空隙配置构造体的制作方法_4

文档序号:10264822阅读:来源:国知局
与图4进行比较,则可知在图7中的空隙配置构造体的表面流过的电流的密度(尤其是各空隙部的内壁(例如从各空隙部的内壁的斜视方向观察时为左上的角部分)的电流密度)变得比图4的情况大。
[0084]如此,本实用新型的空隙配置构造体通过在单位构造体中具有至少一个不是与其他相同的形状(相同的朝向)的空隙部,从而照射电磁波时的空隙配置构造体的表面的电流密度分布大幅变化(参照图4以及图7)。由此,能够减少空隙配置构造体的表面的电流密度小的地方(图中的黑色较浓的地方)的比率,尤其是能够增大空隙部的内壁的电流密度(图中的黑色较淡的地方)。因而,能够增大被测定物附着于空隙配置构造体时(尤其是附着于空隙部的内壁时)的散射电磁波的特性变化,能够提升测定灵敏度。
[0085](比较例I)
[0086]作为比较例I的空隙配置构造体,使用的是:在X轴和Y轴方向上周期性配置图8的立体图所示的单位构造体的空隙配置构造体。在图8所示的单位构造体中,2个空隙部之中的下侧的第2空隙部Ilb成为与图1所示的空隙部11上下反转的形状,其他的第I空隙部Ila是与图1相同的形状。如此,图8所示的单位构造体被设计成相对于Y轴方向(相对于与XZ面平行的面)具有镜像对称性。另外,导体的厚度(Z方向)为20 μ m,材质为理想导体。
[0087]针对比较例I的空隙配置构造体,与上述现有例同样地求出透过率频谱。在图9中示出所获得的透过率频谱。由图9可知,在比较例I中未产生谷值波形。
[0088](比较例2)
[0089]在比较例2中,作为空隙配置构造体,使用的是:在X轴和Y轴方向上周期性配置图10的立体图所示的单位构造体的空隙配置构造体。在图10所示的单位构造体中,4个空隙部之中的左下以及右上的2个第2空隙部Ilb成为与图1所示的空隙部11上下反转的形状,其他的2个第I空隙部Ila是与图1相同的形状。如此,图10所示的单位构造体被设计成相对于Y轴方向(相对于与XZ面平行的面)具有镜像对称性。另外,导体的厚度(Z方向)为20 μ m,材质为理想导体。
[0090]针对比较例2的空隙配置构造体,与上述现有例同样地求出透过率频谱。在图11中示出所获得的透过率频谱。由图11可知,在比较例2中,只是在0.9THZ附近略微产生谷值波形。鉴于此,认为即便在单位构造体中包含第I空隙部和具有与该第I空隙部不同的形状的第2空隙部的情况,单位构造体的整体形状相对于与空隙配置构造体的主面正交的给定的假想面为镜像对称时,透过谱也难以产生谷值波形。
[0091](实施例2)
[0092]作为实施例2的空隙配置构造体,使用的是:在X轴和Y轴方向上周期性配置图12的立体图所示的单位构造体的空隙配置构造体。在图12所示的单位构造体中,仅9个空隙部之中的右下的第2空隙部Ilb成为与图1所示的空隙部11上下反转的形状,其他的8个第I空隙部Ila是与图1相同的形状。如此,为了生成谷值波形,图12所示的单位构造体被设计成相对于Y轴方向(相对于与XZ面平行的面)不具有镜像对称性。另外,导体的厚度(Z方向)为20 μ m,材质为理想导体。
[0093]针对实施例2的空隙配置构造体,与上述现有例同样地求出透过率频谱。在图13中示出所获得的透过率频谱。由图13可知,能够在频率0.917362THZ (917.362GHz)处生成尖锐的谷值波形。
[0094]根据以上的结果,针对透过率频谱的谷值波形,按照图11 (比较例2)、图6 (实施例I)、图13 (实施例2)、图3 (现有例)的顺序变得尖锐,因此相对于单位构造体中所包含的空隙部的全部数量,按照相同形状的空隙部(上述第I空隙部)的比例为2/4的情况、为3/4的情况、为8/9的情况、为1/1的情况的顺序,谷值波形变得尖锐。
[0095]另一方面,根据图4(现有例)和图7(实施例1)的比较可知,相对于单位构造体中所包含的空隙部的全部数量,相同形状的空隙部(上述第I空隙部)的比例减少某种程度的情况下,具有电流密度小的地方(图中的黑色较浓的地方)的比率减少,尤其是空隙部的内壁的电流密度增大的趋势。
[0096]因此,通过适当地减少上述第I空隙部相对于单位构造体中的空隙部的全部数量的比例以低于100%,从而不仅能增大被测定物附着于空隙配置构造体的表面时的散射电磁波的特性变化,并且透过谱所产生的谷值波形也变得尖锐,因此还能够提升综合性的测定灵敏度。即,在单位构造体中包含第I空隙部和具有与该第I空隙部不同的形状的第2空隙部,且单位构造体的整体形状为相对于与空隙配置构造体的主面正交的给定的假想面不成为镜像对称的形状,从而能够提升测定灵敏度。
[0097]应该认为本次公开的实施方式以及实施例在所有方面均为例示,并非限制性的内容。本实用新型的范围并非由上述的说明来示出而是由权利要求书来示出,包含与权利要求书均等的意思以及范围内的所有变更。
[0098]符号说明
[0099]I空隙配置构造体,1a主面,11空隙部,Ila第I空隙部,Ilb第2空隙部,2激光器,20半反射镜,21反射镜,22、23、24、25抛物面反射镜,26时间延迟台,3电源,4锁相放大器,5PC(个人计算机),6放大器,71、72光传导元件,8振荡器,91、92端口。
【主权项】
1.一种空隙配置构造体,用于通过向保持有被测定物的空隙配置构造体照射电磁波来检测被所述空隙配置构造体散射的电磁波的特性从而测定所述被测定物的有无或者所述被测定物的量,所述空隙配置构造体的特征在于, 所述空隙配置构造体具有:相互对置的一对主面、和形成为贯通该一对主面的多个空隙部, 所述空隙配置构造体是具有以给定的间隔排列配置的至少两个所述空隙部的同一形状的单位构造体在所述主面的方向上二维且周期性连结多个而成的空隙配置构造体, 所述单位构造体包含:第I空隙部、和具有与该第I空隙部不同的形状的第2空隙部,并且, 俯视观察所述主面时的所述单位构造体的整体形状是相对于与所述空隙配置构造体的主面正交的给定的假想面而不成为镜像对称的形状。2.根据权利要求1所述的空隙配置构造体,其特征在于, 所述假想面是与所述电磁波的偏振方向垂直的面。3.根据权利要求2所述的空隙配置构造体,其特征在于, 所述第I空隙部具有相对于所述假想面不成为镜像对称的形状。4.根据权利要求1?3中任一项所述的空隙配置构造体,其特征在于, 相对于所述单位构造体中所包含的所述空隙部的总数,所述第I空隙部的数量多于50%。5.根据权利要求1?3中任一项所述的空隙配置构造体,其特征在于, 相对于所述单位构造体中所包含的所述空隙部的总数,所述第I空隙部的数量为75%以上。
【专利摘要】本实用新型提供一种空隙配置构造体,用于通过向保持有被测定物的空隙配置构造体照射电磁波来检测被所述空隙配置构造体散射的电磁波的特性从而测定所述被测定物的有无或者量,所述空隙配置构造体具有相互对置的一对主面和形成为贯通该一对主面的多个空隙部,是具有以给定的间隔排列配置的至少两个所述空隙部的同一形状的单位构造体在所述主面的方向上二维且周期性连结多个而成的空隙配置构造体,所述单位构造体包含第1空隙部和具有与该第1空隙部不同的形状的第2空隙部,且俯视观察所述主面时的所述单位构造体的整体形状是相对于与所述空隙配置构造体的主面正交的给定的假想面而不成为镜像对称的形状。
【IPC分类】G01N21/3586
【公开号】CN205175908
【申请号】CN201490000529
【发明人】近藤孝志, 神波诚治, 泷川和大
【申请人】株式会社村田制作所
【公开日】2016年4月20日
【申请日】2014年3月13日
【公告号】US20160011104, WO2014156670A1
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