一种芯片测试探针装置的制作方法

文档序号:29896904发布日期:2022-05-05 17:40阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种芯片测试探针装置,其特征在于,包括:底座(1)、顶板(14)、升降板(7),以及设于底座(1)上的电机(12),所述电机(12)上设有丝杆(13),所述底座(1)上开设有导轨(101),所述导轨(101)内滑动卡接有滑座(3),所述滑座(3)上设有导滚珠(31)、缓冲腔(4),所述缓冲腔(4)内设有缓冲座(5)、缓冲弹簧(41),所述缓冲座(5)上设有ipt帽杆(6),所述ipt帽杆(6)上设有芯片(61),所述升降板(7)上设有安装块(8),所述安装块(8)上设有锁止销(9)、探针电路板(2),所述探针电路板(2)上设有测试探针(21)。2.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述导滚珠(31)分为左右对称的两组,每组数量为三个并与导轨(101)的内壁滚动接触。3.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述导轨(101)和滑座(3)的侧截面均为t形状结构。4.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述缓冲座(5)滑接于缓冲腔(4)内,所述缓冲弹簧(41)设于缓冲座(5)和缓冲腔(4)内壁之间。5.根据权利要求1所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述安装块(8)上设有安装槽(81),所述安装槽(81)内设有防护垫(811),所述探针电路板(2)上开设有锁止槽(211),所述锁止销(9)穿过安装块(8)和防护垫(811)并与锁止槽(211)卡接。6.根据权利要求5所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述锁止销(9)上设有指钩环(92),所述指钩环(92)和安装块(8)之间设有弹簧(91)。7.根据权利要求5所述的一种芯片测试探针装置,其特征在于:所述锁止销(9)是以探针电路板(2)的竖向中轴线为中心左右对称的两个。

技术总结
本实用新型公开了一种芯片测试探针装置,包括底座、顶板、升降板,以及设于底座上的电机,电机上设有丝杆,底座上开设有导轨,导轨内滑动卡接有滑座,滑座上设有导滚珠、缓冲腔,缓冲腔内设有缓冲座、缓冲弹簧,缓冲座上设有IPT帽杆,IPT帽杆上设有芯片,升降板上设有安装块,安装块上设有锁止销、探针电路板,探针电路板上设有测试探针。提高了滑座以及具有芯片的IPT帽杆整体在导轨中的移动顺滑性和防脱性,可实现芯片对测试探针的下压顶力的有效缓冲卸力防护,避免测试探针硬性顶压芯片而造成芯片压伤的情况,实现探针电路板以及测试探针的整体方便拆卸并更换新的整体一套,进而提高了对芯片测试的精准质量。对芯片测试的精准质量。对芯片测试的精准质量。


技术研发人员:曾丹萍 秦超强
受保护的技术使用者:深圳市海芯微迅半导体有限公司
技术研发日:2021.12.14
技术公布日:2022/5/4
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