一种平板显示版图间距检查结果模式分类方法与流程

一种平板显示版图间距检查结果模式分类方法属于半导体集成电路设计自动化领域，主要涉及如何将间距检查结果分类，提高人工筛选效率。

背景技术：

间距检查（Dimensional Check）是电子设计自动化的一个重要组成部分，源于集成电路版图中（Integrated Circuit，IC）设计流程，通常检查的是导线宽度（Width）、导线间距（Space）等项目，输出结果是违反间距规则的设计。版图交付流片前必须迭代修改所有违反规则的设计，才能确保流片成功。

平板显示（Flat Panel Display，FPD）版图的间距检查借鉴于集成电路版图，但处理检查结果时情况更加复杂，并非所有的违规结果都需要修改版图。目前，对违规结果的筛选依赖人工判断，将需要修改版图的那些违规结果从全部几十万个结果中筛选出来，工作效率很低。特别是每次修改版图后迭代执行间距检查时，又需要重新筛选结果，严重拖延了版图设计流程。

本专利将违反间距检查的结果本身及其周边环境定义为模式特征，据此划分结果类别，能够将几十万个结果划分至几十到几百个类别中。人工筛选时，每个类别仅需判断一次，工作量由几十万降至几十到几百的规模，显著提高检图效率，缩短版图迭代修改周期，加速设计流程。

通过后文

技术实现要素：
及具体实施方式可知，间距检查结果的模式分类方法简单易行，代价很小，不会过多改变现有版图设计流程，极易推广普及。随着平板显示规模日趋增大，版图布局日益复杂，间距检查结果的分类筛选必将成为一种趋势，保障版图设计流程高效运转。

发明内容

本发明针对半导体集成电路设计自动化领域，对平板显示版图执行间距检查后，人工手动筛选检查结果工作效率低，拖延了整个版图设计流程的实际问题，提出了一种平板显示版图间距检查结果模式分类方法。

本发明的创新之处在于，对平板显示版图执行间距检查后，人工筛选需要修改版图的结果前，先根据结果的模式特征对结果进行分类，再进行人工筛选，筛选时不再每个结果判断一次，而是每类结果判断一次。仅这一创新点，即可将人工筛选工作量由几十万降至几十到几百的规模，显著提高检图效率。

本发明的主要技术方案包括以下三个方面：

第一，间距检查结果模式特征的定义。

本发明将间距检查结果的模式特征定义为结果本身及其周边环境：结果本身指“结果的几何图形”；周边环境指“将结果边框向四周放大间距检查尺寸，版图中进入此放大边框范围内的几何图形”，几何图形超出此放大边框范围的部分将被忽略。

第二，判断两个间距检查结果是否同类的方法。

本发明将间距检查结果的类别相同定义为结果的模式特征相同。模式特征的计算比较简单：计算结果边框，并向四周放大间距检查尺寸；计算进入此放大边框范围内的几何图形，作为结果周边环境。

模式特征的比较采用如下方法进行：由于各个结果本身及其周边环境的几何图形分布在版图各处，不易判断是否完全相同，因此先计算出各个结果边框中心点，将结果边框中心点平移至坐标原点，结果本身和周边环境的几何图形同时参与平移；平移之后，如果某两个结果本身及其周边环境的几何图形完全重合，即可认为这两个结果的模式特征完全相同，进而认为这两个结果属于同一类别。

版图设计过程中还存在一种情况，就是版图的某些部分图形是由其他部分复制过来的，复制同时还做了旋转、翻转等坐标变换。对于复制过来的图形，其间距检查结果也应该与原始图形属于同一类别，当因为旋转、翻转等坐标变换导致模式特征的几何图形不能完全重合时，可以尝试将其中一个结果的模式特征作一下坐标变换，再比较能否与另一个结果的模式特征完全重合。通常的应用场景下，平板显示版图中对图形做的坐标旋转只有基于坐标原点的0度、90度、180度、270度旋转，对图形做的坐标翻转只有基于X轴或Y轴翻转，旋转和翻转同时作用一共有以下8种组合：

l R0 （无坐标变换）

l R90 （基于坐标原点旋转90度）

l R180 （基于坐标原点旋转180度）

l R270 （基于坐标原点旋转270度）

l MX = R0 * MX （基于X轴翻转）

l MXR90 = R90 * MX （先基于X轴翻转，再基于坐标原点旋转90度）

l MY = R180 * MX （先基于X轴翻转，再基于坐标原点旋转180度）

l MYR90 = R270 * MX （先基于X轴翻转，再基于坐标原点旋转270度）

那么，当两个结果的模式特征不能完全重合时，对其中一个结果，除了R0，尝试作其他7种坐标变换。如果经历某种坐标变换后两个结果模式特征的几何图形完全重合，即可认为这两个结果的模式特征完全相同，进而认为这两个结果属于同一类别。如果经历7种坐标变换仍然未出现两个结果的模式特征几何图形完全重合的情况，那么这两个结果属于不同类别。

第三，对全部间距检查结果进行分类的方法。

由间距检查结果类别相同的定义可知，同类结果的判断具有可传递性：如果结果1与结果2同类且结果2与结果3同类，那么结果1与结果3同类。参考判断两个间距检查结果是否同类的方法，以及同类结果判断的可传递性，可建立一张全部模式特征的hash表，表中每个元素为一种模式特征，也就是一个结果类别，从而在线性时间内，通过hash匹配将全部间距检查结果划分类别。

附图说明

图1　平板显示版图局部及其间距检查结果；

图2　平板显示版图局部及其间距检查结果的模式特征计算及比较；

图3　平板显示版图局部及其间距检查结果的分类结果；

图4　判断两个间距检查结果是否同类的方法流程图。

具体实施方式

本部分详细说明实现发明的优选方式。

实现发明的优选方式与主要技术方案相对应，包括以下三方面内容：

第一，间距检查结果的模式特征计算。

参考图1，图中（11）表示一个平板显示版图局部及其间距检查结果，右上方图中（12）、（13）、（14）、（15）定义了间距检查规则：

l 如图中（12），黑色几何图形为间距检查的一个输入图层L1；

l 如图中（14），白色几何图形为间距检查的另一个输入图层L2；

l 如图中（13），S为间距检查尺寸，当L1层图形与L2层图形之间的距离小于等于S时，输出结果；

l 如图中（15），阴影几何图形为间距检查的输出结果图层。

参考图2，在全部间距检查结果中选取若干，说明模式特征的计算方法。如图中（21）：

l 阴影梯形表示结果1；

l 结果1周边的虚线矩形为结果边框；

l 将结果边框向四周放大间距检查尺寸S，S由图中（27）定义，所得的虚线大矩形为放大边框；

l 放大边框内部的黑色几何图形和白色几何图形即为结果1的周边环境，当黑色几何图形和白色几何图形超出放大边框范围时，超出的部分将被忽略。

根据此模式特征的计算方法，如图中（22）、（28），图中（22）表示结果2的模式特征计算方法，图中（28）表示结果2的模式特征计算结果，并被平移至坐标原点。

第二，判断两个间距检查结果是否同类。

参考图4判断两个间距检查结果是否同类的方法流程图。对于间距检查结果1和结果2，为了判断二者是否属于同类：

l 首先，如图中（41）、（42）、（43）、（44）所示，分别计算两个结果的模式特征的几何图形，并分别将两个结果的边框中心点平移至坐标原点；

l 其次，如图中（45），比较两个结果的模式特征，即结果本身及其周边环境的几何图形是否完全重合，完全重合即认为两个结果的模式特征完全相同，进而认为这两个结果属于同一类别，转至图中（49）；

l 再次，如图中（46）、（47），当两个结果的模式特征不能完全重合时，尝试对结果2的模式特征进行坐标变换，基于坐标原点旋转以及基于坐标轴翻转；由发明内容中的主要技术方案可知，除了R0，最多迭代尝试7次坐标变换，每次变换后比较两个结果的模式特征几何图形是否完全重合，完全重合即认为两个结果的模式特征完全相同，进而认为这两个结果属于同一类别，转至图中（49）；

l 最后，当尝试全部坐标变换后，仍然未出现两个结果的模式特征几何图形完全重合的情况，那么这两个结果属于不同类别，转至图中（48）。

参考图2，对于图中（22）和图中（24）表示的结果2和结果4，经过模式特征计算、模式特征平移、模式特征旋转及翻转三个步骤后，最终均可与图中（28）的模式特征完全重合。那么，结果2和结果4属于同一类别，同时图中（28）可以作为该类别的模式特征代表，作为一个hash元素存入模式特征hash表中，用于后续间距检查结果的分类匹配。对于图中（21）表示的结果1、图中（23）表示的结果3，其结果本身与结果2或结果4相同，但周边环境与其他结果均不相同，只能每个结果自成类别。对于图中（25）表示的结果5、图中（26）表示的结果6，其结果本身已经与其他结果均不相同，只能每个结果自成类别。

第三，对全部间距检查结果进行分类。

根据发明内容中的主要技术方案，建立一张全部模式特征的hash表，表中存放的元素为图中（28）所示的模式特征。在对全部间距检查结果分类的过程中，每次取出一个结果，计算出模式特征，与hash表中已有元素进行模式匹配，也就是类别匹配。能够匹配已有元素的间距检查结果，划分到该元素所代表的类别中；不能匹配已有元素的间距检查结果，创建一个新的类别，其模式特征作为一个新的hash元素，加入hash表中。如此，当全部结果一一匹配后，hash表中的元素数就是结果的类别数，每个元素为对应类别的模式特征。

参考图3，平板显示版图局部及其间距检查结果的分类结果，阴影几何图形代表的全部16个结果被分为A、B、C、D、E、F、G共7类。图中（31）、（32）、（33）、（34）所示的4个结果均属于同一类别，其模式特征如图中（35）所示。根据间距检查结果的模式特征对结果进行分类后，再进行人工筛选，筛选时不再每个结果判断一次，而是每类结果判断一次。图3中通过结果分类，可以将人工判断次数由16次降为7次，提高人工筛选效率。

对于现有制造工艺的平板显示版图，间距检查结果个数通常为几十万量级，根据间距检查结果的模式特征对结果进行分类，能够将几十万个结果划分至几十到几百个类别中，显著提高人工筛选效率。

同时，通过发明内容及具体实施方式可知，间距检查结果分类方法简单易行，代价很小，不会过多改变现有版图设计流程，极易推广普及。随着平板显示规模日趋增大，版图布局日益复杂，间距检查结果的分类筛选必将成为一种趋势，从而提高检图效率，缩短版图迭代修改周期，加速设计流程。