一种加热灯的监控方法
【技术领域】
[0001]本发明属于半导体设备制造技术领域，具体涉及一种加热灯的监控方法。
【背景技术】
[0002]物理气相沉积(Physical Vapor Deposit1n,以下简称PVD)技术是微电子领域常用的加工技术，其在集成电路制造行业中，多特指磁控溅射技术，主要用于铝、铜等金属薄膜的沉积，以获得金属接触、金属互连线等。
[0003]通常，PVD设备包括去气腔室、预清洗腔室和工艺腔室，其中，去气腔室主要用于对基片完成去气工艺，具体地，将基片加热至300°C至350°C左右，以去除基片表面的水气和其他易挥发的杂质。在去气腔室内，对基片进行加热的方式包括采用加热灯(例如，灯管和灯泡等)加热的方式和借助承载基片的基座加热的方式。目前，通常采用加热灯方式加热基片，并同时借助基座进行辅助加热，当加热灯经历多次工艺过程，即，加热灯的使用时间过长，使得加热灯的输出功率会降低，甚至加热灯会坏掉，这会导致加热灯在工艺设定的输出功率百分比的条件下不能输出工艺实际所需的输出功率，例如，假设加热灯的最大输出功率为10KW，工艺设定的输出功率百分比为50%，工艺实际所需的加热灯的输出功率为5KW，由于加热灯使用的时间较长，某个加热灯的输出功率降低至9KW，这使得在工艺设定的输出功率百分比为50%的前提下，加热灯实际的输出功率为4.5KW，其小于工艺实际所需的输出功率5KW，因而导致加热灯对基片加热的温度不能满足预设值，从而造成去气效果差，进而造成工艺质量差。
[0004]为此，由于在加热灯的输入电压一定的前提下，加热灯的输出功率与加热灯的输出电流成正比，目前，通常采用人为的方式采集加热灯的输出电流值，并人为地将采集的输出电流值和加热灯最大输出功率在工艺设定的输出功率百分比的条件下的输出电流值相比较，根据比较结果人为分析加热灯的输出功率是否发生变化，并在发生变化时对加热灯进行维护。
[0005]然而，采用上述方式在实际应用中不可避免的会存在以下问题:由于采用人为的方式进行采集、比较和分析来实现对加热灯进行监控比较耗时，因而不能及时地监测加热灯的输出功率降低，从而造成加热灯对基片加热的温度不能满足预设值，进而造成去气效果差。
【发明内容】
[0006]本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题，提供了一种加热灯的监控方法，可以及时地监测加热灯的输出功率是否降低，从而可以及时地对加热灯进行维护以保证加热灯对基片稳定加热，进而可以提闻工艺质量。
[0007]本发明提供一种加热灯的监控方法，包括以下步骤:步骤SI，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下--对应的输出电流值，并根据该输出电流值设定与之对应的输出功率百分比条件下的标准电流值；步骤S2，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在当前预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3 ;若二者不存在偏差，则继续执行步骤S2 ;步骤S3，对所述加热灯进行维护。
[0008]其中，在所述步骤SI中，还包括根据该输出电流值设定每个所述输出功率百分比对应的最大允许所述当前输出电流值偏离所述标准电流值的预设范围；在所述步骤S2中，还包括若二者存在偏差，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若是，则继续执行步骤S2;若否，则进入所述步骤S3。
[0009]其中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤SI中包括以下步骤:步骤Sll,保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；步骤S12，判断idleoutput功能的当前状态是否为开启状态，若是，则进入步骤S13，若否，则进入步骤S14 ;步骤S13,关闭所述idleoutput功能；步骤S14,关闭所述加热灯，设置所述加热灯的输出功率百分比为初始值，并清除所述加热灯的每个输出功率百分比条件下的所述标准电流值；步骤S15，打开所述加热灯，在所述加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，并根据每个输出功率百分比对应的输出电流值设定该输出功率百分比条件下的所述标准电流值和所述预设范围；步骤S16,根据在步骤Sll中保存的idleoutput功能的当前状态来开启或者关闭所述idleoutput 功倉泛。
[0010]其中，多个所述输出功率百分比的范围在0%?100%，设置所述加热灯的输出功率百分比的初始值为0%，设置在每个输出功率百分比条件下采集所述加热灯的输出电流值数量的初始值为O ;在所述步骤S15中包括以下步骤:步骤S151，打开所述加热灯；步骤S152，判断所述加热灯的当前输出功率百分比是否等于100%，若否，则进入步骤S153 ;若是，则进入步骤S157 ;步骤S153，所述当前输出功率百分比增加1%;步骤S154，判断在所述当前输出功率百分比条件下采集的所述加热灯的输出电流值数量是否满足预设数量，若否，则进入步骤S155 ;若是，则进入步骤S156 ;步骤S155，在所述当前输出功率百分比条件下，对所述加热灯的输出电流值采集一次，并使采集的所述加热灯的输出电流值数量加1，并在间隔预设时间之后，进入步骤S154 ;步骤S156，在所述当前输出功率百分比条件下，根据采集到的预设数量的输出电流值计算所述加热灯的输出电流值的相关参数值，并基于所述相关参数值设定所述标准电流值和所述预设范围；步骤S157，关闭加热灯。
[0011]其中，在所述步骤S2中包括以下步骤:步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21 ;步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S3 ;若二者不存在偏差，则进入步骤S21。
[0012]其中，在所述步骤S2中包括以下步骤:步骤S21，采用数据订阅的方式捕获所述加热灯的输出电流是否发生变化，若是，则进入步骤S22，若否，则继续执行步骤S21 ;步骤S22，在执行工艺配方的工艺过程中，所述工艺配方包括每个工艺步骤对应的所述加热灯的预设输出功率百分比，检测所述加热灯在预设输出功率百分比条件下的当前输出电流值，并查询与工艺过程的当前预设输出功率百分比相对应的所述标准电流值，将所述当前输出电流值与所述标准电流值进行比较，若二者存在偏差，则进入步骤S23 ;若二者不存在偏差，则进入步骤S21 ;步骤S23，判断所述偏差是否位于所述预设范围内，若否，则进入所述步骤S3 ;若是，则继续执行步骤S21。
[0013]其中，在所述步骤S3中还包括发出报警信号，在发出所述报警信号之后对所述加热灯进行维护。
[0014]其中，还包括步骤S4，在已完成维护的加热灯输出最大输出功率的条件下，采集所述加热灯在所述多个输出功率百分比下一一对应的输出电流值，设置所述多个输出功率百分比中的至少一个特定输出功率百分比，查询与每个所述特定输出功率百分比相对应的所述标准电流值，根据与每个所述特定输出功率百分比对应的所述输出电流值和所述标准电流值，计算在该所述特定输出功率百分比条件下已完成维护的加热灯的最大输出功率相对未维护之前的加热灯的最大输出功率的增减百分比。
[0015]其中，还包括步骤S5，基于所述增减百分比对所述预设输出功率百分比进行调节，当对所述预设输出功率百分比进行调节之后进入所述步骤Si。
[0016]其中，定义idleoutput功能为在工艺腔室内不执行所述工艺配方时所述加热灯在一定输出功率百分比下对工艺腔室进行加热保温的功能，在所述步骤S4中包括以下步骤:步骤S41,保存idleoutput功能的当前状态，当前状态包括开启和关闭状态；步骤S42,判断idleoutput功能的当前状态