电气检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及电气检测装置，通过使电气接触探针与电路基板的电路图案所具有的电气接点接触来对电路图案进行电气检测。
【背景技术】
[0002]以往，对于在电路基板上形成的电路图案，通过有无电导通来进行良品不良品的判断，在该情况下，使电气接触探针与在电路基板的电路图案上设置的电气接点接触来进行电气检测(例如，参照专利文献I)。在该基板检测装置(电气检测装置)中，在与检测夹具一体移动的主照相机对在搬送台上设置的台定位标识以及基板定位标识进行拍摄的同时，在搬送台上安装的辅助照相机对在检测夹具上设置的夹具定位标识进行拍摄。然后，根据以这种方式拍摄的标识图像自动求出基板与检测夹具之间的相对位置关系，进行基板的检测。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献I:(日本)特开2000-55971号公报
【发明内容】
[0006]然而，在现有的电气检测装置中，由于主照相机和辅助照相机所进行的基板与检测夹具之间的位置确认、使基板与电气接触探针接触的处理是分别进行的，因此存在处理时间长，且基板与电气接触探针之间的位置容易产生误差的问题。
[0007]本发明为了应对上述问题而做出的，其目的在于提供一种通过同时进行电气图案的位置识别与检测，来实现处理时间的缩短，同时实现电路图案与电气接触探针的定位精度的提高的电气检测装置。需要说明的是，在下述本发明的各构成要件的记载中，为使本发明容易理解，在括号内标注了实施方式的对应部位的附图标记，但本发明的构成要件不应被解释为限于实施方式的附图标记所表示的对应部位的结构。
[0008]为了解决上述问题，本发明的电气检测装置的结构上的特征在于，对电路基板
(11)上的多个第一电路图案(Ilb)进行电气检测，多个第一电路图案(Ilb)分别具有第一电气接点组(Ilc)并且以一定的间距沿直线配置，该电气检测装置具备:电气检测夹具(20a、30a、40a、50a)，其具有N组第一电气接触探针组(25)，该N组第一电气接触探针组(25)同时与属于多个第一电路图案中的N个第一电路图案的N组第一电气接点组接触，电气检测装置相对于电路基板依次沿直线移动以使N组第一电气接触探针组(25)移动到下一个第一电路图案的位置，并且在每次移动后使N组第一电气接触探针组与N组第一电气接点组接触而依次检测多个第一电路图案;和图像识别用照相机(26、36、46、56)，其设置于电气检测夹具而与电气检测夹具一起移动，依次识别所要检测的多个第一电路图案的位置;使电气检测夹具依次移动的各移动距离为多个第一电气图案的间距(P)的N倍，并且在电气检测夹具一边移动一边对第一电路图案进行检测时，图像识别用照相机在电气检测夹具对第一电路图案的检测中，识别电气检测夹具此后检测的第一电路图案。
[0009]在该情况下，所述值N为I或2以上的整数值。具体而言，例如，如果值N为I，则第一接触探针组分别与属于I个第一电路图案的第一电气接触点组对应。另外，如果值N为2，则第一接触探针组分别与属于2个第一电路图案的第一电气接触点组对应。而且，电气检测夹具相对于电路基板依次移动的移动距离，在值N为I时与多个第一电路图案的间距相同，在值为2时为多个第一电路图案的间距的2倍。
[0010]另外，电气检测夹具此后检测的第一电路图案，例如，是通过下一次移动而检测的第一电路图案。需要说明的是，此后检测的电路图案，可以不是通过下一次移动所检测的第一电路图案，而是通过下下次或再下一次的移动而检测的第一电路图案。
[0011]在以这种方式构成的本发明中，由于电气检测夹具每次移动第一电路图案的间距的N倍，因此在电气检测夹具对第一电路图案的检测结束，电气检测夹具继续移动后，第一电气接触探针组及图像识别用照相机，分别与规定的第一电路图案对置。因此，使图像检测用照相机位于电气检测夹具相对于电路基板移动时的移动方向的前方侧，使第一电气接触探针组位于后方侧，能够一边依次确认第一电路图案的位置，一边依次检测第一电路图案。另外，在通过第一电气接触探针组与第一电气接点组的接触来检测电路图案时，使图像识别用照相机识别第一电气接触探针组此后所检测的第一电路图案。因此，图像识别用照相机对第一电路图案的位置的确认和第一电气接触探针组对第一电路图案的检测同时进行，能够实现处理时间的缩短。
[0012]另外，将电气检测夹具相对于电路基板移动的距离设定为第一电路图案的间距的N倍(整数倍)，因此在图像识别用照相机识别规定的第一电路图案之后、该第一电路图案被检测之前，能够使电气检测夹具移动的距离最小。由此，第一电路图案与第一电气接触探针组的定位精度也得以提高。
[0013]另外，在本发明中，如前所述，当值N为I时，I组电气接触探针组一边与I个第一电路图案的第一电气接触点组接触而对每一个第一电路图案进行检测，图像识别用照相机一边识别每一个第一电路图案的位置。另外，当值为2时，2组第一电气接触探针组同时与2个第一电路图案的第一电气接点组接触，同时能够进行每2个第一电路图案的检测。而且，在该情况下，如果将图像识别用照相机设置在I组第一电气接触探针组附近，则图像识别用照相机识别每隔I个的第一电路图案的位置。
[0014]需要说明的是，在本发明中，在使电气检测夹具开始移动之前的最初的处理时，仅进行图像识别用照相机对第一电路图案的位置的识别，在电气检测夹具移动结束的最后的处理时，仅进行第一电气接触探针组对第一电路图案的检测。而且，本发明的“在电气检测夹具一边移动一边对第一电路图案进行检测时，图像识别用照相机在电气检测夹具对第一电路图案的检测中，识别电气检测夹具此后检测的第一电路图案”是指，同时进行在所述最初的处理与最后的处理之间的，电气检测夹具对第一电路图案的检测和图像识别用照相机对第一电路图案的识别。
[0015]另外，本发明的电气检测装置的其他结构上的特征在于，在第一电气接触探针组位于第一电气接点组的位置时的第一电气接触探针组的中心位置(O1、02、O I’、02 ’)、与识别第一电路图案时的图像识别用照相机的中心位置(0、0’)之间的沿着所述电气检测夹具的移动方向的距离是多个所述第一电路图案的间距(P)的整数倍。
[0016]该情况下的图像识别用照相机的位置，无需特别地在图像识别用照相机所拍摄的图像的中心处位于第一电路图案的一定点，图像识别用照相机只要处于能够识别第一电路图案的位置的部位即可。因此，图像识别用照相机的设置位置处于具有一定宽度的范围。也就是说，即使第I电路图案的一定点位于从图像识别用照相机所拍摄的图像的中心偏离的位置，只要对各第一电路图案进行拍摄时该一定点位于所拍摄的图像中的相同位置即可。
[0017]因此，图像识别用照相机可以在能够拍摄上述一定点的范围内设定设置位置。另夕卜，图像识别用照相机既可以设置在离电路基板近的位置，也可以设置在离电路基板远的位置。根据本发明，能够在图像识别用照相机的设置位置上具有某种程度的自由度，并且使图像识别用照相机的设置位置与多个电气接触探针的设置位置之间的间距为第一电路图案的间距的整数倍。
[0018]另外，本发明的电气检测装置的另一结构上的特征在于，在第一电路图案上设有基准标识(Ild)，图像识别用照相机通过拍摄包含基准标识的位置识别区域(26c、26c’)来识别第一电路图案的位置。根据本发明，能够使图像识别用照相机所拍摄的包含基准标识的位置识别区域成为比第一电路图案的面积小的区域，进而能够使图像识别用照相机的设置位置上具有自由度，并且使图像识别用照相机的设置位置与电气接触探针组的设置位置之间的间隔为第一电路图案的间距的整数倍。
[0019]另外，本发明的电气检测装置的其他结构上的特征在于，在电路基板上，与沿直线配置的多个第一电路图案平行且分别具有第二电气接点组(He)的多个第二电路图案(Ilb)以一定的间距沿直线配置，电气检测夹具还具有N组第二电气接触探针组(25)，N组第二电气接触探针组(25)同时与属于多个第二电路图案中的N个第二电路图案的N组第二电气接点组接触，在电极检测夹具相对于电路基板的每次移动后使N组第二电气接触探针组与N组第二电气接点组接触，在