分别控制多个按压部244所接触的被测器件12的温度。此处，多个按压部244可以分别控制各个温度，或者对两个以上的按压部244的温度进行统一控制。
[0031]此时，按压部244从各个被测器件12的电极面或端子面的相对面个别地加热或冷却。按压部244可以包含珀耳帖元件等热电元件，或者可以包含使制冷剂或制热剂循环的冷却器或加热器。当按压部244对每个被测器件12从被测器件12的背面直接控制温度时，分选装置100无需精确地控制测试部220的整个腔室温度便能够高速且低功耗地控制多个被测器件12的温度。而且，可选地，测试部220可以具有将测试部220的整个腔室温度控制到与测试的温度条件大致相同的温度。
[0032]驱动部246驱动器件安装部242。驱动部246控制器件安装部242的移动，将器件托盘10朝插座板120运送，使多个被测器件12与对应的测试用插座122电连接。
[0033]测试用插座摄像部310拍摄插座板120所具有的多个测试用插座122。测试用插座摄像部310拍摄包含各个测试用插座122中表示电极位置信息的区域。本例的测试用插座摄像部310拍摄与插座嵌合单元420相嵌合的测试用插座122。测试用插座摄像部310对包含插座嵌合单元420上设置的标记等以及测试用插座122中的电极的区域进行拍摄。从而取得与插座嵌合单元420上设置的标记等相对的测试用插座122中的电极的相对位置。测试用插座摄像部310可以对逐个测试用插座122地分别拍摄，或者可以对每多个测试用插座122进行拍摄。测试用插座摄像部310具有摄像机和使该摄像机移动的移动部，使该摄像机在待拍摄测试用插座122的附近移动对该测试用插座122进行拍摄。
[0034]或者，测试用插座摄像部310可以具有摄像机和镜部，通过该镜部由摄像机对测试用插座122进行拍摄。此时，测试用插座摄像部310可以通过使镜部移动的移动部等使其移动，使待拍摄测试用插座122的像入射到该摄像机，对测试用插座122进行拍摄。
[0035]执行器单元320在放置有多个被测器件12的器件托盘10上朝与连接有被测器件12的测试用插座122的电极相对应的位置分别调整该被测器件12的位置。执行器单元320在施热部210内分别检测被测器件12的电极位置，被测器件12的电极调整被测器件12的位置从而能够与对应的测试用插座122的电极相连接。另外，执行器单元320检测出自身所具有的执行器的原点位置及驱动距离等进行调整。
[0036]控制部340与测试用插座摄像部310及执行器单元320相连，控制被测器件12的位置调整。控制部340基于测试用插座摄像部310的拍摄结果、执行器单元320的检测结果等将被测器件12的调整量指定给执行器单元320，使其调整该被测器件12的位置。另夕卜，控制部340可以与驱动部246、运送部240、送入装载机、送出装载机等连接，控制器件托盘10及调整用托盘20的装载/卸载/运送、器件安装部242的驱动等。
[0037]另外，控制部340与温度控制部212、器件安装部242及温度控制部232相连，可以控制多个被测器件12的温度。另外，控制部340在将多个被测器件12分别安装于对应的测试用插座122之后，可以通知测试装置多个被测器件12的安装结束。此时，测试装置对应于安装结束通知执行被测器件12的测试，可以将测试终止或停止通知给控制部340。控制部340对应于测试终止通知将被测器件12放置于器件托盘10上，将器件托盘10送出。
[0038]图2表示本实施形态所述分选装置100将被测器件12运送到测试用插座122的结构例。图2表示由器件安装部242承载器件托盘10运送到插座板120附近，按压部244将被测器件12朝插座板120的方向按压从而安装于对应的测试用插座122上的例子。在本实施例中说明了被测器件12具有多个BGA型电极18的例子。
[0039]测试用插座122与被测器件12电连接，将从测试装置供应的测试信号传送给被测器件12。另外，测试用插座122将被测器件12对应于测试信号而输出的应答信号传送给测试装置。测试用插座122在插座板120具有多个，在与插座板120的测试头110相对面上沿行方向及列方向排列封装。测试用插座122包含插座针脚124和多个电极126。测试用插座122的多个电极126与被测器件12所具有的多个电极18电连接。
[0040]插座针脚124与器件保持器30相嵌合。插座针脚124可以对一个测试用插座122设置两个以上。插座针脚124优选分别位于测试用插座122的四个角附近。
[0041]器件保持器30具有内部单元32、外部单元34、针脚插入部36。内部单元32 ii分别搭载有被测器件12。内部单元32作为一例具有通过弹力等按压被测器件12的弹性部件，分别固定被测器件12。内部单元32在该被测器件12送入分选装置100到送出之间保持搭载被测器件12并固定的状态。
[0042]外部单元34可移动地保持内部单元32。外部单元34可以包含有在使内部单元32处于相对于外部单元34可移动的状态或才处于固定于外部单元34的状态之间进行机械切换的锁定机构。内部单元32及外部单元34具有使按压部244贯穿的贯穿孔。此时，按压部244贯穿内部单元32及外部单元34，按压被测器件12形成有电极18的面的相对面。
[0043]可选地，外部单元34在与保持内部单元32的面相对的面上按压有器件安装部242的按压部244。此时，外部单元34可以形成为被按压有按压部244的凹部。可选地，外部单元34具有使按压部244的贯穿孔，按压部244可以按压内部单元32的保持被测器件12的面的相对面。
[0044]针脚插入部36对应于插座针脚124形成，与插座针脚124相嵌合。即，随着按压部244将器件保持器30按压于测试用插座122，针脚插入部36与插座针脚124相嵌合，使被测器件12的电极18与测试用插座122的电极126电连接。
[0045]此处，通过使被测器件12的电极18的尺寸及间距等进行微细化，当测试装置及分选装置100等的制造精度等与被测器件12的位置精度等成为大致同等程度时，即使使插座针脚124与针脚插入部36相嵌合，也发会发生被测器件12与测试用插座122无法电连接的情形。因此，本实施形态的分选装置100具有测试用插座摄像部310及执行器单元320等，使用调整用托盘20等预先调整器件保持器30上搭载的被测器件12的位置，通过使插座针脚124与针脚插入部36相嵌合，从而使被测器件12与测试用插座122电连接。
[0046]图3将本实施形态的执行器单元320与器件托盘10共同显示。图3表示器件托盘10通过送入装载机被送入到施热部210内部从而承载于运送部240上的例子。
[0047]器件托盘10作为一例将多个器件保持器30沿行方向及列方向排列并承载。器件托盘10使多个器件保持器30与测试装置的测试用插座122的排列相对应地承载。
[0048]在本实施例中说明了器件托盘10将器件保持器30排列16行16列进行承载的例子。此时，器件托盘10最大保持256个被测器件12进行运送。此处，以器件托盘10的行方向为X轴、列方向为Y轴。此时，运送部240使器件托盘10朝X轴方向移动，在施热部210、测试部220、及除热部230之间进行运送。
[0049]器件托盘10在测试部220中与插座板120相对的一面上具有容纳器件保持器30的容纳部14。容纳部14也可以为对应于多个器件保持器30而分别形成的凹部。而且，各个容纳部14具有从器件托盘10的一面贯穿到另一面的贯穿孔16。据此，器件安装部242所具有的按压部244贯穿该贯穿孔16能够将器件保持器30按压在测试用插座122上。
[0050]执行器单元320设置于器件托盘10上。执行器单元320具有执行器330。执行器330在将保持被测器件12的器件保持器30嵌合于测试用插座122之前嵌合于器件保持器30，调整器件保持器30上的被测器件12的位置。本例的执行器330通过使保持被测器件12的内部单元32相对于外部单元34移动来调整器件保持器30上的被测器件12的位置。执行器330基于被测器件12相对于调整用插座430的相对位置来调整器件保持器30上的被测器件12的位置。
[0051]执行器330可以在执行器单元320上设置多个。此时，各个执行器330分别调整对应的被测器件12的位置。例如，执行器330对应于被测器件12的列方向配设置多个，分别对沿列方向排列的多个被测器件12分别进行调整。此时，可以在列方向(即，本例情形中为Y方向)上设置16个执行器330。而且,执行器单兀320基于与被测器件12的一列配置对应的距离沿X方向移动16次，从而可以逐列地调整最大256的被测器件12。可选地，运送部240基于与被测器件12的一列配置对应的距离使器件托盘10沿X方向移动16次，从而可对最大256个被测器件12进行逐列地调整。
[0052]可选地，执行器330可以沿Y方向设置不足16个的执行器330。此时，执行器单元320可以在施热部210内沿Y方向移动，依次调整在列方向上排列的多个被测器件12。作为一例，当8个执行器330每隔一个沿列方向排列时,该8个执行器330对沿列方向排列的多个被测器件12中奇数行或偶数行的8个被测器件12分别进行调整。
[0053]据此，执行器单元320仅基于被测器件12的I行配置所对应的距离沿Y方向移动，从而能够对沿列方向排列的共16个被测器件12进行调整。而且，执行器单元320可以每完成I列调整，就基于被测器件12的I列配置所对应的距离沿X方向移动，从而能够对最大256个被测器件12分别进行调整。可选地，运送部240每当完成I列调整时，可以基于被测器件12的I列配置所对应的距离使器件托盘10沿X方向移动，从而可以对最大256个被测器件12分别进行调整。
[0054]如此，执行器单元320通过沿列方向移动，可以使沿列方向设置的执行器330的数量减少到最少的一个。在本实施例中说明了具有执行器单元320每隔一个沿列方向排列的8个执行器330的例子。
[0055]图4将本实施形态所述执行器单元320与调整用托盘20共同显示。图4表示使调整用托盘20通过送入装载机送入施热部210内部并承载于运送部240上的例子。
[0056]调整用托盘20形成为与搭载器件保持器30的器件托盘10大致相同的形状。调整用托盘20例如形成为与器件托盘10的外径寸法相同。调整用托盘20具有容纳部22和贯穿狭缝26。
[0057]容纳部22例如与器件托盘10的容纳部14同一形状地形成为同一排列。而且，各个容纳部22具有从调整用托盘20的一面贯穿到另一面的贯穿孔24。
[0058]调整用托盘20搭载多个执行器嵌合单元410及多个插座嵌合单元420。调整用托盘20将执行器嵌合单元410及插座嵌合单元420按照预定配置分别容纳于容纳部22于。
[0059]例如，容纳多个执行器嵌合单元410的多个容纳部22排列成列状。图4表示容纳多个执行器嵌合单元410的多个容纳部22在调整用托盘20中当被送入测试部220时排列在与成为前头的一侧相反侧的第I列。
[0060]而且，例如，容纳多个插座嵌合单元420的多个容纳部22排列有I列或多个列。即，多个插座嵌合单元420排列在容纳多个执行器嵌合单元410的多个容纳部22的列以外的预定列。
[0061]贯穿狭缝26从调整用托盘20的表面贯穿到背面，沿着容纳多个执行器嵌合单元410的多个容纳部22而形成。图4表示贯穿狭缝26形成于与上述第I列相邻的第2列的位置的例子。调整用托盘20中的贯穿狭缝26的位置在器件托盘10中与当被送入测试部220时成为前头的一侧的相对侧的第2列的位置相对应。即，调整用托盘20可能在具有贯穿狭缝26以取代第2列的容纳部22这一点上与器件托盘10的形状不同。
[0062]执行器嵌合单元410与执行器单元320所具有的执行器330相嵌合。执行器嵌合单元410通过使执行器单元320与调整用托盘20的相对位置接近，与执行器330相嵌合。执行器嵌合单元410为与器件保持器30的至少保持被测器件12的部分的形状大致相同的形状。
[0063]插座嵌合单元420嵌合于测试用插座122上。插座嵌合单元420通过由运送部240将该插座嵌合单元420运送到测试部220的测试用插座122从而嵌合到测试用插座122相上。
[0064]图5将图4所示执行器单元320及调整用托盘20的X方向的截面图与控制部340共同表示。执行器单元320在图4所示结构的结构之上进一步具有调整用插座摄像部322、贯穿孔324、执行器摄像部326、连结部328、调整用插座430。即说明了调整用插座摄像部322、执行器330、及调整用插座430与执行器单元320 —体化设置