.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述折型托起杆(30)的数量为两个，且活动安装在侧面收纳槽(28)内，所述侧面收纳盒(29)两侧对应偏心杆(34)的位置设置有通孔，所述偏心杆(34)活动安装在侧面收纳盒(29)的通过内，所述偏心杆(34)的外端位置设置有侧面调节头(35)。9.根据权利要求1所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：所述下部连接杆(32)位于侧面收纳盒(29)的下方位置，所述折型托起杆(30)上在位于上部连接杆(31)的下方位置设置有内部弹簧(33)，所述内部弹簧(33)位于侧面收纳盒(29)内。
技术总结
本发明公开了一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括一号安装台，所述一号安装台上设置有横向纵向调节台，所述横向纵向调节台上设置有工作台，所述工作台的后侧位置设置有后部支架，所述后部支架上设置有观察镜筒，所述一号安装台上在位于工作台的两侧位置设置有侧面下部安装管，所述侧面下部安装管内设置有内部活动杆，所述内部活动杆上端位置设置有侧面上部安装柱，所述侧面下部安装管之间设置有下部安装板。本发明所述的一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，属于晶圆加工领域，设置的一号螺杆和二号螺杆等结构，便于将侧面安装台上下调节高度，水平调节位置，通过设置的折型托起杆等结构，能够将晶圆片托起，便于用户取出。用户取出。用户取出。
技术研发人员：杨凯翔
受保护的技术使用者：广东万维半导体技术有限公司
技术研发日：2021.11.29
技术公布日：2022/3/1