物料加工路径选择方法及装置与流程

本申请涉及半导体领域，具体涉及物料加工路径选择方法及装置。

背景技术：

在半导体元件的生产过程中的诸如清洗、刻蚀、apcvd(常压化学气相淀积)等多个环节，均涉及利用加工设备同时对多个物料的连续加工。如何安排多个物料的传送顺序，以及各个tank中每个工艺位置开始进行工艺的时间是提升加工设备产率的最为关键的因素。安排物料的传送顺序、tank中每个工艺位置开始进行工艺的时间可以称之为物料的路由控制。

技术实现要素：

本申请实施例提供了物料加工路径选择方法及装置。

第一方面，本申请实施例提供了物料加工路径选择方法，该方法包括：

计算得出多个候选物料加工路径；

确定瓶颈工艺槽，所述瓶颈工艺槽为所有工艺槽中使用频度最高的工艺槽，其中，工艺槽的使用频度等于需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；

对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择所述多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径，其中，所述瓶颈工艺槽利用率等于所述瓶颈工艺槽在当前候选物料加工路径中的忙碌时长除以该候选物料加工路径的加工时长。

在一些实施例中，所述选择所述多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为最优物料加工路径，包括：

当多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径的数量为多个时，选择多个瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径中所述加工时长最短的候选物料加工路径作为所述目标物料加工路径。

在一些实施例中，所述确定瓶颈工艺槽包括：

计算所有工艺槽中的每一个工艺槽的使用频度，包括：迭代地执行更新操作，直至确定每一工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间和需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，将该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，得到该工艺槽的使用频度；其中，所述更新操作包括：判断对所有待传送的物料的遍历是否结束，所述对所有待传送的物料的遍历为依次访问所有待传送的物料中的每一个物料；若所述遍历结束，则将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；若所述遍历未结束，则将最新访问过的物料的下一个物料作为当前的物料，判断当前的物料是否需要被传送至该工艺槽中进行加工；若是，则将当前的物料在该工艺槽中进行加工所需的工艺时间与该工艺槽的当前的工艺总时间相加，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量加1，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的物料数量，若否，则返回判断对所有待传送的物料的遍历是否结束的步骤；

确定所有工艺槽中的使用频度最高的工艺槽为所述瓶颈工艺槽。

在一些实施例中，所述对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择所述多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径包括：

对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，将所述瓶颈工艺槽在所述候选物料加工路径中的忙碌时长除以所述候选物料加工路径的加工时长，得到所述候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率；

迭代地执行路径计算操作，直到确定出目标物料加工路径；

其中，所述路径计算操作包括：

判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束，所述对所有候选物料加工路径的遍历为依次访问所有候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历结束，则将当前的最优路径确定为所述目标物料加工路径，所述最优路径为当前瓶颈工艺槽利用率最大的路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历未结束，将最新访问过的候选物料加工路径的下一个候选物料加工路径作为当前的路径；判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值；若是，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间，其中，当前的路径的路径时间为当前的路径的加工时长；若否，则判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率不等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则判断当前的路径的路径时间是否小于当前的路径最短时间，若当前的路径的路径时间大于等于当前的路径最短时间，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的路径时间小于当前的路径最短时间，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间。

在一些实施例中，所述计算得出多个候选物料加工路径包括：

确定所有待传送的物料中的每一个物料的加工关联信息，物料的加工关联信息指示物料需要被传送至的所有工艺槽以及传送顺序；

基于每一个物料的加工关联信息，计算得出多个候选物料加工路径。第二方面，本申请实施例提供了物料加工路径选择装置，该装置包括：

第一计算单元，被配置为计算得出多个候选物料加工路径；

确定单元，被配置为确定瓶颈工艺槽，所述瓶颈工艺槽为所有工艺槽中使用频度最高的工艺槽，其中，工艺槽的使用频度等于需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；

第二计算单元，被配置为对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择所述多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径，其中，所述瓶颈工艺槽利用率等于所述瓶颈工艺槽在当前候选物料加工路径中的忙碌时长除以该候选物料加工路径的加工时长。

在一些实施例中，第二计算单元进一步被配置为：

当多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径的数量为多个时，选择多个瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径中所述加工时长最短的候选物料加工路径作为所述目标物料加工路径。

在一些实施例中，确定单元进一步被配置为：

计算所有工艺槽中的每一个工艺槽的使用频度，包括：迭代地执行更新操作，直至确定每一工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间和需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，将该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，得到该工艺槽的使用频度；其中，所述更新操作包括：判断对所有待传送的物料的遍历是否结束，所述对所有待传送的物料的遍历为依次访问所有待传送的物料中的每一个物料；若所述遍历结束，则将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；若所述遍历未结束，则将最新访问过的物料的下一个物料作为当前的物料，判断当前的物料是否需要被传送至该工艺槽中进行加工；若是，则将当前的物料在该工艺槽中进行加工所需的工艺时间与该工艺槽的当前的工艺总时间相加，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量加1，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的物料数量，若否，则返回判断对所有待传送的物料的遍历是否结束的步骤；

确定所有工艺槽中的使用频度最高的工艺槽为所述瓶颈工艺槽。

在一些实施例中，第二计算单元进一步被配置为：

对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，将所述瓶颈工艺槽在所述候选物料加工路径中的忙碌时长除以所述候选物料加工路径的加工时长，得到所述候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率；

迭代地执行路径计算操作，直到确定出目标物料加工路径；

其中，所述路径计算操作包括：

判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束，所述对所有候选物料加工路径的遍历为依次访问所有候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历结束，则将当前的最优路径确定为所述目标物料加工路径，所述最优路径为当前瓶颈工艺槽利用率最大的路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历未结束，将最新访问过的候选物料加工路径的下一个候选物料加工路径作为当前的路径；判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值；若是，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间，其中，当前的路径的路径时间为当前的路径的加工时长；若否，则判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率不等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则判断当前的路径的路径时间是否小于当前的路径最短时间，若当前的路径的路径时间大于等于当前的路径最短时间，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的路径时间小于当前的路径最短时间，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间。

在一些实施例中，第一计算单元进一步被配置为：

确定所有待传送的物料中的每一个物料的加工关联信息，物料的加工关联信息指示物料需要被传送至的所有工艺槽以及传送顺序；

基于每一个物料的加工关联信息，计算得出多个候选物料加工路径。

本申请实施例提供的物料加工路径选择方法及装置，至少具有以下优点：

在对多个物料进行加工的过程中进行路由控制时，同时考虑加工时长和瓶颈工艺槽即瓶颈资源的利用率来计算出目标物料加工路径，按照计算出的目标物料加工路径，将多个物料中的每一个物料传送至所有应被传送至的工艺槽，完成每一个物料的加工过程。从而，在较短时长内完成对所有物料的加工过程，同时，充分利用瓶颈资源，提升加工设备的产能。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1示出了本申请实施例提供的物料加工路径选择方法的流程图；

图2示出了计算一个工艺槽的使用频度的流程图。

图3示出了计算目标物料加工路径的流程示意图；

图4示出了本申请实施例提供的物料加工路径选择装置的一个结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1，其示出了本申请实施例提供的物料加工路径选择方法的流程图。该方法包括以下步骤：

步骤101，计算得出多个候选物料加工路径。

在本申请实施例中，以装载了晶圆的花篮(cassette)作为物料进行说明。每一个花篮中可以包括预设数量个晶圆，例如，每一个花篮中包括25个晶圆。当然，本申请中的物料并不限于花篮。

在本申请实施例中，物料加工路径用于描述对于多个花篮中的每一个花篮，在哪个时刻应该被传送到哪个工艺槽、在被传送至的工艺槽中处理花篮中的晶圆所需的时长等。

在本申请实施例中，可以根据每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的时长、每一个花篮在各自应被传送至的工艺槽中处理花篮中的晶圆所需的时长等，计算多个花篮所有可能的传送次序、每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的所有可能的起始时刻等，从而，计算出所有候选物料加工路径。

例如，多个花篮的加工过程为：当对利用槽式清洗机设备对花篮中的晶圆进行清洗时，多个花篮均从花篮传输位置开始，各自到达过应该被传送至的所有工艺槽之后，均再次被传送回花篮传输位置的过程。对于多个花篮中的每一个花篮，需要将花篮传送至所有需要应该被传送至的工艺槽，在被传送至的工艺槽中对花篮中的晶圆进行与清洗相关的处理。物料加工路径用于描述对于当前需要传送的多个花篮中的每一个花篮，花篮从花篮传输位置开始，在哪个时刻应该被传送到哪个工艺槽、在被传送至的工艺槽中处理花篮中的晶圆所需的时长等。可以根据每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的时长、每一个花篮在各自应被传送至的工艺槽中处理花篮中的晶圆所需的时长等，计算多个花篮所有可能的传送次序、每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的所有可能的起始时刻等，从而，计算出所有候选物料加工路径。

在一些实施例中，计算得出多个候选物料加工路径包括：确定所有待传送的物料中的每一个物料的加工关联信息，物料的加工关联信息指示物料需要被传送至的所有工艺槽以及传送顺序；基于每一个物料的加工关联信息，计算得出多个候选物料加工路径。

在本申请实施例中，可以根据物料即花篮需要被传送至的所有工艺槽以及传送顺序，计算每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的时长、每一个花篮在各自应被传送至的工艺槽中处理花篮中的晶圆所需的时长等，计算每一个花篮从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽的所有可能的起始时刻，换言之，计算出每一个花篮从哪个时刻起被从一个工艺槽被传送到另一个工艺槽，从而，计算出所有候选物料加工路径。

步骤102，确定瓶颈工艺槽。

在本申请实施例中，瓶颈工艺槽可以称之为瓶颈资源。瓶颈工艺槽为使用频度最高的工艺槽。工艺槽的使用频度为多个物料中需要被传送至工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以多个物料中需要被传送至工艺槽中的所有物料的数量。

在本申请中，工艺槽可以称之为tank，对于每一个tank，定义使用频度f：

f＝多个花篮中需要被传送至tank中的所有花篮的工艺总时间/多个花篮中需要被传送至tank中的所有花篮的数量。

在本申请中，对于每一个工艺槽，需要被传送至工艺槽中的所有花篮的工艺总时间可以为：每一个需要被传送至工艺槽中的花篮在工艺槽中的工艺时长之和。

对于每一个工艺槽，一个需要被传送至工艺槽中的花篮在该工艺槽中的工艺时长可以为：从在该工艺槽中对该花篮中的所有晶圆进行加工的起始时刻到在该工艺槽中完成对该花篮中的所有晶圆的加工的时刻所经历的时长。

在一些实施例中，确定瓶颈工艺槽包括：计算所有工艺槽中的每一个工艺槽的使用频度，包括：迭代地执行更新操作，直至确定每一工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间和需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，将该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，得到该工艺槽的使用频度；

确定所有工艺槽中的使用频度最高的工艺槽为瓶颈工艺槽。

更新操作包括：判断对所有待传送的物料的遍历是否结束，对所有待传送的物料的遍历为依次访问所有待传送的物料中的每一个物料；若所述遍历结束，则将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；若遍历未结束，则将最新访问过的物料的下一个物料作为当前的物料，判断当前的物料是否需要被传送至该工艺槽中进行加工；若是，则将当前的物料在该工艺槽中进行加工所需的工艺时间与该工艺槽的当前的工艺总时间相加，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量加1，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的物料数量，若否，则返回判断对所有待传送的物料的遍历是否结束的步骤。

在本申请实施例中，对于一个工艺槽，该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间为每一个需要被传送至该工艺槽中的花篮在该工艺槽中的工艺时长之和。对于一个工艺槽，该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量为需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量。

在本申请实施例中，对于所有工艺槽中的每一个工艺槽，均可以通过迭代的执行更新操作来计算工艺槽的使用频度。

若遍历结束，在将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量之后，不再执行更新操作。

换言之，当计算一个工艺槽的使用频度时，迭代地执行更新操作直至该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间和计算出需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，停止执行更新操作。

在本申请中，在计算出工艺槽中的每一个工艺槽的使用频度之后，确定所有工艺槽中的使用频度最高的工艺槽为瓶颈工艺槽。

请参考图2，其示出了计算一个工艺槽的使用频度的流程图。

步骤201，判断所有待传送的物料物料是否遍历结束。对所有待传送的物料的遍历为依次访问所有待传送的物料中的每一个物料。若遍历结束，执行步骤205，若遍历未结束，执行步骤202。

步骤202，判断当前的物料是否需要被传送至该工艺槽中进行加工。当前的物料为最新访问过的物料的下一个物料。若是，执行步骤203。若否，返回到步骤201。

步骤203，计算该工艺槽的当前的工艺时间总和。

将当前的物料在该工艺槽中进行加工所需的工艺时间与该工艺槽的当前的工艺总时间相加，得到再次执行执行步骤203时该工艺槽的当前的工艺总时间即工艺时间总和。

步骤204，将该工艺槽的当前的物料数量加1。将该工艺槽的当前的物料数量加1，得到在下一次执行步骤204时该工艺槽的当前的物料数量。

步骤205，将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量。可以将该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，得到该工艺槽的使用频度。

步骤103，对于多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择多个候选物料加工路径中瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径。

在本申请实施例中，对于每一个候选物料加工路径，候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率为瓶颈工艺槽的对应于候选物料加工路径的忙碌时长除以候选物料加工路径的加工时长，即候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率＝瓶颈工艺槽的对应于候选物料加工路径的忙碌时长/候选物料加工路径的加工时长。

在本申请实施例中，候选物料加工路径的加工时长可以为：在采用候选物料加工路径完成所有花篮的加工过程的情况下所需的时长。

例如，多个花篮的加工过程为：当对利用槽式清洗机设备对花篮中的晶圆进行清洗时，多个花篮均从花篮传输位置开始，各自到达过应该被传送至的所有工艺槽之后，均再次被传送回花篮传输位置的过程。候选物料加工路径的加工时长为完成该多个花篮的加工过程所需的时长。

在本申请实施例中，瓶颈工艺槽的对应于候选物料加工路径的忙碌时长可以为：在采用候选物料加工路径完成所有花篮的加工过程的情况下瓶颈工艺槽处于对花篮中的晶圆的加工状态的累计的时长。

在一些实施例中，对于多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择多个候选物料加工路径中瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径包括：

对于多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，将瓶颈工艺槽在该候选物料加工路径中的忙碌时长除以该候选物料加工路径的加工时长，得到该候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率；

迭代地执行路径计算操作，直到确定出目标物料加工路径；

其中，路径计算操作包括：

判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束，对所有候选物料加工路径的遍历为依次访问所有候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历结束，则将当前的最优路径确定为所述目标物料加工路径，该最优路径为当前瓶颈工艺槽利用率最大的路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历未结束，将最新访问过的候选物料加工路径的下一个候选物料加工路径作为当前的路径；判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值；若是，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间，其中，当前的路径的路径时间为当前的路径的加工时长；若否，则判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率不等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则判断当前的路径的路径时间是否小于当前的路径最短时间，若当前的路径的路径时间大于等于当前的路径最短时间，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的路径时间小于当前的路径最短时间，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间。

请参考图3，其示出了计算目标物料加工路径的流程示意图。

在计算目标物料加工路径时，遍历每一个候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率，在遍历过程中，会访问每一个候选物料加工路径。当前访问到的候选物料加工路径可以称之为当前路径。当前路径的加工时长可以称之为当前路径时间。

当访问到第一个候选物料加工路径时，将第一个候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率作为当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将第一个候选物料加工路径的加工时长作为当前的路径最短时间。

在访问完第一个候选物料加工路径之后，每一次访问到一个候选物料加工路径时，将当前路径的瓶颈工艺槽利用率与当前的瓶颈工艺槽利用率最大值进行比较。

若当前路径的瓶颈工艺槽利用率大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则将当前路径的瓶颈工艺槽利用率作为当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前路径作为当前的最优路径，将当前路径时间作为当前的路径最短时间。

若当前路径的瓶颈工艺槽利用率不大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则继续判断当前路径的瓶颈工艺槽利用率是否等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值。若当前路径的瓶颈工艺槽利用率不等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，即当前路径的瓶颈工艺槽利用率小于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则访问下一个候选物料加工路径。若当前路径的瓶颈工艺槽利用率等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则继续判断当前路径的当前路径时间是否小于路径最短时间，若当前路径的当前路径时间不小于路径最短时间，则访问下一个候选物料加工路径。若当前路径的当前路径时间小于路径最短时间，则将当前路径的瓶颈工艺槽利用率作为当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前路径作为当前的最优路径，将当前路径时间作为当前的路径最短时间。

在本申请中，当基于每一个候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率，从多个候选物料加工路径中选取出目标物料加工路径时，可以对所有候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率由高到低进行排序。可以将多个候选物料加工路径中的瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径。

在一些实施例中，当基于每一个候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率，从多个候选物料加工路径中选取出目标物料加工路径时，当瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径的数量为多个时，可以确定瓶颈工艺槽利用率最大的多个候选物料加工路径中的加工时长最短的候选物料加工路径，将该加工时长最短的候选物料加工路径作为目标物料加工路径。

在本申请中，在确定目标物料加工路径之后，可以按照目标物料加工路径，将多个花篮中的每一个花篮传送至所有应被传送至的工艺槽，从而，完成每一个物料的加工过程。

例如，多个花篮的加工过程为：当对利用槽式清洗机设备对花篮中的晶圆进行清洗时，多个花篮均从花篮传输位置开始，各自到达过应该被传送至的所有工艺槽之后，均再次被传送回花篮传输位置的过程。可以按照目标物料加工路径，将多个花篮中的每一个花篮传送至所有应被传送至的工艺槽，从而，完成多个花篮中的每一个花篮的加工过程。

请参考图4，其示出了本申请实施例提供的物料加工路径选择装置的结构示意图。物料加工路径选择装置中的各个单元执行的操作的具体实现方式可以上述参考方法实施例中描述的相应的操作的具体实现方式。

如图4所示，本实施例的提供的物料加工路径选择装置安装于电子设备上，物料加工路径选择装置包括：第一计算单元401，确定单元402，第二计算单元403。

第一计算单元401被配置为计算得出多个候选物料加工路径；

确定单元402被配置为确定瓶颈工艺槽，所述瓶颈工艺槽为所有工艺槽中使用频度最高的工艺槽，其中，工艺槽的使用频度等于需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；

第二计算单元403被配置为对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，计算其瓶颈工艺槽利用率，选择所述多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径作为目标物料加工路径，其中，所述瓶颈工艺槽利用率等于所述瓶颈工艺槽在当前候选物料加工路径中的忙碌时长除以该候选物料加工路径的加工时长。

在一些实施例中，第二计算单元403进一步被配置为：

当多个候选物料加工路径中所述瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径的数量为多个时，选择多个瓶颈工艺槽利用率最大的候选物料加工路径中所述加工时长最短的候选物料加工路径作为所述目标物料加工路径。

在一些实施例中，确定单元402进一步被配置为：

计算所有工艺槽中的每一个工艺槽的使用频度，包括：迭代地执行更新操作，直至确定每一工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间和需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，将该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间除以该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量，得到该工艺槽的使用频度；其中，所述更新操作包括：判断对所有待传送的物料的遍历是否结束，所述对所有待传送的物料的遍历为依次访问所有待传送的物料中的每一个物料；若所述遍历结束，则将该工艺槽的当前的工艺总时间确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量确定为该工艺槽的需要被传送至该工艺槽中的所有物料的数量；若所述遍历未结束，则将最新访问过的物料的下一个物料作为当前的物料，判断当前的物料是否需要被传送至该工艺槽中进行加工；若是，则将当前的物料在该工艺槽中进行加工所需的工艺时间与该工艺槽的当前的工艺总时间相加，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的工艺总时间，以及将该工艺槽的当前的物料数量加1，得到在下一次执行更新操作时该工艺槽的当前的物料数量，若否，则返回判断对所有待传送的物料的遍历是否结束的步骤；

确定所有工艺槽中的使用频度最高的工艺槽为所述瓶颈工艺槽。

在一些实施例中，第二计算单元403进一步被配置为：

对于所述多个候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径，将所述瓶颈工艺槽在所述候选物料加工路径中的忙碌时长除以所述候选物料加工路径的加工时长，得到所述候选物料加工路径的瓶颈工艺槽利用率；

迭代地执行路径计算操作，直到确定出目标物料加工路径；

其中，所述路径计算操作包括：

判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束，所述对所有候选物料加工路径的遍历为依次访问所有候选物料加工路径中的每一个候选物料加工路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历结束，则将当前的最优路径确定为所述目标物料加工路径，所述最优路径为当前瓶颈工艺槽利用率最大的路径；

若对所有候选物料加工路径的遍历未结束，将最新访问过的候选物料加工路径的下一个候选物料加工路径作为当前的路径；判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否大于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值；若是，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间，其中，当前的路径的路径时间为当前的路径的加工时长；若否，则判断当前的路径的瓶颈工艺槽利用率是否等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率不等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的瓶颈工艺槽利用率等于当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，则判断当前的路径的路径时间是否小于当前的路径最短时间，若当前的路径的路径时间大于等于当前的路径最短时间，则返回判断对所有候选物料加工路径的遍历是否结束的步骤，若当前的路径的路径时间小于当前的路径最短时间，则将当前的路径的瓶颈工艺槽利用率作为下一次路径计算操作执行时当前的瓶颈工艺槽利用率最大值，将当前的路径作为下一次路径计算操作执行时当前的最优路径，将当前的路径的路径时间作为下一次路径计算操作执行时当前的路径最短时间。

在一些实施例中，第一计算单元401进一步被配置为：

确定所有待传送的物料中的每一个物料的加工关联信息，物料的加工关联信息指示物料需要被传送至的所有工艺槽以及传送顺序；

基于每一个物料的加工关联信息，计算得出多个候选物料加工路径。

本申请还提供了一种电子设备，该电子设备可以配置有一个或多个处理器；存储器，用于存储一个或多个程序，一个或多个程序中可以包括用以执行上述实施例中描述的操作的指令。当一个或多个程序被一个或多个处理器执行时，使得一个或多个处理器执行上述实施例中描述的操作的指令。

本申请还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质可以是电子设备中所包括的；也可以是单独存在，未装配入电子设备中。上述计算机可读介质承载有一个或者多个程序，当一个或者多个程序被电子设备执行时，使得电子设备执行上述实施例中描述的操作。

需要说明的是，本申请所述的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如可以包括但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(ram)、只读存储器(rom)、可擦式可编程只读存储器(eprom或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(cd-rom)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本申请中，计算机可读存储介质可以是任何包括或存储程序的有形介质，该程序可以被消息执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本申请中，计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多方面形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由消息执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包括的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：无线、电线、光缆、rf等等，或者上述的任意合适的组合。

附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包括一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行消息。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机消息的组合来实现。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术实施例，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术实施例。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术实施例。