技术特征：
1.一种带有椭球形反射镜的样品台，其特征在于：包括样品台本体和反射面向上的椭球形反射镜，所述椭球形反射镜的底部沿所述样品台本体的四周与所述样品台本体连接，所述椭球形反射镜的下侧焦点位于所述样品台本体的承载面上。2.根据权利要求1所述的带有椭球形反射镜的样品台，其特征在于：所述椭球形反射镜的反射面上设置有镀金层。3.根据权利要求2所述的带有椭球形反射镜的样品台，其特征在于：所述镀金层的厚度为0.3～0.6微米。4.一种扫描电子显微镜，包括样品台和同轴电子探测器，其特征在于：所述样品台为根据权利要求1-3任一所述的样品台，所述同轴电子探测器设置在所述椭球形反射镜的上侧焦点的下方。5.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述同轴电子探测器的有效探测区域的正投影与所述椭球形反射镜顶部开口的正投影重合。6.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒内。7.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒外。8.根据权利要求7所述的扫描电子显微镜，其特征在于：所述同轴电子探测器位于所述扫描电子显微镜的镜筒下方。
技术总结
本实用新型公开了一种带有椭球形反射镜的样品台及具有该样品台的扫描电子显微镜，该样品台包括样品台本体和椭球形反射镜，椭球形反射镜的底部沿样品台本体的四周与其连接，椭球形反射镜的下侧焦点位于样品台本体的承载面上。本实用新型提供的带有椭球形反射镜的样品台及具有该样品台的扫描电子显微镜，利用椭球形反射镜所具有的从其中一个焦点发射的光或电子会在另一焦点会聚的特性，对超过同轴电子探测器探测尺寸的信号电子进行会聚，使其向同轴电子探测器探测尺寸内反射，提高同轴电子探测器的探测效率，并且可以代替在样品台添加反向电场的方案。反向电场的方案。反向电场的方案。
技术研发人员：李晓昂 张松涛 杨润潇
受保护的技术使用者：惠然科技有限公司
技术研发日：2022.03.16
技术公布日：2022/7/28