机台夹具开度的测量工具的制作方法

文档序号:8979291阅读:624来源:国知局
机台夹具开度的测量工具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及测量工具的技术领域,特别是关于一种机台夹具开度的测量工具。
【背景技术】
[0002]阵列基板是液晶显示装置的重要组成部分,在阵列基板的加工过程中,需通过PVD (Physical Vapor Deposit1n,物理气相沉积)在玻璃基板上形成多层金属层,为保证玻璃基板在溅镀过程中不发生位置偏移,PVD溅镀设备的放置平台上设有用于固定玻璃基板的夹具,而由于阵列基板的PVD制程为在玻璃基板上进行整面镀膜,因而夹具固定玻璃基板的固定方式为玻璃基板侧边固定。
[0003]图1为玻璃基板在溅镀设备上的摆放示意图。如图1所示,玻璃基板30放置在放置平台12上,放置平台12的四周设有用于定位玻璃基板30的夹具11,夹具11包括夹具本体111与卡舌112,调整夹具11与放置平台12之间的距离Dl时,也即,调整夹具11的开度时,既要保证相对的夹具本体111之间的距离大于玻璃基板30的尺寸,还需保证玻璃基板30位于卡舌112的作用范围内,例如卡舌112的长度为3_,调整时夹具11与放置平台12之间的距离Dl (即夹具11的开度)优选为1.5mm±0.5mm。夹具11的开度调整通常在放置玻璃基板30之前进行,在调整好夹具11的开度后,将夹具11翻转至图1中所示的虚线位置,待玻璃基板30摆放在放置平台12上,再使夹具11复位对玻璃基板30进行定位。然而,由于目前没有专门用于测量夹具开度的工具,每次放置玻璃基板前只能通过目测的方式对夹具的位置进行调整,存在无法统一夹具开度标准的问题,而不同的人目测判定的标准不同,容易导致夹具的开度调整过小或过大,造成玻璃基板破片或移位,进而造成产能损失。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型的目的在于提供一种机台夹具开度的测量工具,可提高夹具开度调整的准确度。
[0005]本实用新型的机台夹具开度的测量工具包括工具本体以及开设于该工具本体上的夹具卡位口与第一刻度窗,该第一刻度窗上设有用于指示夹具开度的刻度值,该工具本体通过该夹具卡位口与夹具抵靠定位而摆放在机台的放置平台上,保持该夹具与该夹具卡位口抵靠并调整该夹具的位置,使该放置平台的与该夹具对应的边缘对准该第一刻度窗上相应的刻度值。
[0006]进一步地,该夹具包括夹具本体与卡舌,该夹具卡位口的宽度大于该夹具本体的宽度。
[0007]进一步地,该放置平台的四周设有若干通孔,该夹具本体由该通孔中伸出,该夹具卡位口与该夹具本体相抵靠,该第一刻度窗的刻度值用于指示该通孔的与该卡舌对应的一侧边缘和该夹具本体之间的距离。
[0008]进一步地,该夹具卡位口的两侧分别对称设有该第一刻度窗,该第一刻度窗沿该夹具卡位口的深度方向延伸。
[0009]进一步地,该夹具卡位口包括第一边、第二边以及连接该第一边与该第二边的第三边,该第一边、该第二边与该第三边围成一矩形卡位口,该第三边与该第一刻度窗的起始刻度线持平。
[0010]进一步地,该夹具卡位口位于该工具本体的其中一侧,该侧的边缘与该第一刻度窗之间的距离小于该夹具卡位口的深度。
[0011]进一步地,该工具本体上还设有第二刻度窗,该第二刻度窗位于该夹具卡位口的两侧,该放置平台的上表面设有基准线,调整该夹具使该基准线与各第二刻度窗上相同的刻度对准而使该夹具与该放置平台的边缘平行。
[0012]进一步地,该第二刻度窗在该夹具定位口的两侧对称分布,该第二刻度窗与该第一刻度窗平行,该第二刻度窗之间的距离大于该第一刻度窗之间的距离,该第一刻度窗与该第二刻度窗为长条形通孔。
[0013]进一步地,该第二刻度窗与该工具本体的设有该夹具卡位口的一侧边缘之间的距离大于该第一刻度窗与该侧边缘之间的距离。
[0014]进一步地,该第一刻度窗与该第二刻度窗在该夹具卡位口的宽度方向上的投影部分重合,该第一刻度窗与该第二刻度窗上对应该重合部分的刻度值一一对应相等。
[0015]本实用新型的实施例中,机台夹具开度的测量工具设有夹具卡位口与第一刻度窗,通过夹具卡位口与夹具相抵而使工具本体定位摆放,通过调整机台夹具,使该放置平台的边缘对准该第一刻度窗上的相应刻度,即可完成夹具开度调整,定位准确,使用方便。
【附图说明】
[0016]图1为玻璃基板在溅镀设备上的摆放示意图。
[0017]图2为本实用新型实施例中机台夹具开度的测量工具的结构示意图。
[0018]图3为本实用新型实施例中机台夹具开度的测量工具的使用示意图。
【具体实施方式】
[0019]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对本实用新型的【具体实施方式】、结构、特征及其功效,详细说明如后。
[0020]图2为本实用新型实施例中机台夹具开度的测量工具的结构示意图。图3为本实用新型实施例中机台夹具开度的测量工具的使用示意图。如图2与图3所示,本实用新型的机台夹具开度的测量工具20包括工具本体21以及开设于工具本体21上的夹具卡位口 22与第一刻度窗23,第一刻度窗23为一长条形通孔,工具本体21在对应该长条形通孔的长边的一侧设有刻度值231 (图中仅示出刻度线),夹具11包括夹具本体111与卡舌112 (请结合图1),放置平台12的四周设有若干通孔121(图3中仅示出一个通孔121),夹具本体111由通孔121中伸出,卡舌112用于定位摆放在放置平台12上的玻璃基板30(图3未示出,请参见图1),工具本体21通过夹具卡位口 22与夹具11抵靠定位而摆放在机台的放置平台12上,第一刻度窗23的刻度值231用于指示夹具11的开度,即图1所示Dl。
[0021]需要说明的是,由于本实施例中放置平台12设有通孔121,夹具11设置在通孔121中,玻璃基板30放置在夹具11之间,因此,夹具11的开度即为通孔121的与卡舌112对应的一侧边缘和夹具本体111之间的距离(相当于图1所示Dl)。而当放置平台12未设置通孔121而将夹具11直接设置在放置平台12的侧边时,夹具11的开度即为放置平台12的与夹具11对应的边缘与夹具11之间的距离。
[0022]具体地,夹具卡位口 22位于工具本体21的其中一侧,夹具卡位口 22包括第一边221、第二边222与第三边223,第三边223连接第一边221与第二边222,从而围成一矩形的夹具卡位口 22。夹具卡位口 22的宽度,也即,第一边221与第二边222之间的距离,大于夹具本体111的宽度。在本实施例中,第一刻度窗23为2个,在夹具卡位口 22的两侧对称设置,且第一刻度窗23沿夹具卡位口 22的深度方向延伸,也即,沿第一边221与第二边222的延长线平行方向延伸,第三边223与第一刻度窗23的起始刻度线持平。特别地,第一刻度窗23与工具本体21设有夹具卡位口 22的一侧的边缘之间的距离D3小于夹具卡位口 22的深度D2,从而可在夹具11与夹具卡位口 22抵靠时,便于观察通孔121的与卡舌112对应的一侧边缘与第一刻度窗23的起始刻度线之间的相对位置。在本实施例中,夹具卡位口22的深度D2为1.5mm,第一刻度窗23与工具本体21设有夹具卡位口 22的一侧的边缘之间的距离D3为1mm,夹具本体111前端
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