技术特征：
1.一种spm动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法，是应用于由高精度的压电微动平台、spm探针系统和计算机所组成的扫描平台中；在所述压电微动平台上放置有扫描对象，在所述扫描对象的上方设置有spm探针；其特征是，所述扫描测量方法是按如下步骤进行：步骤1、定义并初始化扫描参数，包括：固定步距为x，滑动窗口长度为n，阈值为z和系数为y，每行的采样点数为imax，采样行数为jmax，其中，x为两个采样点之间的间距；n表示滑动窗口中包含的采样点的个数，z表示滑动窗口内数据离散程度的理想值，y表示步距的调整尺度；步骤2、定义当前采样点数为i和当前采样行数为j；步骤3、初始化i＝1，j＝1；步骤4、定义扫描当前第j行第i个采样点的滑动窗口的方差为h
i,j
；定义扫描当前第j行第i个采样点的步距为x
i,j
；步骤5、计算第j行滑动窗口内的所有采样点的方差h
i,j
，当i＝1时，令h
i,j
＝z；步骤6、利用式(1)计算扫描当前第j行第i个采样点的步距x
i,j
：x
i,j
＝x+y
×
(z-h
i,j
)(1)步骤7、所述压电微动平台按照步距x
i,j
进行移动，并带动所述扫描对象达到第j行第i个测量点，从而利用spm探针对第j行第i个测量点上的扫描对象进行第j行第i次扫描，得到第j行第i个采样点；步骤8、判断i>n是否成立，若成立，则表示当前滑动窗口的采样点数达到n，并执行步骤9，否则执行步骤10；步骤9、将第i个采样点替换滑动窗口内的第i-n个采样点，从而使得所述滑动窗口向前移动一个采样点；步骤10、判断i>imax是否成立，若成立，则表示完成当前第j行的扫描，并执行步骤11，否则，将i+1赋值给i后，执行步骤5；步骤11、判断j>jmax是否成立，若成立，则表示扫描结束，否则，将j+1赋值给j，令i＝1后，执行步骤5。
技术总结
本发明公开了一种SPM动态自调整滑动窗口采样的扫描测量方法，其步骤包括：1初始化滑动窗口采样方法的扫描参数，2计算滑动窗口内的数据方差，3根据前一步的计算结果进行扫描参数的动态自调整，4根据调整后的参数扫描下一个点，5滑动窗口，6完成一行扫描，7按照上述扫描方式完成整体扫描。本发明能实现SPM等间距逐行逐点扫描速度的提高，同时通过动态自调整步进值和速度实现测量点合理分布的目的，从而提高了扫描图像的质量，对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。术具有一定的理论意义和实用价值。术具有一定的理论意义和实用价值。
技术研发人员：李振阳 黄强先 王雯茜 许健 张连生 程荣俊
受保护的技术使用者：合肥工业大学
技术研发日：2021.12.28
技术公布日：2022/4/12