一种离子注入机光纤通讯驱动方法与流程

本发明涉及一种离子注入机光纤通讯驱动方法，主要涉及离子注入机，属于半导体制造领域。

背景技术：

随着半导体工艺的发展，且随着特质线宽的缩小，工艺复杂程度的提高，束流的均匀性和稳定性对于离子注入系统愈发重要，已成为器件成败与否的重要关键。在离子注入机引出束流能量很低、束流很大时，由于控制器运算响应速度慢，导致束流水平均匀性调节困难，因此采用新型离子注入机光纤通讯驱动方法，以保证离子束流均匀性和稳定性是宽束离子注入机设备成功的关键。

现有的离子注入机控制器仍普遍使用老式电缆通讯模块，并且未配置双环路，采用速度缓慢的vb编程语言。随着半导体行业的飞速发展，并且随着国家开始大力扶植芯片产业，对离子注入机的制造速度和稳定性要求大大提高.为了达到更高的控制精度，大幅度提高稳定性和更快的制造速度，则必须采用新式离子注入机光纤通讯方法，实时监控并更新制造工艺来设计新型控制器。

技术实现要素：

为了解决离子注入机需要更高的控制精度和稳定性与更快制造速度的问题，本发明集合开发离子注入机控制器的成功经验及技术优势，在其基础上设计一种离子注入机光纤通讯驱动方法。该装置使得控制器大幅度提高控制精度，稳定性与制造速度，能很好满足半导体行业的需求。

为了实现上述目的，该装置采用下面技术方案：

本发明公开了一种离子注入机光纤通讯驱动方法，即使用c语言编写的程序，此程序可实现两种功能，首先，离子注入机控制终端发出的信号到达控制箱，通过箱中控制板卡上的光纤通讯模块(1)转发到各个子控制器，子控制器再转发到各个底层控制器或直接转发到底层硬件如冷泵，电源等(2)，从而实现控制各个底层硬件的目的。其次，各个底层控制器或底层硬件的信号会通过各个子控制器(3)，通过光纤通讯模块转发到控制板卡上(4)，然后再发送到离子注入机控制终端(5)，从而实现监视各个底层硬件的目的。本发明装置与以往装置相比，由于控制板卡光纤通讯模块采用双环路控制设计，因此在一条环路损坏的时候，可以启用另一条环路，确保机台不会因此而宕机。控制板卡所用芯片等核心部件均为经典市售产品，可迅速采购，安全可靠，不易损坏，且拆卸方便。

本发明与现有技术相比具有如下显著优点：

1、大幅度提高操控速度和稳定性；

2、实时监测控制器状态并快速修复故障；

3、可以快速部署到其他类型离子注入机。

附图说明

图1是本发明的总体结构图。

图2是本发明图1的尺寸图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

附图1本发明离子注入机光纤通讯驱动方法的结构图，该装置主要用于半导体行业。其特征包括一个光纤通讯模块，双环路控制设计，经典的c语言编写程序，通过采用强大的光纤通讯模块与通俗易懂的c语言，可大幅度增强机台稳定性并提高操控水平。

附图2本发明所述的离子注入机光纤通讯驱动方法所用硬件的尺寸图，通过此尺寸图，与图1的比较可以看出，通过采用强大的光纤通讯模块与通俗易懂的c语言，因此大幅度增强机台稳定性并提高操控速度和稳定性，实时监测控制器状态并快速修复故障，可以快速部署到其他类型离子注入机。

以上所述仅为本发明的实施例，并非用于限定本发明的保护范围，而是用于说明本发明。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。