磁记录用软磁性合金及溅射靶材以及磁记录介质的制作方法

文档序号:11142450阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁记录用软磁性合金,其中,以at.%计,

Fe:Co之比为10:90~70:30,

含有0.5~29.5%的选自Ta、Nb及V中的A组元素中的1种或2种以上,

含有0.0~29.5%的选自Cr、Mo及W中的B组元素中的1种或2种以上,

上述A组元素和上述B组元素的合计含量为10~30%,

氢含量小于20ppm,

余量为Co、Fe及不可避免的杂质。

2.一种磁记录用软磁性合金,其中,以at.%计,

Fe:Co之比为10:90~70:30,

含有0.5~29.5%的选自Ta、Nb及V中的A组元素中的1种或2种以上,

含有0.5~29.5%的选自Cr、Mo及W中的B组元素中的1种或2种以上,

上述A组元素和上述B组元素的合计含量为10~30%,

氢含量小于20ppm,

余量为Co、Fe及不可避免的杂质。

3.根据权利要求1或2所述的磁记录用软磁性合金,其中,以各组中记载的at.%的范围还含有下述C组元素、D组元素、E组元素及F组元素中记载的元素中的1种或2种以上元素,

C组元素:选自Ti、Zr及Hf中的1种或2种以上的元素,其合计含量小于5%,且A组元素、B组元素和C组元素的合计含量为10~30%,

D组元素:选自Ni及Mn中的1种或2种元素,其合计含量为30%以下,

E组元素:选自Al及Cu中的1种或2种元素,其合计含量为5%以下,

F组元素:选自Si、Ge、P、B及C中的1种或2种以上的元素,其合计含量为10%以下。

4.一种磁记录用软磁性合金形成用溅射靶材,其含有权利要求1或2所述的磁记录用软磁性合金。

5.一种磁记录用软磁性合金形成用溅射靶材,其含有权利要求3所述的磁记录用软磁性合金。

6.一种磁记录介质,使用权利要求1或2所述的磁记录用软磁性合金而成。

7.一种磁记录介质,使用权利要求3所述的磁记录用软磁性合金而成。

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