物理量检测装置用电路、物理量检测装置、电子设备以及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种物理量检测装置用电路、物理量检测装置、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]已知一种物理量检测装置，其使用水晶振子(压电振子)或MEMS (Micro ElectroMechanical Systems,微机电系统)振子等的振子,而对角速度或加速度等的物理量进行检测。
[0003]例如，在角速度检测装置中，通常振子的驱动用频率与检测用频率有所不同，因此，当通过驱动信号而对从振子输出的检测信号进行检波时，由驱动用频率与检测用频率的差即失调频率所形成的失调频率成分会作为无用的波而产生。例如在角速度检测装置上被施加了较大的冲击而使失调频率成分变大时，会出现后部的放大电路饱和从而无法得出正确的输出结果的情况。
[0004]在专利文献I中公开了一种角速度传感器，所述角速度传感器通过以包括有源滤波器的方式而构成的噪声去除单元，从而从利用同步检波器而被同步检波后的信号中去除失调频率的成分。
[0005]在专利文献I所公开的结构中，由于在与放大器相比而靠前的前部处设置了有源滤波器，因此由有源滤波器内的晶体管所导致的噪声也会在与放大器相比而靠前的前部处产生。因此，存在由有源滤波器所产生的噪声被放大器放大并被输出的问题。
[0006]专利文献1:日本特开2008 - 256668号公报
【发明内容】
[0007]本发明为鉴于以上技术性问题而完成的发明。根据本发明的几种方式，能够提供一种可在抑制由滤波器而引起的噪声的同时抑制失调频率成分的物理量检测装置用电路、物理量检测装置、电子设备以及移动体。
[0008]应用例I
[0009]本应用例所涉及的物理量检测装置用电路，包括:驱动部，其生成使振子进行振动的驱动信号；检波部，其根据所述驱动信号而对从所述振子被输出的检测信号进行检波；无源滤波器，其具有截止频率低于失调频率、并将高于所述截止频率的频带包含于截止带中的滤波器特性，并且被输入来自所述检波部的信号；放大部，其对来自所述无源滤波器的信号进行放大。
[0010]根据本应用例，能够通过无源滤波器来抑制来自检波部的信号中所含有的失调频率成分，其中，所述无源滤波器具有截止频率低于失调频率、并将高于所述截止频率的频带包含于截止带中的滤波器特性，并且被输入来自所述检波部的信号。此外，由于通过使用无源滤波器从而不会产生由晶体管而引起的噪声，因此与使用有源滤波器的情况相比，能够抑制由滤波器引起的噪声。
[0011]应用例2
[0012]在上述的物理量检测装置用电路中，优选为，所述截止频率为所述失调频率的1/2以下。
[0013]根据本应用例，能够进一步抑制从检波部被输出的信号中所含有的失调频率的成分。
[0014]应用例3
[0015]在上述的物理量检测装置用电路中，优选为，所述无源滤波器为一次CR滤波器。
[0016]根据本应用例，能够用简单的电路结构构成无源滤波器。
[0017]应用例4
[0018]在上述的物理量检测装置用电路中，优选为，所述无源滤波器为二次以上的CR滤波器。
[0019]根据本应用例，由于与一次的CR滤波器相比能够获得在高于截止频率的频带中急剧衰减的滤波器特性，因此能够有效地抑制失调频率成分。
[0020]应用例5
[0021]在上述的物理量检测装置用电路中，更优选为，包括滤波器部，所述滤波器部对从所述放大部被输出的信号进行滤波。
[0022]根据本应用例，即使在放大部的后部，也能够进一步抑制失调频率成分。此外，能够对由于检波部的检波而产生的高次谐波成分进行抑制。此外，例如，在使用开关电容滤波器而构成滤波器部的情况下，放大部的前部的无源滤波器还作为针对滤波器部的起抗锯齿滤波器而发挥功能。
[0023]应用例6
[0024]在上述的物理量检测装置用电路中，更优选为，包括:半导体基板；布线，其被设置在所述半导体基板上，并将所述无源滤波器与所述放大部电连接；第一屏蔽用布线，其与所述布线分离地被设置在所述半导体基板上，并在俯视观察时与所述布线的至少一部分并列地设置。
[0025]根据本应用例，由于具有第一屏蔽用布线，因此能够抑制外来噪声进入到被输入放大部的信号中的情况。
[0026]应用例7
[0027]在上述的物理量检测装置用电路中，更优选为，包括第二屏蔽用布线，所述第二屏蔽用布线与所述布线分离地被设置在所述半导体基板上，并在俯视观察时与所述布线的至少一部分并列地设置，所述布线的至少一部分在俯视观察时，被设置在所述第一屏蔽用布线与所述第二屏蔽用布线之间。
[0028]根据本应用例，由于对无源滤波器与放大部进行连接的布线被设置在第一屏蔽用布线与第二屏蔽用布线之间，因此能够抑制外来噪声进入到被输入放大部的信号中的情况。
[0029]应用例8
[0030]在上述的物理量检测装置用电路中，更优选为，包括第三屏蔽用布线，所述第三屏蔽用布线与所述布线分离地被设置在所述半导体基板上，并在俯视观察时以与所述布线的至少一部分重叠的方式而设置。
[0031]根据本应用例，由于具有第三屏蔽用布线，因此能够抑制外来噪声进入到被输入放大部的信号中的情况。
[0032]应用例9
[0033]在上述的物理量检测装置用电路中，更优选为，包括保护环，所述保护环被设置在所述半导体基板上，并在俯视观察时以将所述物理量检测用电路中所包括的电路的一部分包围的方式而设置，所述第一屏蔽用布线、所述第二屏蔽用布线以及所述第三屏蔽用布线中的至少一个与所述保护环电连接。
[0034]根据本应用例，由于第一屏蔽用布线、第二屏蔽用布线以及第三屏蔽用布线中的至少一个布线与保护环电连接，且所述保护环通常情况下与稳定的电位电连接，因此能够以稳定的电位而对将无源滤波器与放大部电连接的布线进行屏蔽。
[0035]应用例10
[0036]本应用例所涉及的物理量检测装置为，包括上述的任意的物理量检测装置(原文有误，应当为物理量检测装置用电路)和振子的物理量检测装置。
[0037]根据本应用例，由于包括能够在抑制由滤波器引起的噪声的同时抑制失调频率成分的物理量检测装置用电路，因此能够实现工作可靠性较高的物理量检测装置。
[0038]应用例11
[0039]本应用例所涉及的电子设备为，包括上述的任意的物理量检测装置用电路或上述的任意的物理量检测装置的电子设备。
[0040]应用例12
[0041]本应用例所涉及的移动体为，包括上述的任意的物理量检测装置用电路或上述的任意的物理量检测装置的移动体。
[0042]根据这些应用例所涉及的电子设备以及移动体，由于包括能够在抑制由滤波器引起的噪声的同时抑制失调频率成分的物理量检测装置用电路，因此能够实现工作可靠性较高的电子设备以及移动体。
【附图说明】
[0043]图1为表示本实施方式所涉及的物理量检测装置I的一个示例的电路框图。
[0044]图2为表示振子10的一个示例的俯视图。
[0045]图3为表示振子10的一个示例的俯视图。
[0046]图4(A)以及图4(B)为表示无源滤波器32的结构例的电路图。
[0047]图5 (A)为模式化地表示本实施方式所涉及的物理量检测装置用电路5的一部分的俯视图。图5(B)为图5(A)的A — A’线处的示意放大剖视图。
[0048]图6为本实施方式所涉及的电子设备1000的功能框图。
[0049]图7为表不作为电子设备1000的一个不例的、智能手机的外观的一个不例的图。
[0050]图8为表示本实施方式所涉及的移动体400的一个示例的图(俯视图)。
【具体实施方式】
[0051]以下，使用附图对本发明的优选的实施例进行详细的说明。所使用的附图为便于说明的图。另外，以下所说明的实施例并非对权利要求书中所记载的本发明的内容进行不当限定的示例。此外，以下所说明的全部结构并不一定均为本发明所必需的构成要素。
[0052]1.物理量检测装置以及物理量检测装置用电路
[0053]图1为表示本实施方式所涉及的物理量检测装置I的一个示例的电路框图。以下，虽然以对作为物理量的一个示例的角速度进行检测的物理量检测装置I为示例进行说明，但是作为物理量并不限定于此，也可以为例如加速度等的其它各种的物理量中的一个。
[0054]本实施方