非接触式压力/差压检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种检测装置，特别涉及一种非接触式压力/差压检测装置。
【背景技术】
[0002]现有接触式电容压力传感器，其输出存在非线性，寄生电容和分布电容影响灵敏度和测量精度，硅压力传感器对工况的温度有限制。随着工业测量领域的不断扩展，对高温工况的测量、测量精度及测量速度的不断提高，传统的接触式压力传感器已经无法满足工业界的需求，因此提供一种测量精度高、稳定性好、能测量高温介质压力的非接触式压力传感器己成为当务之亟。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于克服以上缺点，提供一种非接触式压力/差压检测装置，该检测装置不仅能测量高温介质的压力，检测两个高温介质之间的差压，而且分辨率高、稳定性好、测量精度高、使用安全可靠。
[0004]本发明是这样实现的:
[0005]一种非接触式压力/差压检测装置，其特征在于:包括基座和设置于该基座上的至少两个压力检测单元，每个压力检测单元分别包括一个与被测物体相连接且能根据被测物体压力变化而产生形变的弹性部件、一个固设于弹性部件上的参照块、一组用于向参照块发射光线的入射光源组件以及一组用于获取参照块反射或散射后光线的聚焦摄像组件，所述入射光源组件包括沿光线入射方向上依次设置于入射光轴上的光源、光线会聚透镜，所述聚焦摄像组件包括沿光线聚焦方向上依次设置于聚焦光轴上的成像聚焦透镜以及数字图像传感器，所述入射光轴和聚焦光轴偏折了设定的角度，各个弹性部件的弹性模量相同，所述非接触式压力/差压检测装置还包括一个分别与每个压力检测单元的数字图像传感器连接的智能图像处理装置，所述智能图像处理装置能获取每个压力检测单元中数字图像传感器的图像信息从而根据反射或散射后光斑在图像传感器上的位置变化计算出每个参照块的位移量，进而计算出每个被测物体压力的变化或者两个被测物体之间的差压。
[0006]进一步地，每个压力检测单元还包括一个设置于基座体内的光线反射腔，所述光线反射腔靠近参照块的一端与外部相连通，另一端位于基座体内，每个光线反射腔的开口端均固设有一个用于与被测物体相连接的连接件，各个连接件位于光线反射腔内的一端设有一个开口朝向光线反射腔的引压腔，各个连接件上设有一个用于连通对应引压腔和对应被测物体的引压孔，各个弹性部件封设于对应引压腔的开口上，各个参照块固设于对应弹性部件位于光线反射腔一侧的表面上，每个压力检测单元还包括一个设置于对应光线反射腔位于基座体内一端且与外部相连通的聚光基座安装孔以及一个设置于对应光线反射腔侧壁且与外部相连通的成像基座安装孔，所述成像基座安装孔的轴线与聚光基座安装孔的轴线偏折设定角度；该装置还包括安装于各个聚光基座安装孔上的聚光基座以及安装于各个成像基座安装孔上的成像基座，各个光线会聚透镜安装于对应聚光基座位于光线反射腔内的一端，各个光源安装于对应聚光基座内，各个成像聚焦透镜安装于对应成像基座位于光线反射腔内的一端，各个数字图像传感器安装于对应的成像基座内。
[0007]优选的，每个光线反射腔包括设置于基座上端的圆柱形空腔以及设置于基座中部且与圆柱形空腔相连通的倒圆锥形空腔，所述圆柱形空腔的上端与外部相连通且下端与倒圆锥形空腔上端相连，各个聚光基座安装孔与对应的倒圆锥形空腔的下端相连通，各个成像基座安装孔设置于对应倒圆锥形空腔的侧壁上。
[0008]优选的，每个光源上设有2-20个引脚一，每个引脚一外侧均套有绝缘子一，每个数字图像传感器上设有2-20个引脚二，每个引脚二外侧均套有绝缘子二。
[0009]优选的，各个光线反射腔均为真空腔且相连通。
[0010]优选的，所述基座、连接件、聚光基座、成像基座和参照块采用金属材料制作。
[0011 ] 优选的，所述弹性部件为恒弹性簧片。
[0012]优选的，所述光源为LED光源。
[0013]较之现有技术而言，本发明具有以下优点:
[0014](1)本发明提供的非接触式压力/差压检测装置，不仅能测量高温介质压力，检测两个高温介质之间的差压，而且分辨率高、稳定性好、测量精度高、使用安全可靠；
[0015](2)本发明提供的非接触式压力/差压检测装置，所述光线反射腔为真空腔，光传播没有能量损失，反射效果好，每个光线反射腔相连通，能保证每个腔的真空度一致，有利于差压的计算；
[0016](3)本发明提供的非接触式压力/差压检测装置，光源采用LED光源，使用寿命长;
[0017](4)本发明提供的非接触式压力/差压检测装置，结构简单，制造成本低，易于推广应用。
【附图说明】
[0018]下面参照附图结合实施例对本发明作进一步说明:
[0019]图1是本发明非接触式压力/差压检测装置的结构示意图；
[0020]图2是图1的W向视图；
[0021]图3是本发明非接触式压力/差压检测装置中每个检测单元的光路示意图。
[0022]图中符号说明:1、弹性部件，2、参照块，3、入射光轴，4、聚焦光轴，5、光源，5_1、引脚一，5-2、绝缘子一，6、光线会聚透镜，7、成像聚焦透镜，8、数字图像传感器，8-1、引脚一，8-2、绝缘子二，9、基座，10、光线反射腔，10-1、圆柱形空腔，10-2、倒圆锥形空腔，11、连接件，12、引压腔，13、引压孔，14、聚光基座，15、成像基座。
【具体实施方式】
[0023]下面结合说明书附图和具体实施例对本
【发明内容】
进行详细说明:
[0024]一种非接触式压力/差压检测装置，其特征在于:包括基座9和设置于该基座9上的至少两个压力检测单元，每个压力检测单元分别包括一个与被测物体相连接且能根据被测物体压力变化而产生形变的弹性部件1、一个固设于弹性部件1上的参照块2、一组用于向参照块2发射光线的入射光源组件以及一组用于获取参照块2反射或散射后光线的聚焦摄像组件，所述入射光源组件包括沿光线入射方向上依次设置于入射光轴3上的光源5、光线会聚透镜6，所述聚焦摄像组件包括沿光线聚焦方向上依次设置于聚焦光轴4上的成像聚焦透镜7以及数字图像传感器8，所述入射光轴3和聚焦光轴4偏折了设定的角度，各个弹性部件1的弹性模量相同，所述非接触式压力/差压检测装置还包括一个分别与每个压力检测单元的数字图像传感器8连接的智能图像处理装置，所述智能图像处理装置能获取每个压力检测单元中数字图像传感器8的图像信息从而根据反射或散射后光斑在图像传感器8上的位置变化计算出每个参照块2的位移量，进而计算出每个被测物体压力的变化或者两个被测物体之间的差压。
[0025]进一步地，每个压力检测单元还包括一个设置于基座9体内的光线反射腔10，所述光线反射腔10靠近参照块2的一端与外部相连通，另一端位于基座9体内，每个光线反射腔10的开口端均固设有一个用于与被测物体相连接的连接件11，各个连接件11位于光线反射腔10内的一端设有一个开口朝向光线反射腔10的引压腔12，各个连接件11上设有一个用于连通对应引压腔12和对应被测物体的引压孔13，各个弹性部件1封设于对应引压腔12的开口上，各个参照块2固设于对应弹性部件1位于光线反射腔10 —侧的表面上，每个压力检测单元还包括一个设置于对应光线反射腔10位于基座9体内一端且与外部相连通的聚光基座安装孔以及一个设置于对应光线反射腔10侧壁且与外部相连通的成像基座安装孔，所述成像基座安装孔的轴线与聚光基座安装孔的轴线偏折设定角度；该装置还包括安装于各个聚