柔性面板的制造方法与流程

1.本发明涉及一种柔性面板的制造方法。


背景技术：

2.工件的成孔方式一般通过利用激光照射或刀轮切割在所欲成孔的位置而形成，然而，多余的激光能量却容易造成热效应而破坏成孔区的边缘，其例如存在形成的通孔边缘烧焦或出现裂纹等副作用，且利用刀轮切割亦会使通孔的截面留下切割痕迹，其将影响成型产品的精度以及质量。


技术实现要素：

3.本发明是针对一种柔性面板的制造方法，所述柔性面板具有的通孔在其边缘不存在烧焦或裂纹等现象且不具有切割痕迹。
4.根据本发明的实施例，本发明的柔性面板的制造方法包括以下步骤。形成柱状物于载板上。形成柔性层于载板上，其中柱状物的至少部分侧表面被柔性层围绕，以在柔性层中形成通孔。形成组件层于柔性层上。移除柱状物以及载板。
5.在根据本发明的实施例的柔性面板的制造方法中，在形成柔性层于载板上之前，还包括在载板上形成离型层。
6.在根据本发明的实施例的柔性面板的制造方法中，形成柱状物于载板上之前，在载板上形成离型层，且柱状物位于离型层上。
7.在根据本发明的实施例的柔性面板的制造方法中，柱状物贯穿柔性层。
8.根据本发明的另一实施例，本发明的柔性面板的制造方法包括以下步骤。形成柱状物于载板上。形成离型层于载板上，其中离型层覆盖柱状物。形成柔性层于载板上，其中柱状物的至少部分侧表面与离型层的一部分被柔性层围绕，以在柔性层中形成通孔。形成组件层于柔性层上。移除柱状物以及载板。
9.在根据本发明的实施例的柔性面板的制造方法中，柱状物与离型层的一部分贯穿柔性层。
10.在根据本发明的实施例与另一实施例的柔性面板的制造方法中，形成柔性层于载板上包括以下步骤。形成柔性材料层于载板上。对柔性材料层进行热处理工艺。
11.在根据本发明的实施例与另一实施例的柔性面板的制造方法中，组件层包括触控组件层或显示组件层。
12.在根据本发明的实施例与另一实施例的柔性面板的制造方法中，在形成组件层于柔性层上之后以及移除柱状物以及载板之前，还包括形成功能层于组件层上，其中功能层与组件层之间的黏着力大于柔性层与离形层之间的黏着力。
13.在根据本发明的实施例与另一实施例的柔性面板的制造方法中，柔性层具有相对的第一表面与第二表面，第二表面接触组件层，且在移除柱状物以及载板之后，还包括形成保护层于柔性层的第一表面。
14.综上所述，本实施例的柔性面板中的柔性层具有的通孔是通过在柔性层形成之前先形成柱状物，使得柔性层可环绕柱状物而设置，而后将柱状物移除后即形成具有与柱状物类似形状的通孔。经由此方式形成的通孔不具有烧焦或裂纹等现象且具有平滑的截面。
附图说明
15.包含附图以便进一步理解本揭示，且附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本揭示的实施例，并与描述一起用于解释本揭示的原理。
16.图1a至图1g为本发明第一实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图；
17.图2为本发明第一实施例的柔性面板的俯视示意图；
18.图3a至图3c为本发明第二实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图；
19.图4为本发明第二实施例的柔性面板的俯视示意图；
20.图5a至图5c为本发明第一实施例的第一变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图；
21.图6a至图6c为本发明第一实施例的第二变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图；
22.图7a至图7b为本发明第三实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图；
23.图8a至图8b为本发明第三实施例的变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图。
具体实施方式
24.现将详细地参考本发明的示范性实施例，示范性实施例的实例说明于附图中。只要有可能，相同组件符号在附图和描述中用来表示相同或相似部分。本发明也可以各种不同的形式体现，而不应限于本文中所述的实施例。附图中的层与区域的厚度会为了清楚起见而放大。相同或相似的参考号码表示相同或相似的组件，以下段落将不再一一赘述。另外，实施例中所提到的方向用语，例如：上、下、左、右、前或后等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用来说明并非用来限制本发明。
25.图1a至图1g为本发明第一实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图，且图2为本发明第一实施例的柔性面板的俯视示意图。
26.请参照图1a，形成离型层110于载板100上，载板100具有相对的两表面101、102，离型层110具有相对的两表面111、112，离型层110的表面111与载板100的表面102彼此相对，接下来再形成柱状物c1于离型层110的表面112上，柱状物c1具有顶表面c1_t、底表面c1_b以及侧表面c1_s。载板100可例如为硬质基板，其在制造过程中不易受外力影响而变形，如此可使得设置于载板100上的离型层110与柱状物c1具有良好的平坦度，亦使得后续设置于载板100上的膜层具有良好的稳定性。载板100的材料可例如为玻璃、聚碳酸酯、不锈钢板或其组合，但本发明并不以此为限。在本实施例中，柱状物c1的顶表面c1_t的面积小于底表面c1_b的面积。如图1a所示，柱状物c1的截面积沿着远离载板100的法线方向变小，也就是柱状物c1于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变小，但本发明并不以此为限。在本实施例中，方向d1垂直方向d2，方向d3垂直d1-d2平面，且方向d3垂直载板100的表面102，但本发明并不以此为限。举例来说，柱状物c1可为圆锥的形状，但本发明并不以此为限。
27.请参照图1b，形成柔性材料层120’于离型层110上。在本实施例中，柔性材料层120’覆盖位于载板100上的柱状物c1。即，柔性材料层120’的厚度t1’可例如高于柱状物c1的高度h1，但本发明并不以此为限。在另一些实施例中，柔性材料层120’的厚度t1’可等于或小于柱状物c1的高度h1。柔性材料层120’的形成方法可例如为进行狭缝涂布法、旋涂法或其组合，但本发明并不以此为限。柔性材料层120’的材料可例如包括聚酰亚胺(polyimide)、聚萘二甲酸乙二醇酯(pen)、聚对苯二甲酸乙二酯(pet)或前述至少二种材料的组合，或是包括前述材料的前驱体或前述至少二种材料的前驱体的组合，但本发明并不以此为限。在本实施例中，柔性材料层120’的材料包括聚酰亚胺。此外，在本实施例中，柔性材料层120’中还包括溶剂，因此于图1b的步骤中形成的柔性材料层120’为湿膜的状态，但本发明并不以此为限。举例来说，柔性材料层120’可包括聚酰亚胺与溶剂，或是包含聚酰亚胺的前驱体聚酰胺酸与溶剂，并且聚酰胺酸可经过后述热处理工艺以形成聚酰亚胺。
28.请参照图1c，形成柔性层120于载板100上。柔性层120设置于离型层110的表面112上，且围绕柱状物c1的部分侧表面c1_s。柔性层120具有相对的两表面121、122，柔性层120的表面121与离型层110的表面112彼此相对。在本实施例中，柔性层120接触离型层110的表面112以及柱状物c1的部分侧表面c1_s，但本发明并不以此为限。形成柔性层120的方法例如为对柔性材料层120’进行热处理工艺，以将柔性材料层120’转换为柔性层120。举例来说，可利用真空干燥(vacuum dry)机以及加热板(hot plate)预烤柔性材料层120’。或者，亦可使用真空干燥加热(hot vacuum dry)炉来预烤柔性材料层120’。之后，将经预烤的柔性材料层120’例如利用烘箱(oven)硬烤柔性材料层120’，但本发明的热处理工艺并不以此为限。热处理工艺可将柔性材料层120’中的至少部分溶剂移除。此外，在柔性材料层120’包括前驱体的实施例中，热处理工艺可将前驱体转换为柔性层120的材料。在经过热处理工艺后，由于柔性材料层120’中的溶剂已经挥发，因此，柔性层120的厚度t1小于柔性材料层120’的厚度t1’，且柔性层120的厚度t1小于柱状物c1的高度h1。在本实施例中，柔性层120的厚度t1为柔性层120的两表面121、122间沿着方向d3的距离。柔性层120的厚度t1可为5微米～80微米，但本发明并不以此为限。柔性层120形成后例如会围绕柱状物c1，且柔性层120中由柱状物c1占据的区域即为柔性层120的通孔120a。在本发明中，柔性层120形成后，柱状物c1被柔性层120围绕，且柔性层120的厚度t1小于柱状物c1的高度h1，因此柱状物c1可贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120a。在本实施例中，由于柱状物c1于d1-d2平面的截面积沿着远离载板100的法线方向d3变小，使得通孔120a于d1-d2平面的截面积亦沿着远离载板100的法线方向d3变小。在本实施例中，柔性层120的厚度t1较佳地小于柱状物c1的高度h1，且柱状物c1的高度h1与柔性层120的厚度t1的差值较佳地为1微米-10微米，也就是1微米≤h1-t1≤10微米，以利于后续步骤中将柔性层120与柱状物c1分离，但本发明并不以此为限。举例来说，当柔性层120的厚度t1为10微米时，柱状物c1的高度h1可为大于或等于11微米且小于或等于20微米。此外，因为柔性材料层120’包括溶剂，且溶剂的占比通常较高，例如柔性材料层120’中的溶剂与聚酰亚胺(或聚酰亚胺的前驱体聚酰胺酸)可分别占比约90％与约10％，因此柔性材料层120’的厚度t1’较佳为高于柱状物c1的高度h1，以使得经过热处理工艺(也就是溶剂挥发后)形成的柔性层120的厚度t1不会过薄，但本发明并不以此为限。举例来说，柔性层120的厚度t1可为5微米～80微米，且柱状物c1的高度h1较柔性层120的厚度t1高约1微米-10微米，因此柔性材料层120’的厚度t1’通常会高于柱状物c1的高
度h1。在其它实施例中，柔性层120的厚度t1可等于柱状物c1的高度h1，且柱状物c1被柔性层120围绕，同样可使柱状物c1贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120a。综上所述，通过将柔性层120围绕柱状物c1的至少部分侧表面c1_s，且柔性层120的厚度t1小于或等于柱状物c1的高度h1，可使柱状物c1贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120a。
29.值得注意的是，在本实施例中，因为柔性材料层120’中包括溶剂，因此图1b中的柔性材料层120’需经过热处理工艺将溶剂移除以形成图1c中的柔性层120，且柔性层120的厚度t1小于柔性材料层120’的厚度t1’，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，柔性层120的厚度可等于柔性材料层120’的厚度，且柔性材料层120’的厚度小于或等于柱状物c1的高度h1。举例来说，在一些实施例中，柔性材料层120’中可不包括溶剂，柔性材料层120’经由工艺转换为柔性层120，且柔性层120的厚度等于柔性材料层120’的厚度。在另一些实施例中，在图1a的步骤后，可直接形成柔性层120于离型层110上，无需如图1b先形成柔性材料层120’后，再转换为如图1c中的柔性层120。
30.请参照图1d，形成组件层130于柔性层120上，组件层130具有相对的两表面131、132，组件层130的表面131与柔性层120的表面122彼此相对。在本实施例中，柔性面板为柔性触控面板，且组件层130为触控组件层，但本发明并不以此为限。在另一些实施例中，柔性面板为柔性显示面板，且组件层130为显示组件层。本实施例的组件层130可例如包括触控电极，且柔性面板为可例如是自容式的柔性触控面板或互容式的柔性触控面板。举例来说，触控电极可包括触控驱动电极以及触控感应电极，且触控驱动电极与触控感应电极可例如位于不同层或为同一层，本发明并不以此为限。组件层130可为多层结构，举例来说，组件层130可包含至少一导体层与至少一绝缘层，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，组件层130可为单层结构且包含一导体层。此外，在本实施例中，还包括形成遮光层140于柔性层120上。柔性面板具有主动区与周边区，组件层130中的触控电极设置于主动区中，且遮光层140设置于周边区中以覆盖位于周边区中的组件(例如走线)。举例来说，多条走线通常设置于柔性触控面板的周边区中以例如分别电性连接触控电极，遮光层140可覆盖周边走线，而不使使用者观察到周边走线。遮光层140的材料可例如为黑色光致抗蚀剂、黑色颜料或金属，但本发明并不以此为限。值得说明的是，虽然图1d中的遮光层140与柔性层120间未示出具有组件层130，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，组件层130的一部分可设置于遮光层140与柔性层120间。此外，本发明不限定组件层130与遮光层140的形成顺序。举例来说，可先形成组件层130后再形成遮光层140，先形成遮光层140后再形成组件层130，或是先形成组件层130的一部分后再形成遮光层140，且接下来形成组件层130的其余部分。
31.请参照图1e，设置功能层150于组件层130上，功能层150具有相对的两表面151、152，功能层150的表面151与组件层130的表面132彼此相对。功能层150可例如是通过进行贴合工艺以设置于组件层130上，但本发明并不以此为限。功能层150可为保护膜或紫外线薄膜(uv film)。功能层150可用以于下一步骤(参照图1f)的剥离工艺中使得柔性层120不易破膜，以及在将柔性层120从柱状物c1以及离型层110的表面分离后用以支撑柔性层120、组件层130与遮光层140。
32.请参照图1f，移除载板100、离型层110以及柱状物c1。将柔性层120从柱状物c1的侧表面c1_s以及离型层110的表面112分离，以移除载板100、离型层110以及柱状物c1，并且保留柔性层120、组件层130、遮光层140与功能层150的结构。移除载板100、离型层110以及
柱状物c1的方法可例如是通过进行激光剥离工艺或机械剥离工艺以达成。举例来说，可通过机械剥离工艺将柔性层120从柱状物c1的侧表面c1_s以及离型层110的表面112分离。此外，在一些实施例中，可在进行机械剥离工艺前先进行加热或浸泡，以降低柔性层120与柱状物c1之间的黏着力和/或柔性层120与离型层110之间的黏着力，但本发明并不以此为限。在通过激光剥离工艺以移除载板100、离型层110以及柱状物c1的实施例中，可在进行剥离工艺前自载板100面向柔性层120的方向照射激光，例如朝方向d3照射激光，以降低柔性层120与柱状物c1间的黏着力和/或柔性层120与离型层110间的黏着力，接下来再进行剥离工艺将载板100、离型层110以及柱状物c1移除。特别的是，功能层150与组件层130之间的黏着力可大于在剥离工艺中的柔性层120与柱状物c1之间的黏着力以及柔性层120与离型层110之间的黏着力，藉此可将柔性层120从柱状物c1以及离型层110的表面分离，但本发明并不以此为限。值得说明的是，在一些实施例中，可不进行图1e的步骤，也就是不设置功能层150，并且在进行图1d的步骤后再进行类似图1f的步骤以移除载板100、离型层110以及柱状物c1，但本发明并不以此为限。
33.如图1a至图1f所示，通过柱状物c1可在柔性层120中形成通孔120a。另外，因为在图1c至图1e中的柱状物c1与柔性层120接触，且在图1f中柱状物c1与柔性层120分离，因此为了在图1f的步骤中使得柔性层120容易自柱状物c1的表面上剥离，柱状物c1的材料需为在剥离工艺中与柔性层120容易剥离的材料。举例来说，柱状物c1的材料可例如为包括硅的有机材料、包括氟的有机材料、包括二氧化硅的无机材料或是上述材料的组合，但本发明并不以此为限。柱状物c1的材料的选用例如视柔性层120的材料而定，即，可选用柔性层120容易自柱状物c1的的侧表面c1_s剥离的材料。此外，如图1e与图1f所示，由于本实施例的离型层110会与柱状物c1一同自柔性层120的表面剥离，因此，离型层110可例如具有与柱状物c1相同或相似的材料，但本发明并不以此为限。举例来说，离型层110的材料可为包括硅的有机材料、包括氟的有机材料、包括二氧化硅的无机材料或是上述材料的组合，但本发明并不以此为限。值得说明的是，在一些实施例中，当离型层110的材料与柱状物c1的材料完全相同时，离型层110与柱状物c1可于一工艺步骤中同时形成。举例来说，可于载板100上形成一材料层，然后于预定形成柱状物c1的区域外移除部分材料层，使得位于预定形成柱状物c1的区域中的材料层的厚度大于位于其它区域中的材料层的厚度，以形成柱状物c1与离型层110。另外，在此说明的是，离型层110是用于帮助载板100与柔性层120分离，在其它实施例中，例如在柔性层120易自载板100的表面剥离的实施例中，则可选择性地不设置离型层110。
34.请参照图1g，在柔性层120的背对组件层130的表面121上形成保护层160，保护层160具有相对的两表面161、162，保护层160的表面161与柔性层120的表面121彼此相对。举例来说，可在移除载板100、离型层110以及柱状物c1后将柔性层120、组件层130、遮光层140与功能层150的结构翻转使得柔性层120的表面121朝上，以于柔性层120的表面121上形成保护层160，但本发明并不以此为限。保护层160可例如具有高的表面硬度。举例来说，保护层160可例如为铅笔硬度大于5h的硬涂层(hard coating)，以保护柔性层120的表面121不被刮伤或损坏。此外，保护层160可例如具有抗眩或降低色差值等功能。举例来说，保护层160还可例如包括多个抗眩结构或光学匹配层。抗眩结构可例如用于使入射的环境光产生足够的散射，避免大部分的环境光入射至显示面板而影响其显示画面的效果，进而具有抗
眩能力。此外，光学匹配层可例如包括多个具有不同折射率的膜层，其可用于避免电子装置在环境光的照射下，组件层130干扰显示面板显示图像的问题。
35.至此，完成本揭示的柔性面板100a的制作。值得说明的是，在一些实施例中，可在进行图1g的步骤后移除功能层150以完成柔性面板100a的制作，但本发明并不以此为限。
36.本实施例的柔性面板100a的制造方法虽然是以上述方法为例进行说明，然而本揭示的柔性面板100a的形成方法并不以此为限。
37.请同时参照图1g以及图2，图2为本实施例的柔性面板的俯视示意图，且图1g为图2中切线a-a’的剖面示意图。为了附图清晰，图2中主要表示了组件层130、遮光层140与通孔120a的轮廓，而省略其他组件的轮廓。柔性层120具有通孔120a，且通孔120a可例如作为后续放置摄像组件的用途。组件层130可例如为触控组件层或显示组件层。在本实施例中，组件层130为触控组件层。在已知的柔性触控面板中，触控组件层形成在柔性层上，并通过光学胶将盖板(例如玻璃盖板或塑料盖板)和所述触控组件层贴合。然而在本实施例中，保护层160和组件层130分别形成在柔性层120的相对两侧的表面121、122上，以保护层160取代已知的盖板并省略使用光学胶，可降低柔性触控面板的整体厚度和制作成本，因此本实施例的柔性面板100a亦可称为one plastic solution(ops)。
38.图3a至图3c为本发明第二实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图，且图4为本发明第二实施例的柔性面板的俯视示意图。在此必须说明的是，图3a至图3c以及图4的实施例各自沿用图1a至图1g以及图2的实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图3a至图3c的实施例中至少一部份未省略的描述可参阅后续内容。此外，图3a为接续图1c后的制程步骤，在此预先说明。
39.请参照图3a，形成组件层130于柔性层120上。在本实施例中，柔性面板为柔性显示面板，且组件层130为显示组件层。本实施例的组件层130可例如包括多条扫描线(未示出)、多条数据线(未示出)、多个晶体管(未示出)以及多个电极(未示出)。在一些实施例中，组件层130还可包括显示介质(未示出)。在组件层130包括非自发光的显示介质时，其包括的非自发光材料例如为液晶分子、电泳显示介质或是其它可适用的显示介质，但本发明并不以此为限。在另一些实施例中，组件层130可包括自发光的显示介质，举例来说，组件层130可包括发光二极管。此外，组件层130还可包括光转换结构(未示出)。光转换结构可例如包括至少三种光转换图案，其可各自转换出不同的颜色。举例来说，上述的至少三种光转换图案可各自转换出的不同颜色例如为三原色(即，红色、绿色以及蓝色)，但本发明并不以此为限。举例来说，光转换结构更可包括第四种彩色滤光图案、第五种彩色滤光图案或更多种彩色滤光图案。
40.请参照图3b，设置功能层150于组件层130上。设置功能层150于组件层130上的方法可参照前述实施例，于此不再赘述。
41.请参照图3c，移除载板100、离型层110以及柱状物c1。移除载板100、离型层110以及柱状物c1的方法可参照前述实施例，于此不再赘述。
42.至此，完成本揭示的柔性面板100b的制作。值得说明的是，在一些实施例中，可在进行图3c的步骤后移除功能层150以完成柔性面板100b的制作，但本发明并不以此为限。
43.本实施例的柔性面板100b的制造方法虽然是以上述方法为例进行说明，然而本揭示的柔性面板100b的形成方法并不以此为限。
44.请同时参照图3c以及图4，图3c为本实施例的柔性面板的俯视示意图，且图3c为图4中切线b-b’的剖面示意图。为了附图清晰，图4中主要表示了组件层130与通孔120a的轮廓，而省略其他组件的轮廓。
45.在本实施例中，柔性面板100b为柔性显示面板，且不具有第一实施例中的遮光层140与保护层160。一般来说，在柔性触控显示面板的电子装置中，通常是将柔性触控面板设置于柔性显示面板上，且柔性触控面板面对使用者，因此柔性触控面板例如第一实施例的柔性面板100a中的柔性层120的表面121上需设置保护层160以避免柔性层120受到外在环境或使用者的破坏或刮伤。此外，因为柔性触控面板例如第一实施例的柔性面板100a具有遮光层140设置于周边区中，因此柔性显示面板例如第二实施例的柔性面板100b无需再设置遮光层就可使得柔性触控显示面板的周边区具有遮光层，但本发明并不以此为限。举例来说，在一些实施例中，柔性显示面板具有遮光层设置于周边区中。
46.图5a至图5c为本发明第一实施例的第一变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图。在此必须说明的是，图5a至图5c的实施例沿用图1e至图1g的实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图5a至图5c实施例中至少一部份未省略的描述可参阅后续内容。
47.请参照图5a，本实施例与图1e所述实施例的主要差异在于：本实施例的柱状物c2的截面积沿着远离载板100的法线方向变大，也就是柱状物c2于d1-d2平面的截面积沿着远离载板100的法线方向d3变大。举例来说，柱状物c2可为倒圆锥的形状，但本发明并不以此为限。值得说明的是，第一与第二实施例的柱状物c1以及本变化实施例的柱状物c2于d1-d2平面的截面积沿着方向d3分别变小与变大，因此当柱状物c1与柱状物c2是以光致抗蚀剂材料经由曝光显影工艺形成时，可选用正型光致抗蚀剂经由曝光显影工艺形成于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变小的柱状物c1，而可选用负型光致抗蚀剂经由曝光显影工艺形成于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大的柱状物c2，但本发明并不以此为限。在本实施例中，柔性层120的厚度t2小于柱状物c2的高度h2，且柔性层120的厚度t2与柱状物c2的高度h2的差值较佳地为1微米-10微米，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，柔性层120的厚度t2可等于柱状物c2的高度h2，且柱状物c2被柔性层120围绕，同样可使柱状物c2贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120b。另外，本实施例的组件层130不限为触控组件层，其可为显示组件层，在此予以说明。
48.请参照图5b，移除载板100、离型层110以及柱状物c2。移除载板100、离型层110以及柱状物c2的方法与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。在本实施例中，由于柱状物c2于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大，通孔120b于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大。
49.请参照图5c，于柔性层120的表面121上设置保护层160。保护层160的材料、结构与特性与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。
50.至此，完成本揭示的柔性面板100c的制作。
51.本实施例的柔性面板100c的制造方法虽然是以上述方法为例进行说明，然而本揭示的柔性面板100c的形成方法并不以此为限。
52.图6a至图6c为本发明第一实施例的第二变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图。在此必须说明的是，图6a至图6c的实施例沿用图1e至图1g的实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图6a至图6c实施例中至少一部份未省略的描述可参阅后续内容。
53.请参照图6a，本实施例与图1e所述实施例的主要差异在于：本实施例的柱状物c3的截面积沿着远离载板100的法线方向不变，也就是柱状物c3于d1-d2平面的截面积沿着方向d3不变。举例来说，柱状物c3具可有类似圆柱形或方柱形的形状，但本发明并不以此为限。在本实施例中，柔性层120的厚度t3小于柱状物c3的高度h3，且柔性层120的厚度t3与柱状物c3的高度h3的差值较佳地为1微米-10微米，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，柔性层120的厚度t3可等于柱状物c3的高度h3，且柱状物c3被柔性层120围绕，同样可使柱状物c3贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120c。另外，本实施例的组件层130不限为触控组件层，其可为显示组件层，在此予以说明。
54.请参照图6b，移除载板100、离型层110以及柱状物c3。移除载板100、离型层110以及柱状物c3的方法可与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。在本实施例中，由于柱状物c3于d1-d2平面的截面积沿着方向d3实质上相等，通孔120c于d1-d2平面的的截面积沿着方向d3实质上相等。
55.请参照图6c，于柔性层120的表面121上设置保护层160。保护层160的材料、结构与特性与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。
56.至此，完成本揭示的柔性面板100d的制作。
57.本实施例的柔性面板100d的制造方法虽然是以上述方法为例进行说明，然而本揭示的柔性面板100d的形成方法并不以此为限。
58.此外，第一实施例的第一变化实施例与第二变化实施例亦可应用于第二实施例中，也就是图3a至图3c中的柱状物c2可变化为于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大或实质上相等的柱状物，且通孔120a可变化为于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大或实质上相等的通孔，于此不再赘述。
59.图7a至图7b为本发明第三实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图。在此必须说明的是，图7a至图7b的实施例沿用图1e至图1f的实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图7a至图7b实施例中至少一部份未省略的描述可参阅后续内容。在此预先说明，图7a至图7b为柔性面板100a的另一种制造方法。
60.请参照图7a，本实施例与图1e所述实施例的主要差异在于：本实施例的离型层110覆盖柱状物c4。换句话说，柱状物c4在离型层110形成之前已形成于载板100的表面上，而后经离型层110所覆盖。举例来说，形成柱状物c4于载板100上，接下来再形成离型层110于柱状物c4与载板100上，且离型层110覆盖柱状物c4的顶表面c4_t与侧表面c4_s。如图7a所示，离型层110包括第一部分110a、第二部分110b与第三部分110c，第一部分110a覆盖柱状物c4的顶表面c4_t，第一部分110a具有相对的表面110a1、110a2，表面110a2与柱状物c4的顶表面c4_t彼此相对，第二部分110b位于柱状物c4的侧表面c4_s的侧边，第二部分110b具有相
对的表面110b1、110b2，表面110b2与柱状物c4的侧表面c4_s彼此相对，第三部分110c覆盖且接触载板100，第三部分110c具有相对的表面110c1、110c2，且表面110c2与载板100的表面102彼此相对。柱状物c4的侧表面c4_s与离型层110的第二部分110b被柔性层120围绕，且柱状物c4与离型层110的一部分(第二部分110b)贯穿柔性层120，因此可在柔性层120中形成通孔120d，也就是柔性层120中由柱状物c4与离型层110的第二部分110b占据的区域即为柔性层120的通孔120d。与第一实施例相较，第一实施例的柔性层120接触柱状物c1的部分侧表面c1_s与离型层110，因此柱状物c1与离型层110需选用在剥离工艺中与柔性层120易于剥离的材料，而本实施例的柔性层120接触离型层110，但不接触柱状物c4，因此本实施例中离型层110需选用在剥离工艺中与柔性层120易于剥离的材料，举例来说，离型层110的材料可为包括硅的有机材料、包括氟的有机材料、包括二氧化硅的无机材料或是上述材料的组合，但本发明并不以此为限。在本实施例中，柱状物c4可选用耐高温的材料，例如耐高温的光致抗蚀剂材料，但本发明并不以此为限。此外，柱状物c4的截面积延着远离载板100的法线方向变小，即，柱状物c4于d1-d3平面的投影可具有类似正梯型的形状。基于此，柱状物c4的材料例如可为正型光致抗蚀剂，但本发明并不以此为限。在本实施例中，由于柱状物c4于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变小，使得通孔120d于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变小。另外，在本实施例中，离型层110的第三部分110c的表面110c2接触载板100，位于柱状物c4的顶表面c4_t上的离型层110的第一部分110a的表面110a1于方向d3高于柔性层120的表面122，且两者间的差值较佳地为1微米-10微米。举例来说，如图7a所示，离型层110具有相对的两表面111、112，离型层110的表面111包括表面110a2、110b2、110c2，且离型层110的表面112包括表面110a1、110b1、110c1。因为离型层110覆盖柱状物c4，因此离型层110的表面112具有高低断差(表面110a1、110c1于方向d3的差值)s4，而柔性层120具有厚度t4，柔性层120的厚度t4小于离型层110的表面112的高低断差s4，且两者的差值较佳地为1微米-10微米，也就是1微米≤s4-t4≤10微米，但本发明并不以此为限。在其它实施例中，位于柱状物c4的顶表面c4_t上的离型层110的第一部分110a的表面110a1于方向d3与柔性层120的表面122等高，也就是柔性层120的厚度t4等于离型层110的表面的高低断差s4，且柱状物c4以及离型层110的一部分(第一部分110a与第二部分110b)贯穿柔性层120，同样可在柔性层120中形成通孔120d，也就是柔性层120中由柱状物c4、离型层110的第一部分110a与第二部分110b占据的区域即为柔性层120的通孔120d。综上所述，通过使柔性层120的厚度t4小于或等于离型层110的表面的高低断差s4，可使柱状物c4与离型层110的一部分贯穿柔性层120以在柔性层120中形成通孔120d。
61.请参照图7b，移除载板100、离型层110以及柱状物c4。移除载板100、离型层110以及柱状物c4的方法可与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。后续可类似图1g在柔性层120的表面121上设置保护层，本发明并无特别限制。
62.图8a至图8b为本发明第三实施例的变化实施例的柔性面板的局部制作流程的示意图。在此必须说明的是，图8a至图8b的实施例沿用图7a至图7b的实施例的组件标号与部分内容，其中采用相同或近似的标号来表示相同或近似的组件，并且省略了相同技术内容的说明。关于省略部分的说明可参考前述实施例描述与效果，下述实施例不再重复赘述，而图8a至图8b实施例中至少一部份未省略的描述可参阅后续内容。在此预先说明，图8a至图8b为柔性面板100c的另一种制造方法。
63.请参照图8a，本实施例与图7a的主要差异在于：本实施例的柱状物c5的截面积延着远离载板100的法线方向变小，即，柱状物c5于d1-d3平面的投影可具有类似倒梯型的形状。基于此，柱状物c5的材料例如可为负型光致抗蚀剂，但本发明并不以此为限。在本实施例中，由于柱状物c5于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大，使得通孔120e于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变大。图8a中的其余部分以及离型层110的表面的高低断差s5与柔性层120的厚度t5间的关系可参照第三实施例，于此不再赘述。举例来说，图8a中的离型层110的表面的高低断差s5与柔性层120的厚度t5间的关系可参照第三实施例的离型层110的表面的高低断差s4与柔性层120的厚度t4间的关系。
64.请参照图8b，移除载板100、离型层110以及柱状物c5。移除载板100、离型层110以及柱状物c5的方法可与第一实施例相同或相似，于此不再赘述。后续可类似图1g在柔性层120的表面121上设置保护层，本发明并无特别限制。
65.值得说明的是，第一实施例的第二变化实施例的方法亦可应用于第三实施例中，也就是图7a与图7b中的柱状物c4可变化为于d1-d2平面的截面积沿着方向d3实质上相等的柱状物，且通孔120d可变化为于d1-d2平面的截面积沿着方向d3实质上相等的通孔，于此不再赘述。此外，类似于第一实施例与第二实施例，第三实施例或第三实施例的变化实施例中的离型层覆盖柱状物，且柱状物为于d1-d2平面的截面积沿着方向d3变小、变大或实质上相等的方法亦可应用于形成类似第二实施例的柔性面板例如柔性显示面板，于此不再赘述。
66.根据上述，本发明的柔性面板中的柔性层具有的通孔是通过在柔性层形成之前先形成柱状物，使得柔性层可环绕柱状物而设置，而后将柱状物移除后即形成具有与柱状物类似形状的通孔。经由此方式形成的通孔不具有烧焦或裂纹等现象且具有平滑的截面。
67.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本揭示的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本揭示进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本揭示各实施例技术方案的范围。各实施例间的特征只要不违背发明精神或相冲突，均可任意混合搭配使用。