脱胶清洗自动化设备的制作方法

文档序号:12965043阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种脱胶清洗自动化设备,其特征在于,包括:

用于输送送料工装的输送装置;

自动引导装置,与所述输送装置对接,所述输送装置将所述送料工装输送到所述自动引导装置上;

用于将所述送料工装中的硅片分装到片盒的插片机,所述自动引导装置与所述插片机的上料端对接,所述自动引导装置将所述送料工装输送至所述插片机的上料端,并输送至所述插片机中;及

清洗机,所述清洗机的输入端与所述插片机的下料端对接,所述插片机送出的所述片盒经过所述清洗机的输入端输送至所述清洗机中。

2.根据权利要求1所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述输送装置包括两条运载方向相反的第一输送流水线,两条所述第一输送流水线并排设置;

其中一条所述第一输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装,另一所述第一输送流水线用于输送从所述自动引导装置返回的所述送料工装。

3.根据权利要求2所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述自动引导装置包括自动引导车以及设置于所述自动引导车上的两条运载方向相反的第二输送流水线,两条所述第二输送流水线并排设置,且两条所述第二输送流水线的一端分别与两条所述第一输送流水线对接,两条所述第二输送流水线的另一端与所述插片机的上料端对接;

其中一条所述第二输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装,另一所述第二输送流水线用于输送从所述插片机返回的所述送料工装。

4.根据权利要求3所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述上料端上设置有两条运载方向相反的第三输送流水线,两条所述第三输送流水线并排设置,且两条所述第三输送流水线的一端分别与两条所述第二输送流水线对接,两条所述第三输送流水线的另一端伸入所述插片机内;

其中一条所述第三输送流水线用于输送装有脱胶后硅片的所述送料工装,另一所述第三输送流水线用于输送所述插片机取出硅片的所述送料工装。

5.根据权利要求3或4所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述输送装置上设置有第一感应器,所述自动引导装置与所述输送装置相对接的一端设置有第一对接感应器,所述第一感应器与所述第一对接感应器对接感应启动所述第二输送流水线。

6.根据权利要求4所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述上料端上设置有第二感应器,所述自动引导装置与所述插片机相对接的一端设置有第二对接感应器,所述第二感应器与所述第二对接感应器对接感应启动所述第三输送流水线。

7.根据权利要求1所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,还包括移栽装置,设置于所述插片机与所述清洗机之间;

所述移栽装置能够将所述插片机送出的多个所述片盒装载到托盘上。

8.根据权利要求7所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,所述移栽装置包括第一机械手和第二机械手,所述第一机械手将所述托盘移动至所述插片机的下料端,所述第二机械手将所述片盒旋转预设角度后放置于所述托盘上。

9.根据权利要求8所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,还包括升降装置,设置于所述移栽装置与所述清洗机之间;

所述升降装置用于将装载所述片盒的所述托盘输送至所述清洗机的输入端。

10.根据权利要求1所述的脱胶清洗自动化设备,其特征在于,还包括控制装置,所述控制装置分别与所述输送装置、所述自动引导装置、所述插片机及所述清洗机电连接;

所述控制装置分别控制所述输送装置、所述自动引导装置、所述插片机及所述清洗机运行。

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