技术特征：
1.一种半导体设备用测试机构，包括底座（1）、立柱（3）、顶板（6）、放置台（15）和万用表（16），其特征在于：所述底座（1）顶部通过安装槽安装有立柱（3）且立柱（3）顶部焊接有顶板（6），所述顶板（6）底部通过螺栓安装有电动位移滑台（7）且电动位移滑台（7）的位移端底部连接有伺服电缸（8），所述伺服电缸（8）的动力输出端连接有固定框板（9），所述固定框板（9）内顶部通过固定座安装有转动电机（10），所述转动电机（10）的动力输出端贯穿固定框板（9）且底部连接有机械手本体（11），所述立柱（3）一端焊接有导轨（12），所述导轨（12）内套设有导块（26），所述立柱（3）顶端一侧通过紧固螺钉（21）连接有导管（20）。2.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述放置台（15）位于机械手本体（11）下端，所述放置台（15）端部一侧连接有转轴（24），所述导块（26）一侧通过预留孔安装有轴套（22）且转轴（24）位于轴套（22）内，所述轴套（22）一端通过螺孔安装有锁紧螺钉（23），所述转轴（24）一端和底部均开设有与锁紧螺钉（23）对应的螺纹孔（25）。3.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述导轨（12）一侧开设有预留孔（13），所述预留孔（13）内设置有锁紧螺栓（14），所述导块（26）端部一侧开设有与锁紧螺栓（14）对应的螺纹槽，所述预留孔（13）的数量具体设置为多组且沿导轨（12）的高度方向呈均匀分布。4.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述放置台（15）顶部两端均焊接有固定块（17），所述固定块（17）顶部通过柔性金属管（18）连接有测试电极（19），所述测试电极（19）的电力输出端与万用表（16）的电力输入端通过导线构成电连接。5.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述底座（1）顶部两端均开设有安装孔（2），所述底座（1）与立柱（3）连接拐角处焊接有加强板（4）。6.根据权利要求1所述的一种半导体设备用测试机构，其特征在于：所述立柱（3）一端通过连接杆连接有plc控制器（5），所述plc控制器（5）的电力输出端与电动位移滑台（7）、伺服电缸（8）、转动电机（10）和机械手本体（11）的电力输入端通过导线构成电连接。
技术总结
本实用新型公开了一种半导体设备用测试机构，包括底座、立柱、顶板、放置台和万用表，所述底座顶部通过安装槽安装有立柱且立柱顶部焊接有顶板，所述顶板底部通过螺栓安装有电动位移滑台且电动位移滑台的位移端底部连接有伺服电缸，所述伺服电缸的动力输出端连接有固定框板，所述固定框板内顶部通过固定座安装有转动电机，所述转动电机的动力输出端贯穿固定框板且底部连接有机械手本体，所述立柱一端焊接有导轨。该新型能方便带动机械手水平竖直移动和转动，从而对半导体芯片进行上下料，测试用的平台能方便在不使用时进行收合，具备能方便对测试用电器的供电线进行导向的结构，适合广泛推广使用。广泛推广使用。广泛推广使用。
技术研发人员：宋文亮
受保护的技术使用者：天津鹏宏金属制品有限公司
技术研发日：2021.04.21
技术公布日：2021/12/14