测试装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明关于一种测试装置，特别是一种能对应不同尺寸的载板而切换不同吸附区域的测试装置。
【背景技术】
[0002]随着科技的进步，半导体电路的功能也同样日新月异，且搭载的功能越来越多样化。传统上，半导体电路在出厂前，往往会通过测试程序，以确定半导体电路中的各项功能均正常。
[0003]一般而言，是将具有半导体电路设置于测试载台上进行测试。详细来说，测试载台上配置有多个功能电路板以及多个可伸缩式连接端子(pogo pin)。其中，功能电路板是对应于所欲测试的检测项目。一般而言，测试载台上还会设有一载板，载板上设有电性接点，以与半导体电路电性连接。也就是说，在进行半导体电路的测试前，需要先将载板组装在测试载台上。
[0004]当载板设置于测试载台上时，载板会压迫可伸缩式连接端子而与可伸缩式连接端子电性接触，并进而与功能电路板电性连接。如此一来，即可通过测试载台来检测半导体电路。
[0005]然而，由于可伸缩式连接端子的数目众多(通常为数百个)，因而可伸缩式连接端子具有较大的总簧力。因此，若直接将载板设置于测试载台上，载板的重量不足以克服可伸缩式连接端子的总簧力。如此，这造成载板与可伸缩式连接端子之间电性连接的效果较差。另一方面，若是通过卡扣件来组合载板与测试载台，将造成载板压迫可伸缩式连接端子的力量并不平均。
[0006]为了克服上述的问题，目前发展出通过真空吸附的方式以将载板固设于测试载台。如此一来，除了可确保载板固设于测试载台，并且载板可确实与可伸缩式连接端子电性连接。再者，通过真空吸附的方式，载板施加于可伸缩式连接端子的力量也较为均匀。
[0007]然而，目前的测试载台仅具有单一尺寸的真空吸附区，因而测试载台只能针对单一尺寸的载板进行组装。也就是说，当载板的尺寸改变时，就需要使用不同的测试载台来进行测试。
【发明内容】
[0008]鉴于以上的问题，本发明提供一种能对应不同尺寸的载板而切换不同吸附区域的测试装置，以解决先前技术中测试载台仅能匹配单一尺寸的载板的问题。
[0009]本发明实施例提供一种测试装置，测试装置包含一测试载台、一抽气管路以及至少一制动开关。测试载台具有一承载面。承载面上具有至少一第一吸附区及至少一第二吸附区。抽气管路设置于测试载台。抽气管路具有一负压源连接口、一第一吸气口以及一第二吸气口。第一吸气口及第二吸气口分别连接第一吸附区及第二吸附区，且负压源连接口常态连通于第一吸气口。制动开关设置于测试载台。制动开关具有凸出承载面的一触发件。于触发件未受触发时，制动开关封闭负压源连接口与第二吸气口的连通状态。于触发件受朝向承载面的方向的外力按压时，制动开关开启负压源连接口与第二吸气口的连通状态。
[0010]根据上述本发明实施例所揭露的测试装置，由于制动开关的触发件可以切换负压源连接口与第二吸气口与之间的连通状态。因此，当载板的尺寸较小时，由于载板并未触发触发件，因而测试装置仅单独通过第一吸附区来吸附载板。另一方面，当载板的尺寸较大时，由于载板触发了触发件，因而测试装置可同时通过第一吸附区及第二吸附区来吸附载板。也就是说，测试装置可依据载板的大小对应开启第二吸附区来吸附载板。如此一来，即解决了先前技术中测试载台仅能匹配单一尺寸的载板的问题。
[0011]以上的关于本
【发明内容】
的说明及以下的实施方式的说明是用以示范与解释本发明的原理，并且提供本发明的权利要求书更进一步的解释。
【附图说明】
[0012]图1A为本发明一实施例所公开的测试装置搭配载板的立体示意图。
[0013]图1B为图1A的测试装置的立体示意图。
[0014]图1C为图1A的测试装置的另一立体示意图。
[0015]图1D为图1A的测试装置的上视图。
[0016]图2A为图1D的测试装置于触发件未受触发时沿A-A剖切线的剖切示意图。
[0017]图2B为图1D的测试装置于触发件未受触发时沿B-B剖切线的剖切示意图。
[0018]图3A为具有较小尺寸的载板设置于图1A的测试装置的侧视图。
[0019]图3B为具有较小尺寸的载板设置于图1A的测试装置的剖切示意图。
[0020]图4A为具有较大尺寸的载板设置于图1A的测试装置的侧视图。
[0021]图4B为具有较大尺寸的载板设置于图1A的测试装置的剖切示意图。
[0022]其中:
[0023]10测试装置
[0024]11测试载台
[0025]110承载面
[0026]111第一吸附区
[0027]1111第一密封件
[0028]1112第一吸附孔
[0029]1113第一电性接点
[0030]112第二吸附区
[0031]1121第二密封件
[0032]1122第二吸附孔
[0033]113第一尺寸承载区
[0034]114第二尺寸承载区
[0035]115定位孔
[0036]12抽气管路
[0037]121负压源连接口
[0038]122第一吸气口
[0039]123第二吸气口
[0040]13制动开关
[0041]130触发件
[0042]14止挡件
[0043]20载板
[0044]30载板
[0045]Μ中心
【具体实施方式】
[0046]以下在实施方式中详细叙述本发明的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明相关的目的及优点。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。
[0047]首先，请参阅图1Α至图1D、图2Α至图2Β。图1Α为本发明一实施例所公开的测试装置搭配载板的立体示意图。图1Β为图1Α的测试装置的立体示意图。图1C为图1Α的测试装置的另一立体示意图。图1D为图1Α的测试装置的上视图。图2Α为图1D的测试装置于触发件未受触发时沿Α-Α剖切线的剖切示意图。图2Β为图1D的测试装置于触发件未受触发时沿Β-Β剖切线的剖切示意图。
[0048]测试装置10包含一测试载台11、一抽气管路12以及至少一制动开关13。在本实施例中，测试装置10是透过抽气吸附的方式，以将一载板20(load board)固设置于测试载台11上以进行测试。图1A所绘示的载板20的尺寸大小仅用以举例说明。测试装置10如何抽气、吸附载板20，将于稍后的段落进行更详细的描述。
[0049]测试载台11具有一承载面110。承载面110可用以承载接受测试的载板。承载面110上具有至少一第一吸附区111及至少一第二吸附区112。其中，第一吸附区111及第二吸附区112是位于承载面110的不同位置，以分别对应不同尺寸大小的载板。在本实施例中，第一吸附区111的数目为二、第二吸附区112的数目为二，然并不限于此。使用者亦可依据其需求而分别更换第一吸附区111、第二吸附区112的数目。
[0050]更详细来说，可再将承载面110可分别定义出一第一尺寸承载区113以及一第二尺寸承载区114。第二尺寸承载区114大于且涵盖第一尺寸承载区113。第一尺寸承载区113是对应于具有较小尺寸的载板，而第二尺寸承载区114则是对应于具有较大尺寸的载板。亦即，第一尺寸承载区113与第二尺寸承载区114是分别对应具有不同尺寸大小的载板。换句话说，当具有较小尺寸的载板设置于承载面110上时，具有较小尺寸的载板实质上覆盖了第一尺寸承载区113，而当具有较大尺寸的载板设置于承载面110上时，具有较大尺寸的载板实质上覆盖了第二尺寸承载区114。
[0051]进一步而言，第一吸附区111位于第一尺寸承载区113之内，并且第二吸附区112位于第二尺寸承载区114之内且位于第一尺寸承载区113之外。进一步来说，在本实施例中，还可将承载面110定义出一中心M。第一吸附区111至承载面110的中心Μ的距离小于第二吸附区112至承载面110的中心Μ的距离。因此，当具有较小尺寸之载板设置于第一尺寸承载区113时，具有较小尺寸的载板覆盖了第一吸附区111，因而第一吸附区111可将载板吸附而固设于承载面110。也就是说，具有较小尺寸的载板仅藉由第一吸附区111即可固设于承载面110上，而不需要第二吸附区112进行吸附。另一方面，当具有较大尺寸的载板设置于第二尺寸承载区114时，具有较大尺寸的载板同时覆盖了第一吸附区111及第二吸附区112，因而第一吸附区111及第二吸附区112可共同将具有较大尺寸的载板吸附而固设于承载面110。亦即，具有较大尺寸的载板是同时通过第一吸附区111及第二吸附区112而固设于承载面110上。如上所述，第一吸附区111及第二吸附区112所设置的位置可满足不同尺寸大小的载板的需求。
[0052]须注意的是，上述“第一吸附区111至承载面110的中心Μ的距离小于第二吸附区112至承载面110的中心Μ的距离”的结构特征并非用以限定本发明。在本发明中，只要“第一吸附区111位于第一尺寸承载区113之内，且第二吸附区112位于第二尺寸承载区114之内且位于第一尺寸承载区113之外”即可达到相似的效果。
[0053]在本实施例中，第一吸附区111还环绕有一第一密封件1111。第一吸附区111内具有至少一第一吸附孔1112