混酸系统的制作方法

文档序号:14003505阅读:来源:国知局
混酸系统的制作方法

技术特征:

1.一种混酸系统,其用于一洗涤腔,其特征在于,该混酸系统包含有:

一第一混液槽,其具有一第一液控手段;

一第二混液槽,其具有一第二液控手段;

一浓度控制手段;以及

一切换手段;

其中,该第一混液槽具有一第一药液,该第二混液槽具有一第二药液,该第一液控手段侦测该第一药液于该第一混液槽中的液面位置,以判断是否进行一补液的动作,该第二液控手段侦测该第二药液于该第二混液槽的液面位置,以判断是否进行一补液的动作;该浓度控制手段侦测该第一药液或该第二药液的浓度,以判断是否进行改变该第一药液或该第二药液的浓度的动作;该切换手段切换该第一混液槽或该第二混液槽,以使该第一药液或该第二药液提供给该洗涤腔。

2.如权利要求1所述的混酸系统,其特征在于,该第一混液槽还具有一第一温控手段,该第二混液槽还具有一第二温控手段;该第一温控制手段控制该第一药液的温度,该第一温控手段设于该第一混液槽或设于该洗涤腔与该第一混液槽之间的连通管线;该第二温控控制该第二药液的温度,该第二温控手段设于该第二混液槽或设于该洗涤腔与该第二混液槽之间的连通管线。

3.如权利要求2所述的混酸系统,其特征在于,该第一温控手段具有一第一温度计、一第一加热器与一第一冷却器,该第一温度计、该第一加热器与该第一冷却器设于该第一混液槽或设于该洗涤腔与该第一混液槽之间的连通管线;该第二温控手段具有一第二温度计、一第二加热器与一第二冷却器,该第二温度计、该第二加热器与该第二冷却器设于该第二混液 槽或该洗涤腔与该第二混液槽之间的连通管线。

4.如权利要求1所述的混酸系统,其特征在于,该第一液控手段为一液位计,该液位计设于该第一混液槽,该第二液控手段为一液位计,该液位计设于该第二混液槽,一补液槽耦接该第二混液槽与该第一混液槽,该液位计为气压式液位计或点位式液位计。

5.如权利要求1所述的混酸系统,其特征在于,该浓度控制手段具有至少一浓度计、至少一泵浦与至少一药液槽与至少一补液槽,该浓度计耦接该泵浦与该洗涤腔,该泵浦耦接该第一混液槽,另一浓度计耦接另一泵浦与该洗涤腔,该另一泵浦耦接该第二混液槽,该药液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽,该补液槽耦接该第一混液槽与该第二混液槽;或者该药液槽耦接该第一混液槽,另一药液槽耦接该第二混液槽;或者该补液槽耦接该第一混液槽,另一补液槽耦接该第二混液槽。

6.如权利要求5所述的混酸系统,其特征在于,该切换手段具有一第一阀体,该第一阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线;该切换手段还具有一第二阀体、一第三阀体、一第四阀体与一第五阀体;该第二阀体设于该洗涤腔、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线;该第三阀体设于该补液槽、该第一混液槽与该第二混液槽之间的连通管线;该第四阀体设于该浓度计与该第一混液槽之间的连通管线;该第五阀体设于该浓度计与该第二混液槽之间的连通管线。

7.一种混酸系统,其应用于一洗涤腔,其特征在于,该混酸系统包含有:

一混液槽;

一液位计,其设于该液位槽;以及

一浓度计,其设于该混液槽与该洗涤腔之间的连通管线;

其中,该混液槽容置一药液,该液位计侦测该药液的液面高度,该浓度计侦测该药液的浓度。

8.如权利要求7所述的混酸系统,其特征在于,还具有一温控手段以控制该药液的温度,该温控手段设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线。

9.如权利要求8所述的混酸系统,其特征在于,该温控手段还具有一温度计、一冷却器与一加热器,该温度计、该冷却器与该加热器设于该混液槽或设于该洗涤腔与该混液槽之间的连通管线,并且该浓度计进一步耦接一泵浦,该泵浦耦接该混液槽,该混液槽耦接一补液槽与一药液槽。

10.如权利要求7所述的混酸系统,其特征在于,该液位计为气压式液位计或点位式液位计。

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