技术特征：
1.一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）上设有电动导轨（2），所述电动导轨（2）上设有模组支架（4），所述模组支架（4）上可拆卸式设有激光模组（6），且所述模组支架（4）的上方升降设置有用于压测所述激光模组（6）的检测件（5）；其中，所述模组支架（4）上用于安装所述激光模组（6）的位置开设有出光窗口（40），且所述模组支架（4）的两侧分设有积分球（3）和光学组件，所述积分球（3）和所述光学组件均设于所述电动导轨（2）上，且所述积分球（3）和所述光学组件的入光端均位于所述出光窗口（40）的下方，所述检测件（5）包括驱动板（50），所述驱动板（50）的板体内部设有驱动电路，且所述驱动板（50）的板体上设有阴极探针（51），所述阴极探针（51）的两侧均阵列设置有若干个阳极探针（52），所述阴极探针（51）以及若干个所述阳极探针（52）均电连接于所述驱动电路，且分设于阴极探针（51）两侧的若干个所述阳极探针（52）按照一一对应的方式分成若干组分区探针，且若干组分区探针分别电连接于所述驱动电路。2.如权利要求1所述的一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，其特征在于：所述激光模组（6）包括壳体基座（60），所述壳体基座（60）的下端面向内凹陷形成有焊接腔（61），且所述壳体基座（60）的上端面设有阴极焊盘（65），位于所述阴极焊盘（65）两侧的所述壳体基座（60）的上端面向内凹陷形成有若干个压测腔，若干个所述压测腔内均设有阳极焊盘（64），所述阳极焊盘（64）上固设有金丝键（63），且所述焊接腔（61）内可拆卸容置有面阵芯片（62），所述面阵芯片（62）通过所述键合金丝（63）和所述阳极焊盘（64）电连接，所述的面阵芯片（62）通过银浆或者金锡焊料和所述的阴极焊盘（65）相连接。3.如权利要求2所述的一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，其特征在于：所述面阵芯片（62）包括若干个子单元（620），若干个所述子单元（620）依次拼接而成，且若干个所述子单元（620）的两端均设有子单元焊盘（621），所述子单元焊盘（621）和所述金丝键（63）固定连接。4.如权利要求1所述的一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，其特征在于：所述光学组件包括相机（8），以及固设于相机（8）拍摄一侧的白板（7），所述相机（8）和所述白板（7）间隔设置。5.如权利要求3或4所述的一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，其特征在于：所述驱动电路（1001）包括若干组动力电路，若干组动力电路分别连接对应的阳极探针（52），且若干组动力电路均电连接于所述负极探针（50）上。6.如权利要求5所述的一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置，其特征在于：所述动力电路包括芯片u104,所述芯片u104的第1引脚与电阻r399的第一端相连且连接至电源5v，电阻r399的第二端和电容c530的第一端相连，电容c530的第二端连接至芯片u104的第2引脚和第8引脚且接地，芯片u104的第11引脚和第16引脚相连且连接至内置电源5v，且芯片u104的第16引脚与电容c589的第一端、电容c590的第一端、电阻r356的第一端以及电感l108的第一端均相连，电感l108的第二端与电容c438的第一端、电容c440的第一端连接，且连接至比较器u94的第4引脚，电容c438的第二端与电容c440的第二端连接且连接至比较器u94的第6引脚，电容c589的第二端和电容c590的第二端相连且连接至芯片u104的第15引脚，电阻r356的第二端与电阻r357的第一端、电池c177的第一端、电容c184的第一端以及电感l109的第一端相连，且连接至内置电源2.5v，电感l109的第二端与电容c439的第一端相连，电容c439的第二端、电容c184的第二端、电容c177的第二端和电阻r357的第二端
相连，且连接至芯片u104的第15引脚，电感l109的第二端与比较器u94的第一引脚连接，比较器u94的第3引脚与电容c441、电阻r256的第一端相连，电阻r256的第二端与电阻r355的第一端连接且连接至芯片u104的第14引脚，电阻r355的第二端与电容c441的第二端相连，且连接至比较器u94的第2引脚，比较器u94的第2引脚与芯片u104的第9引脚以及电容c442的第二端相连接，且比较器u94的第5引脚与电阻r254的第一端、电阻r253的第一端、电阻r258的第一端以及电阻r257的第一端相连接，电阻r253的第二端和电阻r254的第二端、电容c444的第一端相连，且连接至芯片u8的第1引脚，电阻r258的第二端和电阻r257的第二端、电容c442的第一端相连，且连接至芯片u8的第3引脚，电容c442的第二端连接至芯片u104的第9引脚，电容c444的第二端与电容c443的第一端相连，电容c443的第二端与电感l110的第一端连接，且电容c443的第二端连接至芯片u8的第4引脚，电感l110的第二端连接至内置电源2.5v，且电感l110的第一端与芯片u8的第2引脚相连接，芯片u8的第8引脚与电感l4的第一端、电容c12的第一端连接，电感l4的第二端连接至内置电源5v，芯片u8的第7引脚、第6引脚、第9引脚分别连接至芯片u7的第1引脚、第2引脚和第3引脚，电感l4的第二端与电感l5的第一端、电容c15的第一端、电容c11的第一端相连，且连接至芯片u9的a1引脚上，电感l5的第二端与电容c16的第一端连接，且连接至芯片u7的第6引脚上，电容c16的第二端与电容c15的第二端、电容c11的第二端连接，且连接至芯片u9的b1引脚上，芯片u7的第4引脚和芯片u9的c1引脚相连接，芯片u9的a2引脚与gan mos管u11的第1引脚相连，且芯片u9的b2引脚与电阻r9的第一端连接，电阻r9的第二端与电阻r358的第一端相连，芯片u9的c2引脚与电阻r11的第一端连接，电阻r11的第二端浮地设置，且电阻r11的第二端与gan mos管u11的第2引脚、第4引脚、第6引脚、第8引脚和第10引脚均相连，且gan mos管u11的第2引脚于二极管d1的正极相连，二极管d1的负极与电阻r11的第二端连接，且二极管d1的正极连接有用于与阳极探针52电连接的正极引脚，且二极管d1的负极连接有用于与阴极探针51电连接的负极引脚，gan mos管u11的第11引脚、第9引脚、第7引脚、第5引脚和第3引脚相连。7.基于权利要求1-6中任一项所述一种多分区列选通vcsel面阵激光模组的测试装置的测试方法，其特征在于：包括如下具体步骤： s1、将面阵芯片（62）通过所述键合金丝（63）和所述阳极焊盘（64）电连接，获得组合件； s2、将组合件放置于模组支架（4）上的出光窗口（40）的上方，再将检测件（5）的若干个阳极探针（52）插装于对应的压测腔内，此时，检测件（5）的阴极探针（51）和所述阴极焊盘（65）连接； s3、分设于阴极探针（51）两侧的各一个阳极探针（52）为一组，且每一组均连接有驱动电路，在进行检测时，单独驱动所需组别的驱动电路进行检测； s4、在通过积分球（3）测量激光器的光功率和光谱仪，通过光学组件测量激光模组（6）的近场光斑和远场光散角以及光强分布特性。
技术总结
一种多分区列选通VCSEL面阵激光模组的测试装置及其方法，属于光电器件测试技术领域，包括底板，底板上设有电动导轨，电动导轨上设有模组支架，模组支架上可拆卸式设有激光模组，且模组支架的上方升降设置有用于压测激光模组的检测件；模组支架上用于安装激光模组的位置开设有出光窗口，且模组支架的两侧分设有积分球和光学组件，积分球和光学组件均设于电动导轨上，且积分球和光学组件的入光端均位于出光窗口的下方；检测件包括驱动板，驱动板的板体内部设有多个驱动电路，且驱动板的板体上设有阴极探针，阴极探针的两侧均阵列设置有若干个阳极探针，阴极探针以及若干个阳极探针均电连接于驱动电路，且两个阳极探针通过阴极探针对应电连接一个驱动电路。针对应电连接一个驱动电路。针对应电连接一个驱动电路。
技术研发人员：丛海兵 陶良泽 巩少斌 林宇山
受保护的技术使用者：杭州晟创激光科技有限公司
技术研发日：2022.04.11
技术公布日：2022/7/1