激光器的控制方法、装置及光刻系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光刻技术领域，具体而言，涉及一种激光器的控制方法、装置及光刻系统。
【背景技术】
[0002]半导体行业和印制PCB电路板行业中的光刻技术领域中，由于光刻机是在晶圆上形成大规模集成电路的核心半导体设备，激光器曝光时的能量尤为重要，即控制激光器曝光时的功率显得尤为重要。现有技术中光刻过程中直接调节激光器的功率值，使激光器的曝光功率对应的曝光能量不稳定，导致曝光出的图形解析不正确以至于电路板无法正常使用。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，本发明实施例提供了一种激光器的控制方法装置及光刻系统以改善曝光能量不稳定的问题。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下:
[0005]—种激光器的控制方法，包括:
[0006]获取激光器的控制数据，所述控制数据包括所述激光器的状态功率值；对所述状态功率值进行数模转换，获得所述状态功率值对应的模拟电压；将所述模拟电压输出到激光器的功率控制接口，若所述状态功率值大于0且所述激光器的当前状态为关闭，则所述功率控制接口控制所述激光器以对应功率打开，若所述状态功率值等于0且所述激光器的当前状态为打开，则所述功率控制接口控制所述激光器关闭。
[0007]一种激光器的控制装置，包括:
[0008]数据收取模块，用于获取激光器的控制数据，所述控制数据包括所述激光器的状态功率值；数模转换模块，用于对所述状态功率值进行数模转换，获得所述状态功率值对应的模拟电压；输出模块，用于将所述模拟电压输出到激光器的功率控制接口，使所述激光器以对应功率打开或者关闭。
[0009]一种光刻系统，包括激光器、上位机以及激光器的控制装置，用于印制PCB电路板，
[0010]所述上位机用于向所述控制装置发送控制数据，所述控制数据包括印制相应的PCB电路板对应的所述激光器的状态功率值；所述控制装置用于将所述状态功率值转换成模拟电压输出到所述激光器的功率控制接口；所述激光器用于以相应功率值打开对所述PCB电路板进彳丁曝光。
[0011]本发明实施例提供的激光器的控制方法及装置，根据获得的激光器控制数据进行数模转换，将作为数字信号的控制数据内包括的功率值转换为模拟电压，以使该模拟电压输出到激光器的功率控制接口，从而控制激光器的打开功率，并且，若功率值为0，还可以将激光器的功率调整为0。能满足对激光器打开功率的精确控制，且控制稳定。
[0012]本发明实施例提供的光刻系统，应用于PCB电路板的印制，上位机将印制当前电路板所需的激光器的曝光功率值发送给控制装置，控制装置接收后再通过数模转换将功率值转换成对应的模拟电压，将模拟电压发送给激光器，以使激光器以指定功率打开，实现对相应电路板的精确曝光。
[0013]为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
【附图说明】
[0014]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0015]图1示出了本发明较佳实施例提供的光刻系统的方框示意图；
[0016]图2示出了本发明第一实施例提供的激光器的控制方法的流程图；
[0017]图3示出了本发明第二实施例提供的一种控制装置的方框示意图；
[0018]图4示出了本发明第二实施例提供的另一种控制装置的方框示意图；
[0019]图5示出了本发明第二实施例提供的又一种控制装置的方框示意图；
[0020]图6示出了本发明第三实施例提供的一种光刻系统的方框示意图。
【具体实施方式】
[0021]下面将结合本发明实施例中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0022]应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0023]如图1所示，是本发明的光刻系统的方框示意图。所述系统包括上位机300、控制装置310以及激光器330。其中，控制装置310包括存储器、存储控制器、处理器、外设接口、输入输出单元、显示单元以及数据收发单元、数模转换单元、模数转换单元、数据解析单元。
[0024]所述存储器、存储控制器、处理器、外设接口、输入输出单元、显示单元以及数据收发单元、数模转换单元、模数转换单元、数据解析单元各元件相互之间直接或间接地电性连接，以实现数据的传输或交互。例如，这些元件相互之间可通过一条或多条通讯总线或信号线实现电性连接。所述处理器用于执行存储器中存储的可执行模块。
[0025]其中，存储器可以是，但不限于，随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)，只读存储器(Read Only Memory, ROM)，可编程只读存储器(Programmable Read-OnlyMemory，PROM)，可擦除只读存储器(Erasable Programmable Read-Only Memory, EPROM),电可擦除只读存储器(Electric Erasable Programmable Read-Only Memory，EEPR0M)等。其中，存储器用于存储程序，所述处理器在接收到执行指令后，执行所述程序，前述本发明实施例任一实施例揭示的流过程定义的服务器所执行的方法可以应用于处理器中，或者由处理器实现。
[0026]处理器可能是一种集成电路芯片，具有信号的处理能力。上述的处理器可以是通用处理器，包括中央处理器(Central Processing Unit，简称CPU)、网络处理器(NetworkProcessor，简称NP)等；还可以是数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现成可编程门阵列(FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。可以实现或者执行本发明实施例中的公开的各方法、步骤及逻辑框图。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
[0027]所述外设接口将各种输入/输入装置耦合至处理器以及存储器。在一些实施例中，外设接口，处理器以及存储控制器可以在单个芯片中实现。在其他一些实例中，他们可以分别由独立的芯片实现。
[0028]输入输出单元用于提供给用户输入数据实现用户与服务器或本地终端的交互。所述输入输出单元可以是，但不限于，鼠标和键盘等。
[0029]显示单元在所述控制装置与用户之间提供一个交互界面(例如用户操作界面)或用于显示图像数据给用户参考。在本实施例中，所述显示单元可以是液晶显示器或触控显示器。若为触控显示器，其可为支持单点和多点触控操作的电容式触控屏或电阻式触控屏等。支持单点和多点触控操作是指触控显示器能感应到来自该触控显示器上一个或多个位置处同时产生的触控操作，并将该感应到的触控操作交由处理器进行计算和处理。
[0030]数据收发单元用于发送或者收取数据，数模转换单元用于将数字信号转换为模拟信号，模数转换单元用于将模拟信号转换为数字信号，数据解析单元用于对对接收到的数据进行解析。
[0031]第一实施例
[0032]如图2所示，本发明实施例提供了一种激光器的控制方法，该方法包括:
[0033]步骤S100:获取激光器的控制数据，所述控制数据包括所述激光器的状态功率值；
[0034]控制数据可以包括状态功率值，该状态功率值可以是一个打开激光器功率的