一种定时腐蚀装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种定时腐蚀装置。
【背景技术】
[0002]硬质薄膜的应用广泛，其力学性能对镀有硬质薄膜的零件的性能影响很大。几乎所有的薄膜中存在着某种残余应力，特别是硬质薄膜，薄膜的残余应力对薄膜的其它性能有明显的影响，大的残余应力甚至可以导致薄膜的整体失效。为了深入研宄薄膜残余应力的本质及其影响，需要建立精确的测量方法。
[0003]目前有一些实验方法通过逐层剥离不锈钢基体表面的硬质薄膜，来分析硬质薄膜的应力沿着层深的分布。在此过程中，需要对薄膜进行逐层腐蚀剥离。为了使每次腐蚀剥离的膜层厚度尽量一致，需要控制腐蚀时间。但是，目前还没有专门的定时腐蚀装置。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术中没有专门的定时腐蚀装置用来对不锈钢基体表面的硬质薄膜进行逐层剥离的缺陷，提供一种定时腐蚀装置，可以用来对不锈钢基体表面的硬质薄膜进行逐层剥离。
[0005]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种定时腐蚀装置，包括:
[0006]底座；
[0007]从所述底座向上延伸的支柱；
[0008]连接在所述支柱顶端的横梁；
[0009]设置在所述横梁上的滑动支架；
[0010]用于容纳基片样品的样品框；
[0011]用于驱动所述样品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之间移动的垂直驱动汽缸，所述垂直驱动汽缸设置在所述滑动支架上，所述样品框连接在所述垂直驱动汽缸上;
[0012]用于容纳腐蚀溶液的腐蚀箱，顶部开口且设置在所述横梁下方；
[0013]控制箱，包括定时器，所述控制箱与所述垂直驱动汽缸电连接。
[0014]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述定时腐蚀装置还包括与所述腐蚀箱并排排列的清洗箱，所述清洗箱内设置有用于清洗基片样品的多个喷头，所述滑动支架可滑动地设置在所述横梁上。
[0015]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述定时腐蚀装置还包括用于驱动所述滑动支架所述横梁上滑动的水平驱动汽缸，所述水平驱动汽缸与所述控制箱电连接。
[0016]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述腐蚀箱内设置有第一烧杯。
[0017]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述喷头包括第一水喷头和第二水喷头，所述第一水喷头的高度比第二水喷头低，且第一水喷头倾斜朝上，第二水喷头倾斜朝下。
[0018]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述喷头还包括第一酒精喷头和第二酒精喷头，第一酒精喷头的高度比第二酒精喷头低，且第一酒精喷头倾斜朝上，第二酒精喷头倾斜向下。
[0019]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述定时腐蚀装置还包括用于分别控制所述第一水喷头、第二水喷头、第一酒精喷头和第二酒精喷头的启闭的多个阀门，所述多个阀门与所述控制箱电连接。
[0020]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述定时腐蚀装置还包括清洗液箱，所述清洗液箱包括用于容纳水的水箱和用于容纳酒精的酒精箱；所述定时腐蚀装置还包括用于从所述水箱泵取水的第一电泵、以及用于从所述酒精箱泵取酒精的第二电泵，所述第一电泵通过管路与所述第一水喷头和第二水喷头连接，所述第二电泵通过管路与所述第一酒精喷头和第二酒精喷头连接。
[0021]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述水箱和酒精箱上，均设置有液面观察窗。
[0022]根据本实用新型所述的定时腐蚀装置，所述横梁上设置有导向结构，所述滑动支架包括设置在所述导向结构内的滑动部、以及从所述滑动部延伸出来的延伸部，所述垂直驱动汽缸设置在所述延伸部上。
[0023]实施本实用新型的定时腐蚀装置，具有以下有益效果:通过定时器预设腐蚀时间，可以设定每次腐蚀的时间，使数次腐蚀保持在相近水平，从而为逐层腐蚀和研宄硬质薄膜沿层深分布提供设备支持。通过本实用新型的定时腐蚀设备，可以实现硬质薄膜被较均匀地逐层去除，从而实现对硬质薄膜残余应力的有效测量。
【附图说明】
[0024]下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0025]图1是本实用新型中定时腐蚀装置的示意图；
[0026]图2是本实用新型中定时腐蚀装置的主视图；
[0027]图3是本实用新型中定时腐蚀装置的侧视图。
【具体实施方式】
[0028]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0029]图1是本实用新型中定时腐蚀装置100的示意图；图2是本实用新型中定时腐蚀装置100的主视图；图3是本实用新型中定时腐蚀装置100的侧视图。如图1-3所示，本实用新型的定时腐蚀装置100包括底座101、从底座101向上延伸的两个支柱102、以及连接在两个支柱102的顶端之间的横梁103。在横梁103上设置有导向结构104，该导向结构104可以是如图所示的导向槽，也可以是导向轨。
[0030]在导向结构104内可滑动地设置有滑动支架105。该滑动支架105包括设置在导向结构104内的滑动部105a、以及从滑动部105a延伸出来的延伸部105b。在滑动支架105上，设置有用于驱动滑动支架105沿着水平方向往复运动的水平驱动汽缸(未图示)。在滑动支架105的延伸部105b上，设置有垂直驱动汽缸106。定时腐蚀装置100还包括连接在垂直驱动汽缸106上并被垂直驱动汽缸106带动从而在上下方向上往复运动的样品框107。垂直驱动汽缸106的缸体可固定在延伸部105b上，而样品框107连接在垂直驱动汽缸106的活塞杆下方。表面附有硬质薄膜的基体样品(例如，不锈钢样品)可以被放置在样品框107 中。
[0031]在底座101上还设置有控制箱108。控制箱108的上方设有腐蚀箱109。但是腐蚀箱109的位置不限于此。
[0032]腐蚀箱109的顶部开口。在腐蚀箱109内放置有第一烧杯111。第一烧杯111内装有腐蚀溶液。该腐蚀溶液可以由浓度为5.6mol/l的氢氧化钾溶液、草酸钾饱和溶液、以及质量比为30%的过氧化氢水溶液混合而成，这三种成分可以有不同的比例，比例的不同会导致腐蚀速度不同。但是混合而成的溶液只会腐蚀基体样品表面的硬质薄膜，而不会腐蚀基体样品。
[0033]定时腐蚀装置100还包括与腐蚀箱109并排排列的清洗箱110，腐蚀箱109和清洗箱110均设置在