驱动反馈装置213的增量编码器只能提供位置变化，也就是从初始位置起的位移量，而不是当前位置的绝对值。因此，如果从增量编码器接收反馈的控制单元230或者放大器(未示出)已经被关闭的话，那么即使将其再次打开也无法获得当前位置的值。
[0021]第一和第二 X-轴绝对反馈装置221、222被分别安装于在横梁120的两端中横梁120与引导件111、112相交的位置处，以便测量构成工作台正交性的每个轴的位置，该反馈装置可以由绝对编码器组成。
[0022]构成第一和第二 X-轴绝对反馈装置221、222的绝对编码器可以提供当前位置的绝对值，因此即便从绝对编码器接收反馈的控制单元230或者放大器(未示出)在已经关闭之后被再次打开，也仍可以获得当前位置的绝对值。
[0023]控制单元230根据从第一和第二 X-轴驱动反馈装置211、212 ;Υ_轴驱动反馈装置213以及第一和第二X-轴绝对反馈装置221、222接收到的反馈来控制工作台的位移并且检测工作台正交性的变化，该控制单元由用于进行计算和控制的微处理器组成。
[0024]即使在操作工作台的过程中电源被关闭，控制单元230也可以提供工作台的当前位置的绝对值，这是因为其不仅从增量编码器而且从绝对编码器接收反馈的缘故。因此，控制单元230可以基于如图2中示出在组装工作台的时候初始所测量到的正交性及如图3中示出在工作台的操作期间所测量到的已经变化的正交性，来实时地计算工作台正交性的变化。
[0025]另外，控制单元230可以使用正交性的变化，用于诊断、监控和分析系统的问题，或者为此目的而将其提供给外部设备。
[0026]图4展示了借助于增量反馈装置来定位工作台使其归位的常规方法。
[0027]参考图4，如果仅仅借助于根据现有技术的增量反馈装置来定位工作台使其归位的话，那么①首先将工作台往前移动到被安装在工作台两侧处的引导件111、112的一端上的限位传感器140，②接着沿相反方向进行移动，以便找到归位传感器130。在该情况下，其应该以低速进行移动以用于精准定位，并且应该在检测到归位传感器之后移动至某一额外距离以便降低速度。③在随着速度降低而停止之后，其应该再次往前移动到所检测到的归位传感器，由此，其在精度退化的同时还要花费很长时间。
[0028]图5展示了根据本发明另一实施例的借助于增量反馈装置和绝对反馈装置来定位工作台使其归位的方法。
[0029]参考图5，如果借助于根据本发明一实施例的用于测量工作台正交性的系统来定位工作台使其归位的话，那么①首先借助于第一和第二 X-轴驱动反馈装置211、212将工作台往前移动到限位传感器140，②接着借助于第一和第二 X-轴绝对反馈装置221、222快速地移动到归位位置。从而，定位工作台使其归位的精度和速度得以改进，因此提高了系统的精准度和生产率。
[0030]本发明的实施例在工作台的操作过程中以实时方式精准地检测工作台正交性的变化，从而预先发现工作台的错误并且提供用于校正错误的数据。
[0031]此外，可以测量工作台的归位位置的绝对值，以便改善定位工作台使其归位的速度、精准度和稳定性。
[0032]而且，不仅采用增量反馈装置而且采用绝对反馈装置，从而最少地使用高成本和低精度的绝对反馈装置，因此减少生产成本并且改善控制的精度。
[0033]本发明不应该被上述实施例和附图所限制。对于本领域技术人员而言是显而易见的是在不脱离本发明的技术概念的情况下，可以替换、修改和变更本发明的构成部分。
【主权项】
1.一种用于测量工作台正交性的系统，包括: 第一和第二 X轴驱动反馈装置，所述第一和第二 X轴驱动反馈装置被分别安装于分别布置在所述工作台两侧的一对引导件上，用于测量并提供用于改变所述工作台的X轴位置的位移； Y轴驱动反馈装置，所述Y轴驱动反馈装置被安装于所述工作台的横梁上，用于测量并提供用于改变所述工作台的Y轴位置的位移； 第一和第二 X轴绝对反馈装置，所述第一和第二 X轴绝对反馈装置每个均被安装于在所述横梁两端的横梁与一对引导件相交的位置处，用于测量并提供构成所述工作台正交性的每个轴的位置；以及 控制单元，所述控制单元根据从所述第一和第二 X轴驱动反馈装置，所述Y轴驱动反馈装置以及所述第一和第二 X轴绝对反馈装置接收到的反馈，来控制所述工作台的位移并检测所述工作台正交性的变化。2.根据权利要求1所述的用于测量工作台正交性的系统，其特征在于，所述第一和第二 X轴驱动反馈装置包括增量编码器。3.根据权利要求1所述的用于测量工作台正交性的系统，其特征在于，所述第一和第二 X轴绝对反馈装置包括绝对编码器。4.根据权利要求1所述的用于测量工作台正交性的系统，其特征在于，所述控制单元基于在初始组装所述工作台的时候所测量的正交性和在所述工作台的操作期间所测量的已改变的正交性，来实时地检测所述工作台正交性的变化。5.一种借助于用于测量工作台正交性的系统来定位工作台使其归位的方法，所述系统包括增量反馈装置和绝对反馈装置，所述方法包括以下步骤: 通过使用所述增量反馈装置将所述工作台往前移动到设置于在所述工作台两侧的引导件的端部处的限位传感器；以及 通过使用所述绝对反馈装置将所述工作台往前移动到设置有所述工作台的归位传感器的位置。
【专利摘要】公开一种用于测量工作台正交性的系统以及使用该系统来定位工作台使其归位的方法。所述系统包括：被分别安装于在工作台两侧分别布置的一对引导件上的第一和第二X-轴驱动反馈装置，用于测量并提供用于改变工作台的X-轴位置的位移；被安装在工作台的横梁上的Y-轴驱动反馈装置，用于测量并提供用于改变工作台Y-轴位置的位移；每个均被安装于在横梁的两端中该横梁与一对引导件相交的位置处的第一和第二X-轴绝对反馈装置，用于测量并提供构成工作台正交性的每个轴的位置；以及根据从第一和第二X-轴驱动反馈装置、Y-轴驱动反馈装置以及第一和第二X-轴绝对反馈装置接收到的反馈来控制工作台的位移并且检测工作台正交性的变化的控制单元。
【IPC分类】G01B21/00
【公开号】CN104976972
【申请号】CN201510166574
【发明人】钟奎舒
【申请人】循环工程株式会社
【公开日】2015年10月14日
【申请日】2015年4月10日
【公告号】EP2930463A1, US20150292882