而密封件32压靠在第二开口部分W12上。
[0056]以这种方式，泄漏测试装置I利用来自压力室12的压力，通过将滑动单元30朝左推，压缩密封件32，并压缩第二开口部分W12。
[0057]在此，推动滑动单元30的力是由滑动单元30的受力面积A(S卩，滑动件31的右侧表面的面积)(参见图1B)和测试流体PlO的压力的乘积确定的。并且，测试流体PlO根据测试被设定为一预定量。
[0058]因此，泄漏测试装置I将用于密封第二开口部分W12的推力F12除以测试流体PlO的压力的结果(商)设定为滑动单元30的受力面积A。因此，当引入测试流体PlO时，泄漏测试装置I能够将密封件32压缩至一产生推力F12的程度。S卩，泄漏测试装置I能够利用最优力来密封压力室12。
[0059]并且，当引入测试流体PlO时，气缸40产生左向推力，以压缩固定橡胶构件20，并利用该推力来密封第一开口部分W11。如上所述，泄漏测试装置I通过产生推力F12来密封第二开口部分W12。即，当密封第二开口部分W12时，作用在板10上的右向反作用力等于推力F12 (参见图4中的右向反作用力H12)。
[0060]因此，气缸40能够将固定橡胶构件20压缩至一生成推力Fll的程度，简单地，通过生成等于推力F11+F12之和的左向推力NlO (参见图4中的右向反作用力H11)。
[0061]以这种方式的泄漏测试装置I密封了开口部分Wll和W12，并对工件WlO进行加压。
[0062]在对工件WlO进行加压之后，泄漏测试装置I利用预定检测装置检测工件WlO的泄漏量，如图2所示(S20)。
[0063]在检测了工件WlO的泄漏量之后，泄漏测试装置I基于工件WlO的泄漏量，判断在工件WlO中是否存在泄漏(S30)。
[0064]如果工件WlO的泄漏量等于或小于预定阈值，则泄漏测试装置I判断在工件WlO中没有泄漏。在这种情形中，泄漏测试装置I驱动气缸40，以使板10移动离开工件W10，并将工件WlO传输至下一工序(B卩，S30中的否；S40)。
[0065]另一方面，如果工件WlO的泄漏量超出所述预定阈值，则泄漏测试装置I判断在工件WlO中存在泄漏。在这种情形中，泄漏测试装置I驱动气缸40，以使板10移动离开工件W10，并将工件WlO作为NG工件而从生产线中撤下(B卩，S30中的是；S50)。S卩，泄漏测试装置I不讲工件WlO传至下一工序。
[0066]通过执行步骤SlO到S50，泄漏测试装置I连续检查生产线中的工件WlO的泄漏。
[0067]促使滑动单元30向左的弹簧连接至滑动单元30。更具体地，弹簧的一个端部连接至凹部11的底部(即，气缸40侧上的表面)，弹簧的另一个端部连接至滑动件31的右侧表面。因此，当板10与工件WlO分离开来时，滑动单元30被弹簧朝左压迫，并返回至预定位置(即，图1A所示的位置)。
[0068]在此，例如，当第二开口部分W12距第一开口部分Wl I —侧的距离比常规尺寸(SP，图15A所示的第二开口部分W12的尺寸)要短一个距离d时，第二开口部分W12将距离滑动单元30最远，如图5A和5B所示。
[0069]在这种情形中，当板10被带至靠近时，密封件32将在相对较晚的阶段抵靠第二开口部分W12。因此，滑动单元30的滑动量缩短了距离d (参见图5A和图5B中的箭头d)。
[0070]另一方面，如图5C所示，当第二开口部分W12距第一开口部分Wl I—侧的距离比常规尺寸(即，图5A所示的第二开口部分W12的尺寸)要短个距离d时，密封件32将在相对较早的阶段抵靠第二开口部分W12。因此，滑动单元30的滑动量增加了距离d (参见图5B和5C中的箭头2d)。
[0071]如上所述，推动滑动单元30的力是由测试流体PlO的压力和受力面积A确定的。因此，当将测试流体PlO引入工件WlO中时，无论第二开口部分W12的距离d(S卩，滑动单元30的滑动量)如何，泄漏测试装置I将密封件32压缩至一生成推力F12的程度(参见图5B和5C中的推力F12)。
[0072]并且，固定橡胶构件20以同样的方式抵靠第一开口部分W11，无论第二开口部分W12的距离d如何。因此，泄漏测试装置I不需要产生大的左向推力，其一直推动密封件32，以产生推力F11。
[0073]因此，气缸40能够简单地通过产生等于推力Fl 1+F12之和的右向推力N10，来密封开口部分Wll和W12 (参见图5B和5C中的右向反作用力Hll和H12)，无论第二开口部分W12的距离d如何。
[0074]以这种方式，当泄漏测试装置I密封了开口部分Wll和W12、其中要密封的工件WlO的部分的位置在左右方向上不同时，第二开口部分W12的距离d能够被滑动单元30的滑动量所吸收。因此，气缸40能够消除用于吸收距离d的推力，如同现有技术中的一样(参见图14C中的推力N62和图15C中的推力N64)。
[0075]并且，泄漏检测装置I能够用根据滑动单元30受力面积A和测试流体PlO的压力的力，恒定地压缩密封件32。即，泄漏测试装置I能够恒定地产生推力F12，并密封第二开口部分W12。因此，泄漏测试装置I不需要考虑到密封件32的压缩特性，因此，能够消除现有技术中要克服额外余量(即，橡胶构件的额外长度)的推力AF (参见图15A、15B、15C和16)。
[0076]S卩，泄漏测试装置I能够减小在密封开口部分时所需的气缸40的推力。因此，利用该泄漏检测装置I，气缸40和支承气缸40的壳体能够做得更小，从而降低成本。
[0077]相应地，泄漏测试装置I能够抑制将过度负荷置于固定橡胶构件20和密封件32上。因此，利用泄漏测试装置1，能够抑制固定橡胶构件20和密封件32的劣化，从而能够抑制这类劣化引起的泄漏。
[0078]进一步地，即使由于持续使用而在固定橡胶构件20和密封件32中发生永久变形，通过滑动单元30的滑动量，泄漏测试装置I也能够接纳永久变形导致的压缩量的波动。因此，即使在固定橡胶构件20和密封件32中发生永久变形，气缸40也能够通过简单地产生等于推力F11+F12之和的推力N10，来密封开口部分Wll和W12。
[0079]因此，泄漏测试装置I能够稳定地密封开口部分WlI和W12，并降低固定橡胶构件20和密封件32的更换频率。
[0080]这里，为吸收第二开口部分W12的距离d，可以设想如图17所示的结构:使用两个气缸个别地密封所述开口部分Wll和W12。在这种结构中，两个空气供给源是由控制部控制的，通过驱动气缸而单独地压缩两个可移动橡胶构件，并且，所述开口部分Wll和W12被此推力密封。在这种情况下，控制气缸的控制，以及将空气供给至气缸的两个空气供应源，最终会被需要的。
[0081]另一方面，泄漏测试装置I能够用一个气缸40密封开口部分Wll和W12，如图4所示。因此，与使用单独气缸来密封开口部分Wll和W12时相比，所述泄漏测试装置I能够简化结构，降低成本。
[0082]泄漏测试装置I可利用滑动单元来密封第一开口部分，并利用固定橡胶构件来密封第二开口部分。即，在泄漏测试装置I中，仅开口部分中的一个需要被滑动单元密封。
[0083]接着，将描述根据本发明的第二示例性实施例的泄漏测试装置101。
[0084]如图6所示，根据第二示例性实施例的泄漏测试装置101与根据第一示例性实施例的泄漏测试装置I的不同之处在于，外开口部分W21和形成在外开口部分W21内的内开口部分W22是密封的，测试流体P22被从内开口部分W22弓丨入工件W20中。
[0085]开口部分W21和W22形成为从面向工件W20右侧表面的位置上观看时为大致圆形的形状。内开口部分W22被布置为向外开口部分W21的左侧偏移一预定长度。内开口部分W22形成为与第一示例性实施例中的第二开口部分W12大致相同的形状。
[0086]这些种类的开口部分W21和W22在缸体内部是彼此不连通的。S卩，开口部分W21和W22是单独的系统。此外，泄漏检测装置101同时检测系统内对应于开口部分W21和W22的泄漏。
[0087]根据第二示例性实施例的泄漏检测装置101利用固定橡胶构件120来密封外开口部分W21，并利用滑动单元130密封所述内开口部分W22。
[0088]固定橡胶构件120以类似于第一示例性实施例的固定橡胶构件20来配置，区别在于它形成为一般的环形形状，以能够密封外开口部分W21。
[0089]滑动单元130以类似于第一示例性实施例的滑动单元30来配置。
[0090]从板110的下表面导至压力室112的下表面上的连通孔113形成在板110上。并且，泄漏检测装置101被配置为能够使得测试流体P22经由连接至连通孔113的导管被引入所述板110。
[0091]接下来，将描述根据第二示例性实施例的流体测试装置101的操作。
[0092]以下，要密封第一开口部分W21所需的推力标记为F21，要密封第二开口部分W22所需的推力标记为F22。并且，推力F21和F22包括测试期间产生的反作用力。
[0093]泄漏测试装置101驱动气缸40，以将板110带至靠近工件W20，从而令固定橡胶构件120和密封件132抵靠着开口部分W21和W22。于是，泄漏测试装置101将测试流体P22引入连通孔113。测试流体P22依次通过连通孔113、压力室112和滑动单