技术特征：
1.一种诊断设备，包括：探针模块，被配置为将探针光朝向正朝向靶空间行进的靶的靶轨迹引导，所述探针光具有限定沿着所述靶轨迹的探测距离d
p
的程度，并且所述探针光在当前靶进入所述靶空间之前与所述当前靶相互作用；以及检测模块，相对于所述探针模块布置，所述检测模块包括多个检测设备，每个检测设备被配置为检测所述当前靶的多个二维表示，所述当前靶的每个二维表示是由所述探针光与所述当前靶之间的所述相互作用产生的。2.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的所述二维表示是由在多个位置和时间在探针光与所述当前靶之间的所述相互作用产生的。3.根据权利要求1所述的诊断设备，还包括控制系统，所述控制系统与所述检测模块通信，并且所述控制系统被配置为分析来自所述检测模块的输出、并且基于所述分析来确定所述当前靶的一个或多个性质。4.根据权利要求3所述的诊断设备，其中所述控制系统被配置为向光源发送信号，以指令所述光源基于来自所述检测模块的所述输出来调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。5.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备包括相机、高速相机、电荷耦合器件、红外相机、互补金属氧化物半导体或光电二极管。6.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的每个二维表示包括遮蔽所述探针光的至少一部分的所述当前靶的阴影。7.根据权利要求1所述的诊断设备，其中在检测设备处检测到的所述当前靶的每个二维表示包括的光来自从所述当前靶的表面散射离开的所述探针光或所述当前靶的图像的反射。8.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针模块被配置为在所述当前靶与所述靶空间中的辐射脉冲相互作用之前将所述探针光朝向所述靶轨迹引导。9.根据权利要求1所述的诊断设备，还包括控制系统，所述控制系统与所述检测模块通信并且被配置为基于来自所述检测模块的所述输出在所有三个方向x、y、z上重建所述靶的轨迹。10.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针光包括一个或多个探针光束，每个探针光束在与所述靶相互作用时是准直光束。11.根据权利要求1所述的诊断设备，其中所述探针光包括一个或多个探针光束，每个探针光束是聚焦光束，使得所述探针光束的光束腰与所述靶轨迹重叠。12.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备具有的帧速率大于或等于生成并朝向所述靶空间引导的靶的速率。13.根据权利要求1所述的诊断设备，其中每个检测设备包括位于平面中的二维成像阵列，第一检测设备，具有位于由作为z方向的轴和作为位于xy平面中的轴的轴限定的平面中的第一二维成像阵列；和第二检测设备，具有位于由作为z方向的轴和位于xy平面中的另一轴限定的平面中的第二二维成像阵列。
14.一种诊断方法，包括：在当前靶到达靶空间之前，在沿着靶轨迹的多个位置使诊断光与所述当前靶相互作用；以及在多个不同图像平面中的每个图像平面处检测由于所述当前靶与沿所述靶轨迹的多个位置处的所述诊断光之间的相互作用而产生的所述当前靶的多个二维表示。15.根据权利要求14所述的诊断方法，其中在沿所述靶轨迹的所述多个位置处使所述诊断光与所述当前靶相互作用包括：在先前和相邻靶已经进入所述靶空间之后，使所述诊断光与所述当前靶相互作用。16.根据权利要求14所述的诊断方法，还包括基于在所述多个不同图像平面中的每个图像平面处的所述多个二维表示的检测，来确定所述当前靶的定位、速度、速率和加速度中的一个或多个。17.根据权利要求14所述的诊断方法，还包括：基于在所述多个不同图像平面中的每个图像平面处对所述多个二维表示的检测，来确定所述当前靶的一个或多个性质；以及向光源发送信号，以指令所述光源基于所述一个或多个性质的所述确定来调节被引导到所述靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。18.根据权利要求17所述的诊断方法，其中所述诊断光与所述当前靶的相互作用发生在所述辐射脉冲与所述靶空间中的所述当前靶之间的相互作用之前。19.一种诊断设备，包括：探针模块，被配置为将探针光朝向正朝向靶空间行进的靶的靶轨迹引导，所述探针光具有限定沿着所述靶轨迹的探测距离d
p
的程度，并且所述探针光在当前靶进入所述靶空间之前与所述当前靶相互作用；检测模块，相对于所述探针模块布置，所述检测模块包括多个检测设备，每个检测设备被配置为检测所述当前靶的多个二维表示，所述当前靶的每个二维表示是由所述探针光与所述当前靶之间的所述相互作用产生的；和控制系统，所述控制系统与所述探针模块以及所述检测模块通信，所述控制系统包括分析模块，所述分析模块配置为：从所述检测模块接收检测到的所述二维表示；在每个二维表示中标识一个或多个感兴趣区域，其中每个感兴趣区域对应于所述当前靶的位置；以及计算每个感兴趣区域的面积和质心。20.根据权利要求19所述的诊断设备，其中所述控制系统包括触发源，所述触发源被配置为向所述检测模块提供一个或多个触发信号，所述触发信号指令所述检测设备记录相应的二维表示。
技术总结
描述了一种用于测量当前靶在其沿着轨迹朝向靶空间行进时的移动性质的方法。该方法包括：在当前靶进入靶空间之前检测由于当前靶与多个诊断探针中的每一个诊断探针之间的相互作用而产生的光的多个二维表示；基于对检测到的光的多个二维表示的分析来确定当前靶的一个或多个移动性质，该确定在当前靶进入靶空间之前完成；以及，如果所确定的当前靶的一个或多个移动性质在可接受范围之外，则调节被引导到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。到靶空间的辐射脉冲的一个或多个特性。
技术研发人员：塞尼克里姆延 C
受保护的技术使用者：ASML荷兰有限公司
技术研发日：2017.09.07
技术公布日：2022/5/31