一种量子关联自准直仪及测角方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种量子关联自准直仪及测角方法，属于测量领域。
【背景技术】
[0002] 经典自准直仪产品一般采用线阵或面阵列工业相机和成像透镜组实现对反射镜 转角的测量，从而达到对器件平整度或准直度的测量和标定。目前，经典自准直仪应用过程 中小型化、便携化主要受到其基本原理的限制。一方面透镜组焦距f越大，测角精度越高， 但对应最大测角量程范围变小。另一方面，透镜组焦距f越大要求自准直仪的体积越大。因 此，经典自准直仪的测角精度和测角量程、设计体积相互制约。高测角精度的经典自准直仪 理论上已经无法做到兼顾小体积、大量程。另外，线阵或面阵探测器使得经典自准直仪成本 高，造价昂贵。因此实现小体积、大量程、高精度、低成本的自准直仪必然考虑用新的理论和 技术进彳丁改进和提尚。
【发明内容】
[0003] 本发明解决的技术问题是：克服现有经典自准直仪体积大、测角量程范围与测角 精度相互制约的不足，提出了一种量子关联自准直仪及测角方法，解决了自准直仪小型化、 测角量程大和测角精度高的问题。
[0004] 本发明的技术解决方案是：一种量子关联自准直仪，包括：光源发射单元、光源记 录单元、量子自准直仪测量单元；
[0005] 光源发射单元包括激光器（1)、第一反射镜（2)、第二反射镜（3)、第一透镜（4)、第 二透镜（5)、控制单元（8)、步进电机（7)、毛玻璃（6)和第一光阑（9);
[0006] 光源记录单元包括：变焦镜头（10)、工业相机（11)和图像采集与存储单元（12);
[0007] 量子自准直仪测量单元包括：50 :50分束器（13)、第三透镜（14)、第三反射镜 (15)、第二光阑（16)、光电探测器（17)、数据采集卡（18)、数据处理与显示模块（19);
[0008] 第一反射镜（2)、第二反射镜（3)成90度布置，第一透镜（4)、第二透镜（5)和第 三透镜（14)、第一光阑（9)分别垂直于同一光轴，且在同一光轴上，第一透镜（4)和第二透 镜（5)的距离为第一透镜⑷和第二透镜（5)的焦距之和；第三透镜（14)与毛玻璃（6)的 距离等于第三透镜（14)的焦距；第二光阑（16)和毛玻璃（6)相对于50 :50分束器的分束 面放置在对称位置；
[0009] 激光器（1)连续发光束，该光束依次经过第一反射镜（2)、第二反射镜（3)反射后， 经第二反射镜（3)反射后的光束再依次入射到第一透镜（4)和第二透镜（5)，形成平行光束 出射至毛玻璃（6)，毛玻璃（6)由步进电机（7)带动，控制单元（8)控制步进电机步进，即 控制单元（8)发射TTL电脉冲给步进电机，每个TTL电脉冲使得步进电机（7)带动毛玻璃 (6)旋转或平移固定步长，经过毛玻璃(6)的平行光束形成散射的激光散斑场，调节第一光 阑（9)的孔径，限制散射的激光散斑场的视场大小后，散射的激光散斑场被变焦镜头（10) 成像至工业相机（11)的感光面，形成散射的激光散斑场图像，变焦镜头（10)能够将散射的 激光散斑场放大和缩小一定的倍数；毛玻璃(6)由起始位置每转动或平移一次的同时，控 制单元⑶发射一个TTL电脉冲送至工业相机（11)的（Ila)触发接口，工业相机（11)拍 摄并记录一次散射的激光散斑场；
[0010] 工业相机（11)将多次拍摄的散射的激光散斑场图像，即激光散斑场的图像矩阵， 以数字信号格式发送至图像采集与存储单元（12)储存；
[0011] 每一次TTL电脉冲，毛玻璃（6)由起始位置转动或平移一次，则经过毛玻璃（6)的 散射的激光散斑场变化一次，然后送至50 :50分束器（13)的第一端口（13a)进行分光形成 透射光束和反射光束，透射光束从分束器（13)的第二端口（13c)出射，反射光束从分束器 (13)的反射端口（13d)反射，将反射光束舍弃，将50 :50分束器（13)分光得到的透射光束 入射至第三透镜（14)后，形成平行光束照射到第三反射镜（15)，由第三反射镜（15)反射的 光束再次入射至第三透镜（14)恢复成汇聚光束，再次经过50 :50分束器（13)的第二端口 (13c)进行分光得到透射光束和反射光束，反射光束从端口（13b)射出，透射光束将从分束 器（13)第一端口（13a)出射，舍弃第一端口（13a)透射光束，第三透镜（14)恢复成汇聚光 束进行分光得到的从第二端口（13b)射出的反射光束进入第二光阑（16)，第二光阑（16)透 过的光束送至光电探测器（17)，光电探测器（17)将光信号转化成电信号，送至数据采集卡 (18)，数据采集卡（18)将模拟电信号转化为数字信号送至数据处理与显示模块（19)，数据 处理与显示模块（19)按存储顺序调用图像采集与存储单元（12)储存的激光散斑场的图像 矩阵，每一激光散斑场的图像矩阵与每一个光电探测器（17)探测到的信号分别进行强度 关联运算，并将关联运算结果进行显示，得到关联后的图像和该图像上的一个斑点坐标。
[0012] -种量子关联自准直仪的测角方法，包含步骤如下：
[0013] 1)激光器（1)连续发光束，该光束依次经过第一反射镜（2)、第二反射镜（3)反射 后，再依次入射到第一透镜（4)和第二透镜（5)，形成平行光束出射至毛玻璃（6);
[0014] 2)毛玻璃（6)由步进电机（7)带动，步进电机（7)受控制单元⑶控制，即控制单 元发射TTL电脉冲给步进电机（7)，每个TTL电脉冲使得电动机带动毛玻璃（6)旋转或平移 固定步长，毛玻璃（6)由起始位置转动或平移一次，散射的激光散斑场由经过毛玻璃（6)的 平行光束形成，调节第一光阑（9)的孔径，限制散射的激光散斑场的视场大小后，散射的激 光散斑场被变焦镜头（10)成像至工业相机（11)的感光面，形成散射的激光散斑场图像，变 焦镜头能够将散射的激光散斑场放大和缩小一定的倍数ω，ω称为量子放缩系数；控制单 元（8)发射一次TTL电脉冲至工业相机（11)的（Ila)触发接口，工业相机（11)记录一次 散射的激光散斑场；
[0015] 3)工业相机（11)将多次拍摄的散射的激光散斑场图像，即激光散斑场的图像矩 阵，以数字信号格式发送至图像采集与存储单元（12)储存；
[0016] 4)毛玻璃（6)由起始位置每收到一次TTL电脉冲，转动或平移一次，则经过毛玻 璃的散射的激光散斑场变化一次后，通过50 :50分束器（13)的（13a)端口，透射光束从分 束器（13)的端口（13c)出射，反射光束从分束器（13)的反射端口（13d)反射，将反射光 束舍弃，将端口（13c)的透射光束入射至第三透镜（14)，形成平行光束照射到第三反射镜 (15)；
[0017] 5)由第三反射镜（15)反射的光束再次入射至第三透镜（14)恢复成汇聚光束，再 次经过50 :50分束器（13)的端口（13c)反射至端口（13b)，投射光束将从分束器（13)端 口（13a)出射，舍弃端口（13a)透射光束，从端口（13b)反射的光束进入第二光阑（16)，第 二光阑（16)透过的光束送至光电探测器（17);
[0018] 6)光电探测器（17)将光信号转化成电信号，送至数据采集卡（18)，数据采集卡 (18) 将模拟电信号