一种集成电路固晶胶水厚度测量方法与流程

文档序号:29492849发布日期:2022-04-06 13:58阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于,包括以下步骤:s1:使用激光开盖机,激光去掉集成电路底部塑封体(1),漏出基岛(4);s2:用工具去掉集成电路底部基岛(4),漏出固晶胶(3);s3:用工具去掉集成电路芯片底部固晶胶(3),漏出芯片(2)底部;s4:使用光学测量显微镜,测量芯片(2)底部与塑封体(1)位置的高度差,得到样品固晶胶厚度值。2.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:用热风枪对基岛(4)的边缘吹风,热风枪的温度保持在一百二十度以上,且在吹动过程中,需要沿着基岛(4)与塑封体(1)的连接处缓慢摆动热风枪的枪头,让枪头对基岛(4)与塑封体(1)的连接处进行均匀的加热,加热过程中可以用镊子轻轻的戳塑封体(1),查看塑封体(1)是否软化,如果没有明显软化,还需要继续进行吹风加热,完全软化的话,用镊子沿着基岛(4)与塑封体(1)的连接处轻轻划开纹理,然后再用镊子捏住基道的一个拐角,沿着基岛(4)与塑封体(1)的连接处轻轻的将基岛(4)掀起,将基岛(4)取出,露出固晶胶(3)。3.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:在取出基岛(4)之后,应该要立刻对固晶胶(3)进行加热,由于此前对基岛的加热,此时固晶胶(3)也会出现软化,因此此时对固晶胶(3)加热清理,会更加容易。4.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:用热风枪吹固晶胶(3)区域,热风枪温度保持在一百二十度以上,吹风时间需要保持在三分钟以上,等待硬质的固晶胶(3)完全软化之后,首先用特制细小工具将中间区域的固晶胶(3)向中间集中,直到剩余的所有固晶胶(3)全部聚集到中间区域,然后用镊子夹取沾有酒精的棉花,将剩余的固晶胶(3)全部清理干净,最终露出芯片(2)。5.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:去除引线框架基岛(4)和芯片(2)底部固晶胶(3)后,漏出芯片(2)底部与线框架基岛(4)接触底部塑封面。6.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:使用光学高倍测量显微镜,分别对焦到芯片(2)背面及基岛(4)底部塑封料表面,计算这两者的高度差值,得到试验样品的固晶胶厚度值。7.根据权利要求1所述的一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,其特征在于:测量出芯片(2)背面及基岛(4)底部塑封料表面之间的间距之后,即得到了固晶胶(3)的厚度,根据固晶胶(3)的厚度进行对应验证以及查询。

技术总结
本发明涉及固晶胶水厚度测量领域,且公开了一种集成电路固晶胶水厚度测量方法,包括以下步骤:S1:使用激光开盖机,激光去掉集成电路底部塑封体,漏出基岛;S2:用工具去掉集成电路底部基岛,漏出固晶胶;用工具取出芯片底部固晶胶。现有的成品集成电路试验分析中,对固晶胶厚度测量,一般方法是将集成电路切割、打磨、抛光至镜面,在1000倍显微镜下对集成电路切面进行观察和直接测量,本方案与起进行对比可快速、大量的进行固晶胶厚度测量,排查固晶胶厚度原因造成的产线失效问题,且操作上更加便捷快速。快速。快速。


技术研发人员:伍江涛 叱晓鹏
受保护的技术使用者:深圳电通纬创微电子股份有限公司
技术研发日:2021.12.31
技术公布日:2022/4/5
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