用于集成电路制造的数据处理方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本申请涉及集成电路领域，具体而言，涉及一种用于集成电路制造的数据处理方 法和装置。
【背景技术】
[0002] 在半导体生产过程中，计算机集成制造系统是进行半导体生产的基础，而数据收 集则是计算机集成电路制造系统的基础。通过对采集的数据进行初步的分析和监测，可W 判断生产过程中的机台是否正常工作，并根据数据的结果查找问题，W便于及时调整生产 的参数。然而随着半导体生产过程的复杂化，需要对生产过程进行更加精细的控制。
[0003] 发明人发现，在对生产数据的收集和监测过程中，生产机台产生的原始数据并不 能完全直观反映出所有问题，通常需要通过一定的数据处理，再对结果进行分析。对数据处 理过程，目前主要通过两种方式；第一，人为处理数据；第二，由制程工程师和设备自动化 工程师花时间讨论，再由设备自动化工程师通过写代码的方式实现。W上的两种方式都缺 少实时性，并且需要花费大量的人力成本，极大的降低了生产效率。
[0004] 针对现有技术中在集成电路制造中进行数据处理时的效率比较低的问题，目前尚 未提出有效的解决方案。
【发明内容】
[0005] 本申请的主要目的在于提供一种用于集成电路制造的数据处理方法和装置，W解 决现有技术中进行数据处理时的效率比较低的问题。
[0006] 为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种用于集成电路制造的数 据处理方法。根据本申请的用于集成电路制造的数据处理方法包括；实时采集集成电路制 造的机台数据；获取机台数据的数据类型；获取与数据类型对应的计算模型，其中，计算模 型被配置为多个模型子项；按照多个模型子项对机台数据进行计算，得到计算结果；W及 实时输出计算结果。
[0007] 进一步地，计算模型通过W下步骤被配置为多个模型子项包括：获取计算模型； 分解计算模型得到多个模型子项，其中，多个模型子项为组成计算模型的元素；W及按照计 算模型的计算优先级存储多个模型子项。
[0008] 进一步地，机台数据包括数据类型和数据类型对应的数据内容，按照多个模型子 项对机台数据进行计算，得到计算结果包括：根据计算模型查找数据类型对应的数据内容； 将数据内容带入多个模型子项中；W及调用多个模型子项对数据内容进行计算，得到计算 结果。
[0009] 进一步地，机台数据包括数据类型和数据类型对应的数据内容，在收集机台数据 时，数据处理方法还包括：获取数据库中的数据类型；对比机台数据的数据类型与数据库 中的数据类型是否一致；如果机台数据的数据类型与数据库中的数据类型一致，则将数据 类型对应的数据内容存储在数据库中；W及如果机台数据的数据类型与数据库中的数据类 型不一致，则将数据类型和数据类型对应的数据内容存储在数据库中。
[0010] 进一步地，获取机台数据的数据类型之前，数据处理方法包括：判断是否已经完成 采集集成电路制造的机台数据；如果判断出未完成采集机台数据，则继续采集机台数据； 如果判断出已经完成采集机台数据，则确定获取机台数据的数据类型。
[0011] 为了实现上述目的，根据本申请的另一方面，提供了一种用于集成电路制造的数 据处理装置。根据本申请的用于集成电路制造的数据处理装置包括：采集单元，用于实时采 集集成电路制造的机台数据；第一获取单元，用于获取机台数据的数据类型；模型获取单 元，用于获取与数据类型对应的计算模型，其中，计算模型被配置为多个模型子项；计算单 元，用于按照多个模型子项对机台数据进行计算，得到计算结果；W及输出单元，用于实时 输出计算结果。
[0012] 进一步地，型获取单元包括；模型获取模块，用于获取计算模型；分解模块，用于 分解计算模型得到多个模型子项，其中，多个模型子项为组成计算模型的元素；W及存储模 块，用于按照计算模型的计算优先级存储多个模型子项。
[0013] 进一步地，计算单元包括：查找模块，用于根据计算模型查找数据类型对应的数据 内容；带入模块，用于将数据内容带入多个模型子项中；W及计算模块，用于调用多个模型 子项对数据内容进行计算，得到计算结果。
[0014] 进一步地，机台数据包括数据类型和数据类型对应的数据内容，数据处理装置还 包括：第二获取单元，用于在收集机台数据时，获取数据库中的数据类型；对比单元，用于 对比机台数据的数据类型与数据库中的数据类型是否一致；第一存储单元，用于在机台数 据的数据类型与数据库中的数据类型一致时，将数据类型对应的数据内容存储在数据库 中；W及第二存储单元，用于在机台数据的数据类型与数据库中的数据类型不一致时，将数 据类型和数据类型对应的数据内容存储在数据库中。
[0015] 进一步地，数据处理装置包括：判断单元，用于在获取机台数据的数据类型之前， 判断是否已经完成采集集成电路制造的机台数据；继续采集单元，用于在判断出未完成采 集机台数据时，继续采集机台数据；确定单元，用于在判断出已经完成采集机台数据时，确 定获取机台数据的数据类型。
[0016] 通过本申请，采用实时采集集成电路制造的机台数据；获取机台数据的数据类型； 获取与数据类型对应的计算模型，其中，计算模型被配置为多个模型子项；；按照多个模型 子项对机台数据进行计算，得到计算结果；W及实时输出计算结果，使得数据处理系统自动 采集数据，并根据采集数据的数据类型选择相应的计算模型进行计算，解决了现有技术中 在集成电路制造中进行数据处理时的效率比较低的问题，进而达到了提高数据处理的效率 的效果。
【附图说明】
[0017] 构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实 施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[001引图1是根据本申请第一实施例的用于集成电路制造的数据处理方法的流程图；
[0019] 图2是根据本申请第二实施例的用于集成电路制造的数据处理方法的流程图；
[0020] 图3是根据本申请第Η实施例的用于集成电路制造的数据处理方法的流程图；
[0021] 图4是根据本申请第一实施例的用于集成电路制造的数据处理装置的示意图；
[0022] 图5是根据本申请第二实施例的用于集成电路制造的数据处理装置的示意图；W 及
[0023] 图6是根据本申请第Η实施例的用于集成电路制造的数据处理装置的示意图。
【具体实施方式】
[0024] 需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可W相 互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0025] 为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的 附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是 本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术 人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范 围。
[0026] 需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语"第一"、"第 二"等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解送样使用 的数据在适当情况下可W互换，W便送里描述的本申请的实施例能够W除了在送里图示或 描述的郝些W外的顺序实施。此外，术语"包括"和"具有"W及他们的任何变形，意图在于 覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限 于清楚地列出的郝些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于送些过程、方法、产 品或设备固有的其它步骤或单元。
[0027] 本申请提供了一种用于集成电路制造的数据处理系统。该用于集成电路制造的数 据处理系统包括数据收集部分和数据处理部分。其中，数据收集部分用于收集集成电路制 造过程中的机台数据，数据处理部分用于对收集的机台数据进行处理。
[0028] 本申请提供了 一种用于集成电路制造的数据处理方法。
[0029] 图1是根据本申请第一实施例的用于集成电路制造的数据处理方法的流程图。如 图所示，该用于集成电路制造的数据处理方法包括如下步骤：
[0030] 步骤S102,实时采集集成电路制造的机台数据。
[0031] 在集成电路制造的过程中，每个晶圆可能需要通过多个机台进行处理，每个机台 对经过其的晶圆进行了什么处理，利用了什么参数等数据都会被用于集成电路制造的数据 处理系统收集，并保存收集到的机台数据。送里所说的机台数据包括机台本身的数据、晶圆 数据