用于参考切换的光学系统的制作方法

文档序号:30699231发布日期:2022-07-09 18:59阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种用于确定样本的属性的系统,所述系统包括:一个或多个光源;检测器阵列;和第一衬底,包括:照明光学器件,被配置为接收由所述一个或多个光源发射的光并且将所述光朝向所述样本重定向;以及第一收集光学器件,被配置为接收所述光的返回光的至少一部分并且将所述光朝向所述检测器阵列重定向;第二衬底,包括:第二收集光学器件,包括透镜并且被配置为接收所述光的所述返回光的所述至少一部分,并且将所述光的所述返回光的所述至少一部分重定向至所述第一收集光学器件,其中:所述照明光学器件和所述第一收集光学器件形成在所述第一衬底的一个或多个表面上;所述检测器阵列被配置为检测由所述第一收集光学器件重定向的所述光,并且生成指示所述样本的所述属性的一个或多个信号。2.根据权利要求1所述的系统,其中所述第二收集光学器件被集成到所述第二衬底。3.根据权利要求1所述的系统,还包括:介质,位于所述第一衬底和所述第二衬底之间,其中所述介质具有折射率,所述折射率使得所述光离开所述第一收集光学器件的角度相对于所述光入射到所述第二收集光学器件的角度减小。4.根据权利要求1所述的系统,还包括:介质,位于所述第一衬底和所述检测器阵列之间,其中所述介质为提供机械支撑的共形绝缘材料。5.根据权利要求1所述的系统,还包括:孔隙层,所述孔隙层包括一个或多个开口,所述一个或多个开口被配置为选择性地允许所述光通过而到达所述第一收集光学器件。6.根据权利要求5所述的系统,其中所述孔隙层形成在所述第二衬底的所述一个或多个表面上。7.根据权利要求5所述的系统,其中所述孔隙层形成在所述第一衬底的所述一个或多个表面上。8.根据权利要求5所述的系统,其中所述孔隙层被定位成远离所述第一衬底一个焦距。9.根据权利要求1所述的系统,其中所述第一衬底位于所述样本和所述检测器阵列之间。10.根据权利要求1所述的系统,其中所述第一收集光学器件被集成到所述第一衬底中。11.根据权利要求1所述的系统,还包括:外耦合器,被配置为:接收由所述一个或多个光源发射的所述光;以及将所述光朝向所述照明光学器件重定向,其中所述外耦合器接触所述第一衬底的所述
一个或多个表面中的一个表面。12.根据权利要求11所述的系统,其中所述外耦合器形成在第三衬底上,并且所述第三衬底比所述检测器阵列离所述第一衬底更近。13.一种用于确定样本的属性的方法,所述方法包括:使用照明光学器件接收由一个或多个光源发射的光并且将所述光朝向所述样本重定向,所述照明光学器件形成在第一衬底的一个或多个表面上;使用形成在第二衬底的一个或多个表面上的第二收集光学器件接收所述光的返回光的至少一部分,所述第二收集光学器件包括透镜;使用所述第二收集光学器件将所述光的所述返回光的所述至少一部分重定向至第一收集光学器件;使用第一收集光学器件接收所述光的返回光的所述至少一部分并且将所述光朝向检测器阵列重定向,所述第一收集光学器件形成在所述第一衬底的所述一个或多个表面上;使用所述检测器阵列检测由所述第一收集光学器件重定向的所述光;以及使用所述检测器阵列生成指示所述样本的至少一些属性的一个或多个信号。14.根据权利要求13所述的方法,还包括:减小所述光由所述第一收集光学器件重定向的角度。15.根据权利要求13所述的方法,还包括:使用孔隙层选择性地允许由所述第一收集光学器件重定向的所述光通过。16.根据权利要求13所述的方法,还包括:接收由所述第一收集光学器件重定向的所述光并且将所述光朝向第二收集光学器件重定向。

技术总结
本公开涉及用于参考切换的光学系统,具体公开了一种用于确定样本的属性的系统。系统包括一个或多个光源、检测器阵列、第一衬底和第二衬底。第一衬底包括照明光学器件和第一收集光学器件。照明光学器件被配置为接收由一个或多个光源发射的光并且将光朝向样本重定向。第一收集光学器件被配置为接收光的返回光的至少一部分并且将光朝向检测器阵列重定向。第二衬底包括第二收集光学器件。第二收集光学器件包括透镜并且被配置为接收光的返回光的至少一部分,并且将光的返回光的至少一部分重定向至第一收集光学器件。照明光学器件和第一收集光学器件形成在第一衬底的一个或多个表面上。检测器阵列被配置为检测由第一收集光学器件重定向的光,并且生成指示样本的属性的一个或多个信号。多个信号。多个信号。


技术研发人员:M
受保护的技术使用者:苹果公司
技术研发日:2017.04.13
技术公布日:2022/7/8
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1