一种单晶硅生产用分选仪的制作方法

文档序号:31438441发布日期:2022-09-07 00:50阅读:145来源:国知局
一种单晶硅生产用分选仪的制作方法

1.本实用新型涉及单晶硅生产技术领域,具体为一种单晶硅生产用分选仪。


背景技术:

2.单晶硅片:硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999%或以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。
3.在传统单晶硅晶片检测装置中,如申请号: 201720531819.x;名为:单晶硅晶片检测仪。该装置包括:工作台、x射线发生器和x射线光闸,工作台水平设置,x射线发生器固定设置在工作台的上端面的左端,x射线光闸固定装设在x射线发生器的右端面上。在定位轴的上端面上固定连接有闪烁探测器管夹,闪烁探测器设置在闪烁探测器管夹的夹持部分内。该实用新型具有不破坏单晶硅晶片样品、使用方便、结构简单、定向精度高等优点。
4.但是,该单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构,因为放置取出不便,造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题;因此,不满足现有的需求,对此我们提出了一种单晶硅生产用分选仪。


技术实现要素:

5.本实用新型的目的在于提供一种单晶硅生产用分选仪,以解决上述背景技术中提出的现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构,因为放置取出不便,造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶硅生产用分选仪,包括光学分析仪,所述光学分析仪的上端设置有透镜仓,且透镜仓与光学分析仪焊接连接,所述透镜仓的上端设置有硅片仓,且硅片仓与透镜仓一体成型设置,所述硅片仓的上方设置有遮光密封盖,所述遮光密封盖的上端设置有把手,且把手与遮光密封盖螺栓固定连接;
7.还包括:
8.硅片放置板,其设置在所述透镜仓的内部,且硅片放置板的一端下方与透镜仓的内壁转轴连接;
9.高度调节电机,其设置在远离所述硅片放置板与透镜仓内壁转轴连接处的一端,且高度调节电机的输出端与硅片放置板传动连接,所述硅片放置板的内部设置有硅片检测孔,且硅片检测孔与硅片放置板一体成型设置;
10.限位板,其设置在所述高度调节电机的上方内侧,且限位板与硅片放置板螺栓固定连接。
11.优选的,所述限位板的上端设置有磁吸硅片压块,且磁吸硅片压块与限位板磁吸连接。
12.优选的,所述磁吸硅片压块的内侧下端设置有防刮花橡胶垫,且防刮花橡胶垫与磁吸硅片压块胶黏连接。
13.优选的,所述硅片放置板与透镜仓内壁转轴连接处的竖直上方设置有u型挡板,且u型挡板与硅片放置板螺栓固定连接。
14.优选的,所述透镜仓的内部设置有防尘密封透镜,且防尘密封透镜与透镜仓的内壁卡槽密封固定连接。
15.优选的,所述光学分析仪的一侧设置有连接杆,且连接杆与光学分析仪螺栓连接,所述连接杆的一侧设置有螺栓固定台,且螺栓固定台与连接杆固定连接。
16.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
17.1、本实用新型通过透镜仓、硅片仓、硅片放置板、高度调节电机、限位板、磁吸硅片压块、防刮花橡胶垫、u型挡板、硅片检测孔的设置,将遮光密封盖提起取下磁吸硅片压块,硅片放置板斜向太高姿态,之后将单晶硅片的一端斜插入u型挡板的内部槽中,之后将单晶硅片放入硅片放置板中的环槽中,之后将磁吸硅片压块放置在限位板的上端,因为磁吸硅片压块具有磁吸性能,使得磁吸硅片压块能够磁吸连接在限位板的上端,之后高度调节电机驱动硅片放置板角度调节,使得硅片放置板的夹角调节至水平,若要取出硅片放置板内部的单晶硅片时,高度调节电机驱动抬高硅片放置板,使得单晶硅片更容易被取出,解决了现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构,因为放置取出不便,造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题。
18.2、通过遮光密封盖、把手、连接杆、螺栓固定台的设置,遮光密封盖极大提高了光学分析仪上方的遮光性能,防止外部光线对检测结果的影响,提高了单晶硅片的检测准确性和精度,连接杆和螺栓固定台极大提高了光学分析仪安装的稳定性,使得螺栓固定台能够牢牢螺栓固定的平台上,减少晃动对检测结果的影响。
附图说明
19.图1为本实用新型的整体结构示意图。
20.图2为本实用新型的透镜仓、硅片仓内部结构示意图。
21.图3为本实用新型的硅片放置板俯视结构示意图。
22.图4为本实用新型的a处局部放大图。
23.图中:1、光学分析仪;2、透镜仓;3、硅片仓;4、连接杆;5、螺栓固定台;6、遮光密封盖;7、把手;8、防尘密封透镜;9、硅片放置板;10、高度调节电机;11、限位板;12、磁吸硅片压块;13、防刮花橡胶垫;14、u型挡板;15、硅片检测孔。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
25.请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种单晶硅生产用分选仪,包括光学分析仪1,光学分析仪1的上端设置有透镜仓2,且透镜仓2与光学分析仪1焊接连接,透镜仓2的上端设置有硅片仓3,且硅片仓3与透镜仓2一体成型设置,硅片仓3的上方设置有遮光密封盖6,遮光密封盖6的上端设置有把手7,且把手7与遮光密封盖6螺栓固定连接;
26.还包括:
27.硅片放置板9,其设置在透镜仓2的内部,且硅片放置板9的一端下方与透镜仓2的内壁转轴连接;
28.高度调节电机10,其设置在远离硅片放置板9与透镜仓2内壁转轴连接处的一端,且高度调节电机10的输出端与硅片放置板9传动连接,硅片放置板9的内部设置有硅片检测孔15,且硅片检测孔15与硅片放置板9一体成型设置;
29.限位板11,其设置在高度调节电机10的上方内侧,且限位板11与硅片放置板9螺栓固定连接。
30.进一步,限位板11的上端设置有磁吸硅片压块12,且磁吸硅片压块12与限位板11磁吸连接,磁吸硅片压块12方便将下方的单晶硅片夹紧固定。
31.进一步,磁吸硅片压块12的内侧下端设置有防刮花橡胶垫13,且防刮花橡胶垫13与磁吸硅片压块12胶黏连接,防刮花橡胶垫13有效防止单晶硅片的磁吸硅片压块12夹紧端被刮花损坏。
32.进一步,硅片放置板9与透镜仓2内壁转轴连接处的竖直上方设置有u型挡板14,且u型挡板14与硅片放置板9螺栓固定连接,u型挡板14用以硅片放置板9斜向设置时为单晶硅片的承托结构。
33.进一步,透镜仓2的内部设置有防尘密封透镜8,且防尘密封透镜8与透镜仓2的内壁卡槽密封固定连接,防尘密封透镜8有效提高了光学分析仪1上方的密封性。
34.进一步,光学分析仪1的一侧设置有连接杆4,且连接杆4与光学分析仪1螺栓连接,连接杆4的一侧设置有螺栓固定台5,且螺栓固定台5与连接杆4固定连接,连接杆4和螺栓固定台5极大提高了光学分析仪1安装的稳定性,使得螺栓固定台5能够牢牢螺栓固定的平台上,减少晃动对检测结果的影响。
35.工作原理:使用时,将遮光密封盖6提起取下磁吸硅片压块12,硅片放置板9斜向太高姿态,之后将单晶硅片的一端斜插入u型挡板14的内部槽中,之后将单晶硅片放入硅片放置板9中的环槽中,之后将磁吸硅片压块12放置在限位板11的上端,因为磁吸硅片压块12具有磁吸性能,使得磁吸硅片压块12能够磁吸连接在限位板11的上端,之后高度调节电机10驱动硅片放置板9角度调节,使得硅片放置板9的夹角调节至水平,若要取出硅片放置板9内部的单晶硅片时,高度调节电机10驱动抬高硅片放置板9,使得单晶硅片更容易被取出,解决了现有单晶硅生产用分选仪硅晶片放置结构,因为放置取出不便,造成放置取出困难且易对单晶硅片造成划伤风险的问题,遮光密封盖6极大提高了光学分析仪1上方的遮光性能,防止外部光线对检测结果的影响,提高了单晶硅片的检测准确性和精度,连接杆4和螺栓固定台5极大提高了光学分析仪1安装的稳定性,使得螺栓固定台5能够牢牢螺栓固定的平台上,减少晃动对检测结果的影响。
36.对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
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