输送系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种输送系统。
【背景技术】
[0002]作为现有的输送系统，例如公知有专利文献I所记载的输送系统。在专利文献I所记载的输送系统中，根据输送车的种类，将多个区域中的能够供输送车行驶的区域设定为行驶区域，控制为不使输送车进入所设定的行驶区域以外的区域。
[0003]专利文献1:日本特开2010-67028号公报
[0004]如上述现有的系统那样，在多种输送台车在同一轨道遍布多个区域行驶的情况下，存在输送台车错误地进入未允许进入的区域的担忧。在输送台车进入未允许进入的区域的情况下，存在输送台车与装置在未假设该输送台车进入而进行设计的区域中干涉的担忧。
【发明内容】
[0005]本发明是为了解决上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够防止输送台车的误进入的输送系统。
[0006]本发明的一个方面所涉及的输送系统的特征在于，具备:轨道，其遍布多个区域铺设；第一输送台车，其沿着轨道行驶；第二输送台车，其沿着轨道行驶，并且宽度以及高度的至少一方与第一输送台车不同；传感器，其设置于第一输送台车以及第二输送台车中的一方的输送台车，配置于与另一方的输送台车在行驶方向不重叠的位置，并且检测前方的障碍物；以及被检测部件，其在多个区域中的朝向仅允许另一方的输送台车进入的特定区域的进入区域，配置于允许另一方的输送台车进入特定区域且被设置于一方的输送台车的传感器检测出的位置。
[0007]在该输送系统中，具备第一输送台车、与宽度以及高度的至少一方与第一输送台车不同的第二输送台车。在第一输送台车以及第二输送台车中的一方的输送台车设置有检测前方的障碍物的传感器，该传感器在多个区域中的朝向仅允许另一方的输送台车进入的特定区域的进入区域，检测配置于允许另一方的输送台车进入特定区域的位置的被检测部件。由此，在输送系统中，未允许进入特定区域的一方的输送台车因被传感器检测出被检测部件，从而能够识别未允许进入的区域。因此，在输送系统中，能够防止输送台车的误进入。
[0008]在一实施方式中，轨道是铺设于顶棚或者顶棚附近的顶棚轨道，第一输送台车以及第二输送台车为从顶棚轨道悬吊而行驶的悬挂式台车，一方的输送台车的高度尺寸比另一方的输送台车大，传感器可以配置于一方的输送台车的距另一方的输送台车的下端部规定高度以下的范围内。由此，在输送系统中，在一方的输送台车的不与其他输送台车重叠的位置配置传感器，因此能够将被检测部件配置于不与其他输送台车接触的位置。另外，在具备悬挂式台车(桥式输送车)的输送系统中，能够防止设定于地板的装置与一方的输送台车在特定区域接触。
[0009]在一实施方式中，也可以具备接触传感器，其设置于一方的输送台车，配置于与被检测部件接触的位置，并且检测与被检测部件的接触。由此，在输送系统中，即使在万一无法利用传感器检测出被检测部件的情况下，也能够利用接触传感器检测出被检测部件，由此防止一方的输送台车的误进入。因此，在输送系统中，能够准确地实现故障防护(fail-safe)。
[0010]在一实施方式中，优选，被检测部件配置于在未进入朝向特定区域的进入区域的位置处不被设置于一方的输送台车的传感器检测出的位置。由此，在输送系统中，能够防止在特定区域的附近行驶的一方的输送台车的传感器检测到被检测部件。因此，在输送系统中，能够防止误动作。
[0011 ] 根据本发明，能够防止输送台车的误进入。
【附图说明】
[0012]图1是示意地表示一实施方式所涉及的输送系统的图。
[0013]图2是从前方观察FOUP输送车以及光罩输送车的图。
[0014]图3是表示FOUP输送车的结构的图。
[0015]图4是以放大的方式表示轨道的一部分的图。
[0016]图5是表示被检测部件的主视图。
[0017]图6是表示被检测部件与FOUP输送车以及光罩输送车的关系的图。
【具体实施方式】
[0018]以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行详细地说明。此外，在附图的说明中，对相同或者相当的要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
[0019]图1是表示一实施方式所涉及的输送系统的图。图2是从前方观察FOUP输送车以及光罩(reticle)输送车的图。如图1所示，输送系统I具备:轨道(轨道、顶棚轨道)R、在轨道R行驶的FOUP输送车(第一输送台车)10、以及在轨道R行驶的光罩输送车(第二输送台车)20。在输送系统I中，多种悬挂式输送台车(F0UP输送车10、光罩输送车20)在同一轨道R行驶。
[0020]轨道R铺设于顶棚或者顶棚附近。在本实施方式中，轨道R具有主轨道R1、以及从主轨道Rl分支或者合并的分支/合并轨道R2?R6。主轨道Rl构成工作区之间路段(interbay)，分支/合并轨道R2?R6构成工作区内部路段(intrabay)。分支/合并轨道R2?R6分别铺设于多个(这里为五个)区域Al?A5。S卩，轨道R遍布多个区域Al?A5铺设。在各区域Al?A5配置有未图示的各种装置、堆料机(stocker)。在输送系统I中，限制FOUP输送车10或者光罩输送车20进入各区域Al?A5中的任一个。
[0021]如图2所示，光罩输送车20是输送收纳有光罩的光罩传送盒(ReticleSMIF Pod)的OHT (Overhead Hoist Transport:桥式输送车)。光罩输送车20具有在轨道R行驶的行驶部22、与具备提升部(hoist)、带以及夹具等的主体部24。光罩输送车20构成为:输送光罩传送盒，并且进入允许光罩输送车20进入的区域，能够在其与各种处理装置以及堆料机所具备的入库口之间移载光罩传送盒。
[0022]FOUP 输送车 10 是输送收纳有晶圆的 FOUP (Front-OpeningUnified Pod)的 0ΗΤ。FOUP输送车10具有在轨道R行驶的行驶部12、与具备提升部、带以及夹具等的主体部14。FOUP输送车10构成为:输送F0UP，并且进入允许FOUP输送车10进入的区域，能够在其与各种晶圆处理装置以及堆料机所具备的入库口之间移载FOUP。
[0023]如图2所示，FOUP输送车10比光罩输送车20大。具体而言，FOUP输送车10的主体部14的高度尺寸比光罩输送车20大。FOUP输送车10与光罩输送车20的高度尺寸之差D例如为10mm左右。即，FOUP输送车10具有在沿轨道R行驶的行驶方向上不与光罩输送车20重叠的区域。
[0024]图3是表示FOUP输送车的结构的图。如图3所示，FOUP输送车10具备:光学传感器15、接触传感器16以及控制器17。光学传感器15检测FOUP输送车10前方的障碍物。光学传感器15配置于主体部14的下端部。具体而言，光学传感器15配置于不与光罩输送车20重叠的区域，换句话说配置于与光罩输送车20的高度尺寸之差D的范围内(距光罩输送车20的主体部24的下端部规定高度以下的范围内)。光学传感器15的检测区域形成为例如在距离5m处高度幅度为10mm左右。光学传感器15若检测到障碍物，则向控制器17输出检测信息。
[0025]接触传感器16检测与障碍物的接触。接触传感器16配置于主体部14的下端部。具体而言，光学传感器15配置于不与光罩输送车20重叠的区域，换句话说配置于与光罩输送车20的高度尺寸之差D的范围内。在本实施方式中，接触传感器16相比光学传感器15配置于上部。接触传感器16沿着主体部14的宽度方向延伸，也作为缓冲器发挥作用。接触传感器16若检测到与障碍物接触，则向控制器17输出检测信息。
[0026]控制器17是控制FOUP输送车10的动作的控制装置。控制器17控制FOUP输送车10的各部分(行驶部12、提升部等)。控制器17具备行驶控制部18。行驶控制部18基于来自未图示的输送指示部的指令，进行控制使FOUP输送车10行驶至指定地址。行驶控制部18若收到从光学传感器15或者接触传感器16输出的检测信息，则对行驶部12实施制动控制。即，若由光学传感器15检测到障碍物，或者由接触传感器16检测到与障碍物接触，则FOUP输送车10停止行驶。
[0027]如