偏光膜的缺陷检测装置以及方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及偏光膜的缺陷检测装置以及方法，更具体而言，涉及使用自动光学检 查机的检查结果，自动地检测实时生产的偏光膜的不良的系统以及方法。
【背景技术】
[0002] 在生产作为LCD光学材料来使用的偏光膜的生产厂家中，为了高速地进行所生 产的产品的实时检查，利用了在线（IN-LINE)自动光学检查系统（AutomatedOptical InspectionSystem,以下称作"自动光学检查机")。通常，在线自动光学检查机在缺陷产生 部位处，点上墨或施加条码标识，在后续工序中，将点上墨或施加了条码标识的部位废弃， 或者对其进行进一步的检查。
[0003] 但是，在特定的时刻，集中而连续地产生上述缺陷的情况下、或者在实际是否产生 细微缺陷等缺陷不明的情况下，由于所述自动光学检查机的过载以及硬件性能的问题，存 在不能无遗漏地对上述所有缺陷产生部位实施标记这样的问题。此外，有可能陷入如下情 况：在缺陷产生部位处没有实施标记的产品在后续工序中未被识别为不良品而销售到顾客 公司。基于该原因，在后续工序中，最终由检查员目视地检查产品，但在这样的基于目视的 检查作业中，存在高成本、耗费工时的问题。
[0004] 此外，在现有技术中，只能取得仅使用在偏光膜圆盘内检测出的缺陷数量的缺陷 产生率的信息，因此，存在不能考虑缺陷的流出（即，对缺陷产生部位的标记遗漏）可能性 的这样的问题。
[0005] 另一方面，提出了一种不良解析系统以及方法（例如参照下述的专利文献1)，其 自动地提取形成有多个分别具有多个存储单元的芯片的半导体晶片的致命的不良，但在所 述不良解析系统以及方法中，仅考虑了X、Y方向性的不良来判別良否，因此存在不能高精 度地判别接合异物、接合气泡、异物、亮点、刮痕、集群性亮点、一条线（一糸）等各种缺陷这 样的问题。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :韩国公开专利第2000-0077024号公报
【发明内容】
[0009] 发明要解决的问题
[0010] 本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于提供能够自动地使用自动光学 检查机的检查结果来检测实时生产的偏光膜的不良的装置以及方法。
[0011] 本发明的其它目的在于提供能够高精度地判别接合异物、接合气泡、异物、亮点、 刮痕、集群性亮点、一条线等偏光膜的各种缺陷的偏光膜的缺陷检测装置以及方法。
[0012] 用于解决问题的手段
[0013] 为了达成上述目的，本发明提供一种偏光膜的缺陷检测装置，其特征在于，所 述装置具有：接收部，其接收由自动光学检查机检查出的针对偏光膜的检查结果；以及 检测部，其分析所述检查结果，检测偏光膜的缺陷，所述检测部根据缺陷类型（Defect Type)、AX(Dx)、AY(Dy)、面积（Area)、密度（Density)、尺寸（Size)、峰值（Peak)、厚度 (Thickness)中的两个以上的参数，判别所述偏光膜的缺陷形态是接合异物、接合气泡、异 物、亮点、刮痕、集群性亮点、一条线中的至少任意一种。
[0014] 此外，为了达成上述目的，本发明提供一种偏光膜的缺陷检测方法，其特征在于， 所述方法包含如下步骤：接收由自动光学检查机检查出的对偏光膜的检查结果；以及分 析所述检查结果，检测偏光膜的缺陷，在检测所述缺陷的步骤中，根据缺陷类型（Defect Type)、AX(Dx)、AY(Dy)、面积（Area)、密度（Density)、尺寸（Size)、峰值（Peak)、厚度 (Thickness)中的两个以上的参数，判别所述偏光膜的缺陷形态是接合异物、接合气泡、异 物、亮点、刮痕、集群性亮点、一条线中的至少任意一种。
[0015] 发明效果
[0016] 根据本发明的偏光膜的缺陷检测装置以及方法，能够自动地使用自动光学检 查机的检查结果来检测实时生产的偏光膜的不良。尤其是，能够根据缺陷类型（Defect Type)、AX(Dx)、AY(Dy)、面积（Area)、密度（Density)、尺寸（Size)、峰值（Peak)、厚度 (Thickness)等，高精度地判别出偏光膜的缺陷形态为接合异物、接合气泡、异物、亮点、刮 痕、集群性亮点、一条线等。
[0017] 此外，由此，能够取消由作业员（操作员）进行的不良的分析过程，并能够立刻判 别出缺陷因素，由此，能够缩短偏光膜的不良产生区间。
【附图说明】
[0018] 图1是示出在本发明中可采用的自动光学检查机的一例的结构图。
[0019] 图2是本发明的一个实施方式的偏光膜的缺陷检测装置的结构图。
[0020] 图3是示出本发明的一个实施方式的接合异物检测算法的图。
[0021] 图4是示出本发明的一个实施方式的接合气泡检测算法的图。
[0022] 图5是示出本发明的一个实施方式的异物检测算法的图。
[0023] 图6是示出本发明的一个实施方式的亮点检测算法的图。
[0024] 图7是示出本发明的一个实施方式的刮痕检测算法的图。
[0025] 图8是示出本发明的一个实施方式的集群性亮点检测算法的图。
[0026] 图9是示出本发明的一个实施方式的一条线检测算法的图。
[0027] 标号说明
[0028]100 :偏光膜的缺陷检测装置
[0029] 110:接收部
[0030] 120 :保存部
[0031] 130:检测部
[0032] 140:报知部
【具体实施方式】
[0033] 以下，根据附图，对本发明的偏光膜的缺陷检测装置以及方法进行详细说明。
[0034] 首先，为了帮助理解本发明，对自动光学检查机进行简略说明。图1是示出对偏光 膜进行缺陷检查的自动光学检查机的一例的图。
[0035] 制作出的偏光膜圆圆地卷绕成圆盘状来保存，但这样的偏光膜圆盘在进行缺陷的 检查时，从送出部（未图示）送出，并通过辊12朝规定的行进方向输送。此时，偏光膜10 的输送速度由编码器11等速度感知装置感知，且之后被用于生成缺陷产生部位的信息。
[0036] 此时，所述自动光学检查机具有光学装置20,该光学装置20具有至少一个照明装 置21和与其对应的至少一个拍摄装置22,由此，能够取得针对所述输送中的偏光膜的光学 影像。
[0037]光学装置20的结构以及设计方式根据要使用所述自动光学检查机进行检测的缺 陷的项目（即种类以及内容）而不同，不过，通常在自动光学检查机中，对偏光膜进行透射 检查、反射检查、偏振光遮断检查（所谓交叉检查）等。
[0038] 因此，光学装置20设计为，根据要检查的缺陷项目，选择性地或并行地驱动反射 照明和与其对应的拍摄装置、透射照明和与其对应的拍摄装置等，由此取得用于检测各种 缺陷类型的光学影像。
[0039] 进而，将这样通过光学装置20取得的光学影像传输到影像分析/检查装置40,影 像分析/检查装置40通过对传输的光学影像进行分析，检测偏光膜中存在的各种缺陷。此 外，影像分析/检查装置40生成与检测出的缺陷相关的数据（以下称作"检查结果数据"） 并保存。
[0040] 此时，将基于所述检查结果数据的缺陷产生部位传输到标记系统30,所述标记系 统30的标记控制部32通过控制标记手段31，与所述缺陷产生部位对应地，对所述偏光膜实 施缺陷的标记。
[0041] 此外，将所述检查结果数据传输到输出装置50、显示装置60等，输出该结果，该结 果传输到管理者的服务器70而进行保存和管理。
[0042] 如上述那样，完成缺陷检查后的偏光膜被卷绕部（未图示）再次一圈一圈地卷绕， 由此，以原来的圆盘状进行保存。
[0043]自动光学检查机的检查结果数据通常以数据库或电子表格等文件形式保存。自动 光学检查机生成缺陷的亮度、宽度、长度、尺寸（面积）、形状（圆形性/线形性）、检测光学 组（投射/反射/偏振光遮断）等各种数据来作为针对个别的偏光膜圆盘LOT的检查结果 并进行保存。
[0044] 此时，在所述检查结果数据的传输中，为了确保多个用户或管理者的可访问性，使 用了文件传输协议（FTP:filetransferprotocol)。这样传输的检查结果数据被保存在 本发明的偏光膜的缺陷检测装置内的保存部中，为了分析格式的一元化，通过数据转换部 转换为规定的共通格式。此处，所述共通格式是作为数据语言的标记语言，例如可扩展标 记语言（XML〖ExtensibleMar