磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法和磨削磨石的制作方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及磁盘用玻璃基板的制造方法和磁盘。
【背景技术】
[0002] 如今，在个人计算机或DVD(Digital Versatile Disc)记录装置等中内置有用于 记录数据的硬盘装置（HDD :Hard Disk Drive)。特别是在笔记本型个人计算机等以移动性 为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘 的面上方略微悬浮的磁头对磁性层记录磁记录信息或从磁性层读取磁记录信息。作为该磁 盘的基板，由于具有比金属基板（铝基板）等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻 璃基板。
[0003] 另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂 直磁记录方式进行磁记录信息区域（记录位（bit))的微细化，在该垂直磁记录方式中，使 磁记录层的磁化方向相对于基板的面为垂直方向。由此，能够增大1张磁盘基板中的存储 容量。并且，为了进一步增大存储容量，还进行通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从 而极大地缩短其与磁记录层之间的距离，进一步提高信息的记录再现精度（提高S/N比）。 另外，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height :动态飞行高 度）控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DHl头。对于与这种DHl头组合用于HDD的 磁盘用玻璃基板的主表面，为了避免与磁头或从磁头进一步突出的记录再现元件部之间的 碰撞或接触，将该主表面制作成极为平滑的表面。
[0004] 在制造磁盘用玻璃基板时，对开有内孔的圆盘状玻璃基板的内周端部以及外周端 部实施倒角加工。即，形成介于玻璃基板的主表面与侧壁面之间的倒角面。通过形成倒角 面，能够防止从玻璃基板产生异物，抑制在将制造出的磁盘组入HDD时的磁头划碰故障和 热粗糙故障等缺陷。
[0005] 作为圆盘状玻璃基板的端面磨削方法，已知有如下方法：驱动外周部形成有槽部 的磨石绕相对于旋转的被加工物的旋转轴倾斜的旋转轴旋转，并将磨石的槽部按压于被加 工物的外周部或者内周部，由此进行被加工物的外周部或者内周部的端面磨削（下面记为 专利文献1)。根据该端面磨削方法，在面接触的状态下进行端面的磨削，缓和了与被加工物 的外周部或者内周部冲击性地进行接触，因此能够效率良好地得到良好的表面质量。
[0006] 在先技术文献
[0007] 专利文献
[0008] 专利文献1 :日本特开2000 - 167753号公报
【发明内容】
[0009] 发明所要解决的课题
[0010] 然而，本申请的发明人们根据上述专利文献1中记载的端面磨削方法，对开有内 孔的圆盘状玻璃基板的端面进行磨削时，确认到端面的表面质量提高，但另一方面知晓了 存在一对倒角面（例如在外周端面的情况下，倒角面分别介于外周的侧壁面与一对主表面 之间；在内周端面的情况下也同样）的倒角各自不同的问题。如果磁盘用玻璃基板的一对 倒角面的倒角各自不同，则在将磁盘组入HDD并使其旋转时将产生HDD框体内的气流的紊 乱，成为产生颤动（fluttering)的原因，因而不希望如此。并且，在为了在玻璃基板上成膜 而夹持磁盘用玻璃基板的外周端面时，在外周侧的一对倒角面的倒角各自不同的情况下， 由于不能高精度地进行夹持而可能导致膜厚控制的精度降低。
[0011] 因此，本发明的目的在于，提供一种在制造磁盘用玻璃基板的过程中磨削圆盘状 玻璃基板的端面时，能够确保良好的端面质量且可以使一对倒角面的倒角相同的磁盘用玻 璃基板的制造方法、磁盘的制造方法以及磨削磨石。
[0012] 用于解决课题的手段
[0013] 本申请的发明人们对在通过驱动形成有槽部的磨石绕相对于玻璃基板的旋转轴 倾斜的旋转轴旋转，并将磨石的槽部按压于玻璃基板的外周部或者内周部而进行的玻璃基 板的端面磨削中、加工时与玻璃基板的一对倒角面接触的磨石槽部的一对开口角被设为相 同的情况下，一对倒角面的倒角却不同的原因进行了深入研究。其结果是，查明了由于玻璃 基板的旋转轴相对于磨石的旋转轴倾斜，通过一方的倒角面与通过另一方的倒角面加工时 的磨粒的作用不同，因而加工后的倒角不相同。
[0014] 本发明的第一方面是一种磁盘用玻璃基板的制造方法，利用旋转的磨削磨石对中 心形成有圆孔且具有侧壁面以及形成于主表面与侧壁面之间的倒角面的圆盘状玻璃基板 的端面进行端面磨削处理。在端面磨削处理中，使磨削磨石的旋转轴相对于与基板的主表 面垂直的轴倾斜地对玻璃基板的一对倒角面同时进行磨削。磨削磨石具有槽形状，该槽形 状具有对玻璃基板的倒角面进行磨削的一对倒角面磨削区域。一对倒角面磨削区域由倒角 面磨削区域（A)和倒角面磨削区域（B)构成，该倒角面磨削区域（A)以位于连接玻璃基板 的中心与磨削磨石的旋转轴的直线上的玻璃基板与磨削磨石的切点为基准，在磨削磨石的 旋转方向的前侧与玻璃基板的倒角面接触，该倒角面磨削区域（B)在磨削磨石的旋转方向 的后侧与玻璃基板的倒角面接触，倒角面磨削区域（A)的开口角小于倒角面磨削区域（B) 的开口角。
[0015] 在上述磁盘用玻璃基板的制造方法中，所述磨削磨石的槽形状还具有对玻璃基板 的侧壁面进行磨削的侧壁面磨削区域，在所述端面磨削处理中，对玻璃基板的侧壁面和一 对倒角面同时进行磨削。
[0016] 在上述磁盘用玻璃基板的制造方法中，磁盘用玻璃基板的板厚小于0. 635mm。
[0017] 在上述磁盘用玻璃基板的制造方法中，所述磁盘用玻璃基板为晶化玻璃。
[0018] 本发明的第二方面是一种磁盘的制造方法，具备在通过磁盘用玻璃基板的制造方 法制作出的磁盘用玻璃基板的主表面上形成磁性层的处理。
[0019] 本发明的第三方面是一种磨削磨石，在对中心形成有圆孔且具有侧壁面以及形成 于主表面与侧壁面之间的倒角面的圆盘状玻璃基板的端面进行的端面磨削处理中，该磨削 磨石旋转地被使用。该磨削磨石由圆筒状或圆柱状的旋转体构成，在该旋转体的圆周上形 成有槽。槽在包含所述旋转体的旋转轴的面的截面的截面视图中，包含与玻璃基板的侧壁 面接触的侧壁面磨削面、与夹着玻璃基板的侧壁面的倒角面中的一个倒角面接触的倒角面 磨削面（A)、以及与另一个倒角面接触的倒角面磨削面（B)构成，倒角面磨削面（A)与倒角 面磨削面（B)的从侧壁面磨削面的开口角不同。
[0020] 发明效果
[0021] 根据上述的磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘的制造方法以及磨削磨石，在制造 磁盘用玻璃基板过程中磨削圆盘状玻璃基板的端面时，能够确保良好的端面质量并且能够 使一对倒角面的倒角相同。
【附图说明】
[0022] 图IA是示出实施方式的磁盘用玻璃基板的外观形状的图。
[0023] 图IB是实施方式的磁盘用玻璃基板的外周侧的端部的放大截面图。
[0024] 图2是示出圆盘状玻璃基板的内周端面的磨削处理的图。
[0025] 图3是示出圆盘状玻璃基板的内周端面的磨削处理时的、玻璃基板与磨削磨石的 接触面的图。
[0026] 图4是对磨削磨石的槽部的开口角进行说明的图。
[0027] 图5是示出圆盘状玻璃基板的外周端面的磨削处理的图。
【具体实施方式】
[0028] 下面，对本实施方式的磁盘用玻璃基板的制造方法进行具体说明。
[0029] [磁盘用玻璃基板]
[0030] 作为本实施方式中的磁盘用玻璃基板的材料，可以使用铝硅酸盐玻璃、碱石灰玻 璃、硼硅酸盐玻璃等。尤其是从可以实施化学强化并且可以制作主表面平坦度和基板强度 优异的磁盘用玻璃基板这些方面考虑，可以优选使用铝硅酸盐玻璃。
[0031] 虽然对本实施方式的磁盘用玻璃基板中使用的玻璃材料的组成不作限定，但是本 实施方式的玻璃基板优选作为必要成分可以包含Si0 2、Li20、Na20、以及从由MgO、CaO、SrO 和BaO构成的组中选出的一种以上的碱性金属氧化物，CaO的含有量相对于MgO、CaO、SrO 以及BaO的合计含有量的摩尔比（Ca(V(Mg0+Ca0+Sr0+Ba0))为0. 20以下，玻璃转变温度为 650°C以上的非晶态的铝硅酸盐玻璃。
[0032] 另外，也可以是具有如下特征的晶化玻璃：按氧化物基准的质量％，包含SiO2: 45. 60 ~60%、Al203:7 ~20%、Β 203:1· 00 ~小于 8%、Ρ 205