功能元件、电子设备及移动体的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种功能元件、电子设备以及移动体。
【背景技术】
[0002]近年来，利用一种例如??圭 MEMS (Micro Electro Mechanical System:微型机电系统)技术来开发一种对加速度等的物理量进行检测的物理量传感器(功能元件)。
[0003]例如在专利文献1中记载有一种物理量传感器，其中，包括:可动体，其被设置于基板的上方；可动电极部，其从可动体延伸；第一固定电极部，其被设置于可动电极部的一侦;第二固定电极部，其被设置于可动电极部的一侧；
[0004]所述物理量传感器分别对可动电极部与第一固定电极部之间的静电电容、和可动电极部与第二固定电极部之间的静电电容进行测定，并根据这些测定结果(利用所谓的差动检测方式)而对物理量进行检测。
[0005]在这种物理量传感器中，利用通过第一配线而与第一固定电极部连接的第一衬垫、和通过第二配线而与第二固定电极部连接的第二衬垫，对固定电极部与可动电极部之间的静电电容进行检测。
[0006]但是，在专利文献1的物理量传感器中，第一配线的与第二固定电极部交叉的部分数、和第二配线的与第一固定电极部交叉的部分数有较大不同。因此，在专利文献1的物理量传感器中，第一配线与第二配线间电特性(阻抗和寄生电容)的差异较大。因此，在可动电极部与第一固定电极部之间的静电电容、和可动电极部与第二固定电极部之间的静电电容上，将附加有不同的寄生电容，从而存在降低物理量的检测精度的可能性。
[0007]专利文献1:日本特开2012-98208号公报
【发明内容】
[0008]本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种能够抑制物理量的检测精度降低的功能元件。另外，本发明的几个方式所涉及的目的之一在于，提供一种包括上述功能元件的电子设备以及移动体。
[0009]本发明是为了解决上述课题的一部分分而完成的，能够作为以下的方式或应用例来实现。
[0010]应用例1
[0011]本应用例所涉及的功能元件包括:第一电极部；第二电极部；第一配线，其与所述第一电极部相连接；第二配线，其与所述第二电极部相连接；所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数或所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数，而满足在其50%以下。
[0012]在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。例如，在作为功能元件而用于电容检测型的物理量传感器中的情况下，将降低第一配线与第二配线之间产生的静电电容的付加量的差。因此，在这种物理量传感器中，利用所谓的差动检测方式，能够抵消第一配线以及第二配线的寄生电容的大部分，从而能够更加准确地检测物理量。
[0013]应用例2
[0014]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，在俯视观察时，所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之差，相对于所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之中较大的一方的面积，而满足在其50%以下。
[0015]在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。例如在作为能够元件而用于电容检测型的物理量传感器中的情况下，将减低第一配线与第二配线之间产生的静电电容的付加量的差。因此，在这种物理量传感器中，利用所谓的差动检测方式，能够抵消第一配线以及第二配线的寄生电容的大部分，从而能够更加准确地检测物理量。
[0016]应用例3
[〇〇17] 在本应用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数相等。
[0018]在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。尤其作为电容检测型的物理量传感器，能够更加正确地检测物理量。
[0019]应用例4
[〇〇2〇] 本应用例所涉及的功能元件包括:第一电极部；第二电极部；第一配线，其与所述第一电极部相连接；第二配线，其与所述第二电极部相连接；所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，在俯视观察时，所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之差，相对于所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和之中较大一方的面积，而满足在其50%以下。
[0021]在这种功能元件中能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。例如在作为功能元件而用于电容检测型的物理量传感器中的情况下，将降低第一配线与第二配线之间产生的静电电容的付加量的差。因此，在这种物理量传感器中，利用所谓的差动检测方式，能够抵消第一配线以及第二配线的寄生电容的大部分，从而能够更加准确地检测物理量。
[0022]应用例5
[0023]在本应用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部的交叉面积的总和与所述第二交叉部的交叉面积的总和相等。
[0024]在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。尤其作为电容检测型的物理量传感器，能够更加准确地检测物理量。
[0025]应用例6
[0026]在本应用例所涉及的功能元件中，可以使所述第一交叉部与所述第二交叉部的个数相等。
[0027]在这种功能元件中，能够降低功能元件的配线之间的寄生电容的误差。尤其作为电容检测型的物理量传感器，能够更加准确地检测物理量。
[0028]应用例7
[0029]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括:可动体，其能够沿第一轴进行移位；第一可动电极部，其从所述可动体延伸；
[0030]固定电极部，其包括作为被配置于所述第一可动电极部的一侧的第一电极部的第一固定电极部、和作为被配置于另一侧的第二电极部的第二固定电极部。
[0031]在这种功能元件中，能够作为电容检测型的物理量传感器使其发挥功能。
[0032]应用例8
[0033]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括与所述第一可动电极部相连接的第三配线，所述第三配线与所述第一配线以及所述第二配线中的至少一方的配线交叉。
[〇〇34]在这种功能元件中，由于能够使例如连接于固定电极部的配线与连接于可动电极部的配线交叉，因此提高了配线设计的自由度。
[0035]应用例9
[0036]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，包括电浮置的第四配线，所述第四配线与所述第一配线以及所述第二配线中的至少一方的配线交叉。
[0037]在这种功能元件中，由于通过准备作为虚设配线的第四配线，并使其与第一配线以及第二配线中的至少一方的配线交叉，从而能够使第一配线和第二配线上的交叉点数相等，因此能够更加准确地检测物理量。
[0038]应用例10
[0039]在本应用例所涉及的功能元件中，也可以采用如下方式，S卩，包括向与所述第一可动电极部相反的一侧延伸的第二可动电极部，所述固定电极部包括被配置于所述第二可动电极部的一侧的第三固定电极部、和被配置于另一侧的第四固定电极部，所述第一配线经过第一分支部而连接于所述第一固定电极部和所述第三固定电极部，所述第二配线经过第二分支部而连接于所述第二固定电极部和所述第四固定电极部。
[0040]在这种功能元件中，在为了提高灵敏度而使可动电极部向可动体的两侧延伸的类型的物理量传感器中，通过在第一配线和第二配线的各个配线上设置分支部，从而能够对称地配置配线，从而能够降低因第一配线与第二配线的配线长度的差异而引起的电特性的不一致的影响。
[0041]应用例11
[0042]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述可动体、所述可动电极部、所述固定电极部、所述第一配线以及所述第二配线被配置于基板上，在所述第一交叉部以及所述第二交叉部中的至少一方的交叉部中，交叉中的一方的配线被设置于所述基板上所设置的槽的内部。
[〇〇43]在这种功能元件中，能够容易地构成第一配线和第二配线的交叉部。
[0044]应用例12
[0045]在本应用例所涉及的功能元件中，也可以使交叉中的另一方的配线通过包含硅的结构体而被设置。
[0046]在这种功能元件中，能够容易地构成第一配线和第二配线的交叉部。
[0047]应用例13
[0048]在本应用例所涉及的功能元件中，可以采用如下方式，S卩，所述第一配线以及所述第二配线具备互相并行的部分，在所述并行的部分中，所述第一配线以及所述第二配线中的一方的配线被设置于所述基板上所设置的槽的内部。
[〇〇49]在这种功能元件中，能够在第一配线以及第二配线的互相并行的部分中，减小第一配线与第二配线之间的寄生电容。
[0050]应用例14
[0051]在本应用例所涉及的功能元件中，也可以使所述第一配线以及所述第二配线的电特性相等。
[0052]在这种功能元件中，通过使第一配线和第二配线的电特性相等，从而能够以更高的灵敏度度进行检测。
[0053]应用例15
[0054]本应用例所涉及的电子设备包括应用例1至12中的任意一例所述的功能元件。
[0055]在这种电子设备中，由于包括本应用例所涉及的功能元件，因此在作为例如电容检测型的物理量传感器而利用的情况下，能够准确地检测物理量。
[0056]应用例16
[0057]本应用例所涉及的移动体包括应用例1至12中的任意一例所述的功能元件。
[0058]由于在这种移动体中包括本应用例所涉及的功能元件，因此在作为例如电容检测型的物理量传感器而利用的情况下，能够准确地检测物理量。
【附图说明】
[0059]图1为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的俯视图。
[0060]图2为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的剖视图。
[〇〇61]图3为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的剖视图。
[0062]图4为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖视图。
[0063]图5为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖视图。
[0064]图6为示意性地表示第一实施方式所涉及的功能元件的制造工序的剖视图。
[〇〇65]图7为示意性地表示第二实施方式所涉及的功能元件的俯视图。